真空升降和平移关盖机构制造技术

本实用新型专利技术涉及真空升降和平移关盖机构，包括底板，所述底板的顶部固定连接有两个竖板，两个所述竖板相对的一侧均固定连接有导向条，两个所述导向条之间滑动连接有滑套，所述底板和滑套上设置有升降组件，所述升降组件的顶部固定连接有门板，两个所述竖板相对的一侧均固定连接有限位器。该真空升降和平移关盖机构，当气缸往上打开行程时，随动轮推着连接板向上移动，由于复位组件拉着门板，此时门板跟随向上移动，水平方向没有移动，当门板上升到限位器阻挡位置时，随动轮继续向上运动，此时随动轮推力克服复位组件的拉力，门板被水平推动，实现水平关门动作，整体结构实现了真空升降和平移关盖机构节能的作用。降和平移关盖机构节能的作用。降和平移关盖机构节能的作用。

【技术实现步骤摘要】
真空升降和平移关盖机构


[0001]本技术涉及原子层沉积设备
，具体为真空升降和平移关盖机构。

技术介绍

[0002]原子层沉积是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。
[0003]原子层沉积设备内腔在关盖时要求腔盖尽量和腔室平行，为了给机械手留出进出的操作空间来取放片，门打开时需要高度方向整体让出，水平方向为了能够实现密封，需要一定的水平压力才能将密封圈压紧，传统的原子层沉积设备需要两个驱动源来实现门板高度和水平的移动，较为浪费，故而提出真空升降和平移关盖机构来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了真空升降和平移关盖机构，具备节能等优点，解决了原子层沉积设备内腔在关盖时要求腔盖尽量和腔室平行，为了给机械手留出进出的操作空间来取放片，门打开时需要高度方向整体让出，水平方向为了能够实现密封，需要一定的水平压力才能将密封圈压紧，传统的原子层沉积设备需要两个驱动源来实现门板高度和水平的移动，较为浪费的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：真空升降和平移关盖机构，包括底板，所述底板的顶部固定连接有两个竖板，两个所述竖板相对的一侧均固定连接有导向条，两个所述导向条之间滑动连接有滑套，所述底板和滑套上设置有升降组件，所述升降组件的顶部固定连接有门板，两个所述竖板相对的一侧均固定连接有限位器。
[0006]所述升降组件包括镶嵌于底板内腔的气缸，所述气缸的输出轴固定连接有驱动块，所述驱动块的左右两侧均固定连接有随动轮，所述随动轮的外表面滑动连接有与滑套底部固定连接的连接板，所述滑套的内腔滑动连接有两个滑动轴，所述滑动轴和滑套上设置有复位组件。
[0007]进一步，所述门板固定连接于两个滑动轴的顶部。
[0008]进一步，所述驱动块的底部固定连接有连接杆，所述连接杆固定连接于气缸输出轴的外表面。
[0009]进一步，所述连接杆的顶部固定连接有两个连接块，所述连接块与对应导向条滑动连接。
[0010]进一步，两个所述导向条相对的一侧均开设有长条滑槽，所述连接块和滑套均与长条滑槽相适配。
[0011]进一步，所述连接板的内腔开设有导向槽，所述导向槽与随动轮相适配。
[0012]进一步，所述复位组件包括与滑套底部固定连接的第一拉簧销，所述滑动轴的底部固定连接有第二拉簧销，所述第一拉簧销和第二拉簧销上设置有拉伸弹簧。
[0013]与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：
[0014]1、该真空升降和平移关盖机构，当气缸往上打开行程时，随动轮推着连接板向上
移动，由于复位组件拉着门板，此时门板跟随向上移动，水平方向没有移动，当门板上升到限位器阻挡位置时，随动轮继续向上运动，此时随动轮推力克服复位组件的拉力，门板被水平推动，实现水平关门动作，整体结构实现了真空升降和平移关盖机构节能的作用。
[0015]2、该真空升降和平移关盖机构，通过连接杆和连接块的设置对气缸的输出轴起到了导向作用，提高了整体结构的稳定性。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术的左视结构示意图；
[0018]图3为本技术图2中A部放大图。
