尾气管升降微调装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了尾气管升降微调装置，具体涉及升降微调装置领域，包括安装垫，所述安装垫的顶部固定有金属套，所述金属套的顶部放置有原子层沉积设备尾气管体；本装置设置有管道安装装置，在将原子层沉积设备尾气管体放置在对应的金属套后，通过加固套和转动套对原子层沉积设备尾气管体进行夹持固定，实现了原子层沉积设备尾气管体便于定位和安装的目的，实现了原子层沉积设备尾气管体和加固套之间定位装配较为方便的目的；本装置设置有升降微调机构，螺纹柱转动后可对安装板外侧的支撑高度进行调整，从而实现对原子层沉积设备尾气管体升降微调的目的，并便于让原子层沉积设备尾气管体的首尾位置对准。管体的首尾位置对准。管体的首尾位置对准。

【技术实现步骤摘要】
尾气管升降微调装置


[0001]本技术涉及升降微调装置
，具体为尾气管升降微调装置。

技术介绍

[0002]原子层沉积制程是一种将物质以单原子的形式一层一层地镀在基材表面的技术，其中在制程中，是使反应的前驱物与基材或前一层膜的材料表面进行化学吸附，来生产既薄且均匀的薄膜。在原子层沉积制程中，均匀的沉积薄膜是晶体管微缩的重要基础；
[0003]中国专利公开了原子层沉积设备(授权公告号CN214088657U)，该专利技术包括腔体、加热台、载盘、中空部件、底部抽气口与喷头组件，其中载盘具有凸环，且位于加热台的顶表面并用以承载基材。加热台可受升降装置的驱动以在腔体中垂直位移，使得载盘的凸环围绕中空部件的至少一部份，并使抽气孔被凸环包围，而喷头组件、中空部件与载盘之间可形成小空间反应区，以使前驱物在小空间反应区对基材进行沉积，如此，可使制程流体的流场被稳定地调控，进而使原子层沉积制程中的基材可受前驱物均匀地沉积；
[0004]但是，上述的原子层沉积设备在使用过程中，原子层沉积设备的尾气管都是由一节节的标准管接头连接起来的，连接多段后因为误差的叠加管段的首尾位置不容易对准，同时对尾气管进行定位安装时操作较为繁琐；因此，本领域技术人员提供了尾气管升降微调装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供尾气管升降微调装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：尾气管升降微调装置，包括安装垫，所述安装垫的顶部固定有金属套，所述金属套的顶部放置有原子层沉积设备尾气管体，所述安装垫的顶部设置有管道安装装置，所述安装垫的底部安装有安装套，所述安装套的内部通过转轴转动连接有滚轮。
[0007]作为本技术再进一步的方案：所述管道安装装置包括安装板，所述安装板的内部开设有安装孔，所述安装板的顶部安装有加固套，所述加固套的外侧通过转轴转动连接有转动套，所述加固套的顶部固定有固定螺纹杆，所述固定螺纹杆的外侧螺纹连接有螺纹套，所述加固套的顶部设置有支撑装置，所述安装板的顶部设置有贯穿其底部的升降微调机构。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述安装板与所述安装垫之间固定连接，所述转动套的内部开设有通槽，且该通槽的尺寸与所述固定螺纹杆的尺寸适配。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述支撑装置包括外壳体，所述外壳体的内底壁设置有支撑弹簧，所述支撑弹簧的顶部连接有活动垫，所述活动垫的顶部固定有贯穿其底部的移动杆，所述外壳体的底部固定有限位套，所述移动杆的顶部安装有支撑块，所述限位套与所述加固套之间固定连接。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述升降微调机构包括金属螺母，所述金属螺母的顶部螺纹连接有延伸至底部的螺纹柱，所述螺纹柱的顶部固定有连接套，所述连接套的顶部设置有把手套，所述螺纹柱的底部转动连接有轴承套，所述轴承套的底部固定有支撑套。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述金属螺母和所述安装板之间固定连接，所述螺纹柱的尺寸与所述安装孔的尺寸适配。
[0012]与现有技术相比，本技术所达到的有益效果是：
[0013]1、本装置设置有管道安装装置，在将原子层沉积设备尾气管体放置在对应的金属套后，通过加固套和转动套对原子层沉积设备尾气管体进行夹持固定，实现了原子层沉积设备尾气管体便于定位和安装的目的，实现了原子层沉积设备尾气管体和加固套之间定位装配较为方便的目的；
