自适应关盖平衡机构制造技术

本实用新型专利技术涉及自适应关盖平衡机构，包括设备外壳，所述设备外壳的内侧设置有升降盖，所述升降盖的下端部固定连接有轴套，所述轴套的内侧滑动连接有端块，所述端块的下端部固定连接有一端贯穿轴套并延伸至设备外壳外侧的升降轴，所述端块的下端部与轴套的内侧之间固定连接有位于升降轴外侧的压缩弹簧，所述升降轴的下端部固定连接有升降板。该自适应关盖平衡机构，通过巧妙的将升降轴、端块、压缩弹簧组装在轴套内，使得升降轴在关闭腔盖的时候有一段压缩弹簧进行缓冲，如果腔盖和设备外壳内腔面不平，压缩弹簧可以左右纠正不平的行程，自适应使得腔盖和腔室无缝隙，从而提高整个腔室的密闭性。的密闭性。的密闭性。

【技术实现步骤摘要】
自适应关盖平衡机构


[0001]本技术涉及原子层沉积设备
，具体为自适应关盖平衡机构。

技术介绍

[0002]原子层沉积(ALD)技术作为化学气相沉积技术的一个特殊形式，是通过将气相前驱体以脉冲的方式交替通入到反应室并在衬底表面发生化学吸附反应形成薄膜的一种方法，它最大的优点是具有自限制性，即当一种前驱体与另一种前驱体反应达到饱和时，反应自动终止。
[0003]原子层沉积设备内腔在关盖时要求腔盖尽量和腔室平行，不平行带来的缝隙会导致工艺气体在内外腔之间流动影响工艺，由于升降动力在外腔底部，从底部伸进去的升降轴带动腔盖很难保证和内腔的平行关盖，从而降低整个腔室的密闭性，故而提出自适应关盖平衡机构来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了自适应关盖平衡机构，具备平行关盖提高密闭性等优点，解决了难以保证平行关盖的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：自适应关盖平衡机构,包括设备外壳，所述设备外壳的内侧设置有升降盖，所述升降盖的下端部固定连接有轴套，所述轴套的内侧滑动连接有端块，所述端块的下端部固定连接有一端贯穿轴套并延伸至设备外壳外侧的升降轴，所述端块的下端部与轴套的内侧之间固定连接有位于升降轴外侧的压缩弹簧，所述升降轴的下端部固定连接有升降板，所述升降板的上端部固定连接有位于升降轴外侧的连接架，所述连接架靠近设备外壳的一端固定连接有一端贯穿设备外壳的腔盖，所述设备外壳的下端部固定连接有一端贯穿升降板的限位柱。
[0006]进一步，所述升降盖的内部与轴套的内顶壁均开设有相互连通的第一通气孔，所述端块的内部开设有一端与第一通气孔连通的第二通气孔。
[0007]进一步，所述升降轴的上端部开设有一端与第二通气孔连通的通气槽，所述设备外壳的内底壁开设有位于腔盖外侧的通孔。
[0008]进一步，所述升降轴的数量为两个，两个所述升降轴呈左右对称分布。
[0009]进一步，所述升降板的内部开设有位于限位柱外侧的圆孔，所述圆孔的规格与限位柱的规格相匹配。
[0010]与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：
[0011]该自适应关盖平衡机构，通过巧妙的将升降轴、端块、压缩弹簧组装在轴套内，使得升降轴在关闭腔盖的时候有一段压缩弹簧进行缓冲，如果腔盖和设备外壳内腔面不平，压缩弹簧可以左右纠正不平的行程，自适应使得腔盖和腔室无缝隙，从而提高整个腔室的密闭性。
附图说明
[0012]图1为本技术整体结构示意图；
[0013]图2为本技术图1中A处放大图。
[0014]图中：1设备外壳、2升降盖、3轴套、4端块、5压缩弹簧、6升降轴、7升降板、8腔盖、9连接架、10限位柱。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]请参阅图1
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2，本实施例中的自适应关盖平衡机构，包括设备外壳1，设备外壳1的内侧设置有升降盖2，升降盖2的下端部固定连接有轴套3，轴套3的内侧滑动连接有端块4，升降盖2的内部与轴套3的内顶壁均开设有相互连通的第一通气孔，端块4的内部开设有一端与第一通气孔连通的第二通气孔，使升降盖2通气时能够穿过轴套3通入端块4内。
[0017]端块4的下端部固定连接有一端贯穿轴套3并延伸至设备外壳1外侧的升降轴6，升降轴6的数量为两个，两个升降轴6呈左右对称分布，升降轴6的上端部开设有一端与第二通气孔连通的通气槽，使通入端块4内的气体能够通入通气槽内，推动升降轴6升降。
[0018]端块4的下端部与轴套3的内侧之间固定连接有位于升降轴6外侧的压缩弹簧5，升降轴6的下端部固定连接有升降板7，升降板7的上端部固定连接有位于升降轴6外侧的连接架9，连接架9靠近设备外壳1的一端固定连接有一端贯穿设备外壳1的腔盖8。
[0019]设备外壳1的内底壁开设有位于腔盖8外侧的通孔，使复位的腔盖8能够盖住通孔，对设备外壳1内侧的腔室形成密闭，设备外壳1的下端部固定连接有一端贯穿升降板7的限位柱10，升降板7的内部开设有位于限位柱10外侧的圆孔，圆孔的规格与限位柱10的规格相匹配，使穿过升降板7的限位柱10来对升降板7进行限位。
[0020]本实施例中的，通过巧妙的将升降轴6、端块4、压缩弹簧5组装在轴套3内，使得升降轴6在关闭腔盖8的时候有一段压缩弹簧5进行缓冲，如果腔盖8和设备外壳1内腔面不平，压缩弹簧5可以左右纠正不平的行程，自适应使得腔盖8和腔室无缝隙。
[0021]上述实施例的工作原理为：
[0022]设备外壳1内侧通气时，气体可依次穿过升降盖2与轴套3上的第一通气孔，和端块4上的第二通气孔后，进入升降轴6上端部的通气槽内，从而推动升降轴6升降，而升降的升降轴6带动连接架9与升降板7升降后，即可通过连接架9带动腔盖8开启，而停止通入气体后，复位的延伸压缩弹簧5则拉动端块4与升降轴6复位，升降轴6在关闭腔盖8的时候有一段压缩弹簧5进行缓冲，如果腔盖8和设备外壳1内腔面不平，压缩弹簧5可以左右纠正不平的行程，自适应使得腔盖8和腔室无缝隙，从而提高整个腔室的密闭性。
[0023]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要
素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0024]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.自适应关盖平衡机构，包括设备外壳(1)，其特征在于：所述设备外壳(1)的内侧设置有升降盖(2)，所述升降盖(2)的下端部固定连接有轴套(3)，所述轴套(3)的内侧滑动连接有端块(4)，所述端块(4)的下端部固定连接有一端贯穿轴套(3)并延伸至设备外壳(1)外侧的升降轴(6)，所述端块(4)的下端部与轴套(3)的内侧之间固定连接有位于升降轴(6)外侧的压缩弹簧(5)，所述升降轴(6)的下端部固定连接有升降板(7)，所述升降板(7)的上端部固定连接有位于升降轴(6)外侧的连接架(9)，所述连接架(9)靠近设备外壳(1)的一端固定连接有一端贯穿设备外壳(1)的腔盖(8)，所述设备外壳(1)的下端部固定连接有一端贯穿升降板(7)的限位柱(10)。2...

【专利技术属性】
技术研发人员：雍晓龙，张义颖，何奇，
申请(专利权)人：披刻半导体苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：