[0019]图中：1、底板；2、竖板；3、导向条；4、升降组件；41、气缸；42、驱动块；43、随动轮；44、连接板；441、导向槽；45、滑动轴；46、复位组件；461、第一拉簧销；462、第二拉簧销；463、拉伸弹簧；5、滑套；6、门板；7、限位器；8、连接杆；9、连接块。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例一：请参阅图1、图2和图3，本实施例中的真空升降和平移关盖机构，包括底板1，底板1的顶部固定连接有两个竖板2，两个竖板2相对的一侧均固定连接有导向条3，两个导向条3之间滑动连接有滑套5，底板1和滑套5上设置有升降组件4，升降组件4的顶部固定连接有门板6，两个竖板2相对的一侧均固定连接有限位器7。
[0022]升降组件4包括镶嵌于底板1内腔的气缸41，气缸41的输出轴固定连接有驱动块42，驱动块42的左右两侧均固定连接有随动轮43，连接板44的内腔开设有导向槽441，导向槽441与随动轮43相适配，导向槽441的设置对随动轮43起到了导向作用，连接板44向上的运动被限位器7限制后，当随动轮43向上运动时，连接板44被随动轮43推动而进行水平运动；随动轮43的外表面滑动连接有与滑套5底部固定连接的连接板44，滑套5的内腔滑动连接有两个滑动轴45，门板6固定连接于两个滑动轴45的顶部，滑动轴45和滑套5上设置有复位组件46。
[0023]复位组件46包括与滑套5底部固定连接的第一拉簧销461，滑动轴45的底部固定连接有第二拉簧销462，第一拉簧销461和第二拉簧销462上设置有拉伸弹簧463。
[0024]本实施例中的，启动气缸41带动驱动块42向上运动，随动轮43推着连接板44向上移动，由于拉伸弹簧463的拉力拉着门板6，此时门板6跟随向上移动，水平方向没有移动，当门板6上升到限位器7阻挡位置时，随动轮43继续向上运动，此时随动轮43推力克服拉伸弹簧463的拉力，门板6被水平推动，实现水平关门动作；仅通过气缸41一个驱动源即可实现门板6的水平和竖直方向的运动，更加节能。
[0025]实施例二：请参阅图1和图2，本实施例中的驱动块42的底部固定连接有连接杆8，连接杆8固定连接于气缸41输出轴的外表面，连接杆8的顶部固定连接有两个连接块9，连接
块9与对应导向条3滑动连接。两个导向条3相对的一侧均开设有长条滑槽，连接块9和滑套5均与长条滑槽相适配。
[0026]本实施例中的，连接杆8和连接块9的设置对通过连接杆8和连接块9的设置对气缸41的输出轴起到了导向作用，提高了整体结构的稳定性。
[0027]其中，滑动轴45的正面和背面均固定连接有挡板，以防止滑动轴45与滑套5脱离。
[0028]上述实施例的工作原理为：
[0029]需要关闭门板6时，启动气缸41带动驱动块42向上运动，随动轮43推着连接板44向上移动，由于拉伸弹簧463对滑动轴45的拉力拉着门板6，此时门板6跟随向上移动，水平方向没有移动，当门板6上升到限位器7阻挡位置时，门板6被限制继续向上运动，而随动轮43继续向上运动，此时随动轮43推力克服拉伸弹簧463的拉力，使得连接板44沿导向槽441进行水平运动，通过滑动轴45在滑套5上的滑动，使得门板6被水平推动，实现水平关门动作，整体结构实现了真空升降和平移关盖机构节能的作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空升降和平移关盖机构，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部固定连接有两个竖板(2)，两个所述竖板(2)相对的一侧均固定连接有导向条(3)，两个所述导向条(3)之间滑动连接有滑套(5)，所述底板(1)和滑套(5)上设置有升降组件(4)，所述升降组件(4)的顶部固定连接有门板(6)，两个所述竖板(2)相对的一侧均固定连接有限位器(7)；所述升降组件(4)包括镶嵌于底板(1)内腔的气缸(41)，所述气缸(41)的输出轴固定连接有驱动块(42)，所述驱动块(42)的左右两侧均固定连接有随动轮(43)，所述随动轮(43)的外表面滑动连接有与滑套(5)底部固定连接的连接板(44)，所述滑套(5)的内腔滑动连接有两个滑动轴(45)，所述滑动轴(45)和滑套(5)上设置有复位组件(46)。2.根据权利要求1所述的真空升降和平移关盖机构，其特征在于：所述门板(6)固定连接于两个滑动轴(45)的顶部。3.根据权利要求1所述的真空升降和平移关盖机...

【专利技术属性】
技术研发人员：雍晓龙，张义颖，何奇，
申请(专利权)人：披刻半导体苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：