[0014]2、本装置设置有升降微调机构，螺纹柱转动后可对安装板外侧的支撑高度进行调整，从而实现对原子层沉积设备尾气管体升降微调的目的，并便于让原子层沉积设备尾气管体的首尾位置对准。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0016]图1是本技术的正视图；
[0017]图2是本技术的管道安装装置结构示意图；
[0018]图3是本技术的支撑装置结构示意图；
[0019]图4是本技术的升降微调机构结构示意图；
[0020]图中：1、安装垫；2、金属套；3、原子层沉积设备尾气管体；4、管道安装装置；41、安装板；42、安装孔；43、加固套；44、转动套；45、固定螺纹杆；46、螺纹套；47、支撑装置；471、外壳体；472、支撑弹簧；473、活动垫；474、移动杆；475、限位套；476、支撑块；5、安装套；6、滚轮；7、升降微调机构；71、金属螺母；72、螺纹柱；73、连接套；74、把手套；75、轴承套；76、支撑套。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
‑
图3，本技术提供尾气管升降微调装置，包括安装垫1，安装垫1的顶部固定有金属套2，金属套2的顶部放置有原子层沉积设备尾气管体3，安装垫1的顶部设置有管道安装装置4，安装垫1的底部安装有安装套5，安装套5的内部通过转轴转动连接有滚轮6。
[0023]作为本技术再进一步的方案：管道安装装置4包括安装板41，安装板41的内部开设有安装孔42，安装板41的顶部安装有加固套43，加固套43的外侧通过转轴转动连接有
转动套44，加固套43的顶部固定有固定螺纹杆45，安装板41与安装垫1之间固定连接，转动套44的内部开设有通槽，且该通槽的尺寸与固定螺纹杆45的尺寸适配，固定螺纹杆45的外侧螺纹连接有螺纹套46，加固套43的顶部设置有支撑装置47，安装板41的顶部设置有贯穿其底部的升降微调机构7；
[0024]支撑装置47包括外壳体471，外壳体471的内底壁设置有支撑弹簧472，支撑弹簧472的顶部连接有活动垫473，活动垫473的顶部固定有贯穿其底部的移动杆474，外壳体471的底部固定有限位套475，移动杆474的顶部安装有支撑块476，限位套475与加固套43之间固定连接。
[0025]本装置在使用过程中，在将原子层沉积设备尾气管体3放置在对应的金属套2后，可通过金属套2对原子层沉积设备尾气管体3外侧进行支撑，同时原子层沉积设备尾气管体3的下底面也与加固套43的上顶面贴合，随后可拨动转动套44转动，并使转动套44套在对应原子层沉积设备尾气管体3的外侧，且转动套44外侧预设有与固定螺纹杆45尺寸适配的通槽，能够使固定螺纹杆45卡入转动套44内，并通过顺时针转动螺纹套46的方式完成转动套44位置的固定，同时通过外壳体471内的支撑弹簧472来推动活动垫473，可带动移本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.尾气管升降微调装置，包括安装垫(1)，其特征在于，所述安装垫(1)的顶部固定有金属套(2)，所述金属套(2)的顶部放置有原子层沉积设备尾气管体(3)，所述安装垫(1)的顶部设置有管道安装装置(4)，所述安装垫(1)的底部安装有安装套(5)，所述安装套(5)的内部通过转轴转动连接有滚轮(6)。2.根据权利要求1所述的尾气管升降微调装置，其特征在于，所述管道安装装置(4)包括安装板(41)，所述安装板(41)的内部开设有安装孔(42)，所述安装板(41)的顶部安装有加固套(43)，所述加固套(43)的外侧通过转轴转动连接有转动套(44)，所述加固套(43)的顶部固定有固定螺纹杆(45)，所述固定螺纹杆(45)的外侧螺纹连接有螺纹套(46)，所述加固套(43)的顶部设置有支撑装置(47)，所述安装板(41)的顶部设置有贯穿其底部的升降微调机构(7)。3.根据权利要求2所述的尾气管升降微调装置，其特征在于，所述安装板(41)与所述安装垫(1)之间固定连接，所述转动套(44)的内部开设有通槽，且该通槽的尺寸与所述固定螺纹杆(45)的尺寸适配。...

【专利技术属性】
技术研发人员：雍晓龙，张义颖，何奇，
申请(专利权)人：披刻半导体苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：