一种进气管路模块制造技术

本实用新型专利技术提供了一种进气管路模块，包括模块主体，还包括第一三通阀、第二三通阀以及二通阀；其中，所述二通阀连通所述第一三通阀与所述第二三通阀；所述模块主体内设置有吹扫管路、载气管路、第一混合管路和第二混合管路，其中，所述载气管路通过所述第一三通阀联通所述第一混合管路，所述吹扫管路通过所述第二三通阀联通至所述第二混合管路，所述第一混合管路与第二混合管路适于连通外部源瓶。通过本实用新型专利技术方案，提高了管路布局的紧凑性，减少管路布局所占用的空间。路布局所占用的空间。路布局所占用的空间。

【技术实现步骤摘要】
一种进气管路模块


[0001]本技术涉及进气系统
，具体而言，涉及一种用于ALD/CVD的进气管路模块。

技术介绍

[0002]ALD或CVD等气相沉积设备进行镀膜时，经常用到一些前驱体源，为了将这些源输运到镀膜腔室，一般通过阀门与管路的焊接组合形成的特定的气路系统来实现，但是这些气路一般较为复杂，需要通过多道焊接工序完成，进而占用较多的设备空间，后期维护较为复杂，且由于前驱体源一般输运有毒腐或易燃特性，输运完成后需要对管路进行清洁吹扫，常规的管路系统由于较长的距离已经复杂的结构，造成清洁效率较低。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术的目的在于提供一种进气管路模块，以解决现有的ALD或者CVD设备内管路复杂且结构较大的问题，同时解决清扫时管路过长造成的清扫效率低的问题。
[0004]本技术采用了如下方案：本申请提供了一种进气管路模块，包括模块主体，还包括第一三通阀、第二三通阀以及二通阀；其中，所述二通阀连通所述第一三通阀与所述第二三通阀；所述模块主体内设置有吹扫管路、载气管路、第一混合管路和第二混合管路，其中，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种进气管路模块，包括模块主体，其特征在于，还包括第一三通阀、第二三通阀以及二通阀；其中，所述二通阀连通所述第一三通阀与所述第二三通阀；所述模块主体内设置有吹扫管路、载气管路、第一混合管路和第二混合管路，其中，所述载气管路通过所述第一三通阀联通所述第一混合管路，所述吹扫管路通过所述第二三通阀联通至所述第二混合管路，所述第一混合管路与第二混合管路适于连通外部源瓶。2.根据权利要求1所述的进气管路模块，其特征在于，所述第一三通阀的进气通道与所述载气管路之间通过载气支路连通。3.根据权利要求1所述的进气管路模块，其特征在于，所述第一三通阀与所述二通阀之间设置有第一旁通管路和第二旁通管路，所述第一旁通管路与第二旁通管路连通以将所述第一三通阀与所述二通阀连通。4.根据权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘彦峰，赖海斌，陈斌，林秀芳，
申请(专利权)人：厦门韫茂科技有限公司，
类型：新型
国别省市：