【技术实现步骤摘要】
一种半导体匀气板生产工艺及其开孔毛刺去除装置
[0001]本申请属于半导体匀气板生产设备领域，具体涉及一种半导体匀气板生产工艺及其开孔毛刺去除装置。
技术介绍
[0002]匀气板表面有很多小孔和复杂细小的气路通道，进而使得匀气板可以对接收的气体进行匀气工作，但因为匀气板表面需要开设许多小孔的缘故，使得匀气板在生产的过程中，需要使用者运用开孔装置对匀气板表面进行开孔工作，而在开孔装置对匀气板表面进行开孔工作后，通常会产生一定的开孔毛刺，这些开孔毛刺即会影响匀气板的美观性，还会影响匀气板的匀气效率，为此使用者在开孔结束后，通常需要用的开孔毛刺去除装置对开孔毛刺进行去除工作。
[0003]根据搜索百度文献可知，目前市场上的开孔毛刺去除装置大多只可以对匀气板中心位置的毛刺进行去除工作，而部分匀气板为应对不同的安装情况，其会对匀气板的外侧进行开孔工作，故使用者在毛刺去除工作后，需要人工对匀气板的外侧进行毛刺去除工作，进而影响了设备的工作效率。
[0004]为此本申请提供了一种半导体匀气板生产工艺及其开孔毛刺去除装置。
技术实现思路
[0005]鉴于上述问题，本申请提出了一种半导体匀气板生产工艺及其开孔毛刺去除装置，解决了上述所阐述出来的问题。
[0006]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现:
[0007]一种半导体匀气板，包括匀气板，所述匀气板包括第一匀气层，所述第一匀气层的下方固定连接有第二匀气层，所述第二匀气层的下方固定连接有第三匀气层，所述第三匀气层的下方固定连接有第...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体匀气板，包括匀气板(1)，其特征在于，所述匀气板(1)包括第一匀气层(2)，所述第一匀气层(2)的下方固定连接有第二匀气层(3)，所述第二匀气层(3)的下方固定连接有第三匀气层(4)，所述第三匀气层(4)的下方固定连接有第四匀气层(5)，所述第一匀气层(2)和第二匀气层(3)上方的水平面积相等，所述第三匀气层(4)和第四匀气层(5)上方的水平面积相等，所述第一匀气层(2)、第二匀气层(3)、第三匀气层(4)和第四匀气层(5)上方的中心均开设有匀气槽，所述第三匀气层(4)和第四匀气层(5)的外表面开设有啮齿槽。2.根据权利要求1所述的一种半导体匀气板的开孔毛刺去除装置，其特征在于，所述开孔毛刺去除装置包括基板(6)，所述基板(6)前端和后端的上方均固定连接有清理组件(7)，所述基板(6)前端和后端上方的一侧均固定连接有输液组件(8)，所述基板(6)一侧的上方固定连接有翻转装置(9)，所述基板(6)上方的一侧固定连接有移动组件(10)，所述移动组件(10)的上方固定连接有去毛刺组件(11)，所述基板(6)上方的另一侧固定连接有调节组件(12)，所述调节组件(12)靠近翻转装置(9)的一侧固定连接有支撑组件(13)，所述支撑组件(13)上方的一侧固定连接有打磨组件(14)。3.根据权利要求2所述的一种半导体匀气板的开孔毛刺去除装置，其特征在于，所述基板(6)上方的一侧开设有加工槽，所述加工槽的中心固定连接有过滤板，所述基板(6)内部的另一侧开设有储杂槽，所述储杂槽和加工槽之间开设有通杂槽，所述通杂槽下方的水平高度与过滤板上方的水平高度相等；所述清理组件(7)包括第一防护板(15)和第二防护板(16)，所述第一防护板(15)和第二防护板(16)分别位于基板(6)的前端和后端，所述第一防护板(15)的内部旋转连接有第一螺纹杆(17)，所述第一螺纹杆(17)的外表面设有滑动连接的移动清理板(18)和固定连接的第一传动轮(19)，所述第一传动轮(19)的外表面连接有第一传动带(20)，所述第一防护板(15)上方的一侧固定连接有固定板(21)，所述固定板(21)的数量为两个，两个所述固定板(21)之间旋转连接有第一旋转杆(22)，所述第一旋转杆(22)的外表面设有固定连接的第一蜗轮(23)和第二传动轮(24)，所述第二传动轮(24)的外表面与第一传动带(20)上方的内表面相适配，所述第二防护板(16)的内部固定连接有第一限定杆(25)，所述移动清理板(18)前端的内表面与第一限定杆(25)的外表面相适配。4.根据权利要求3所述的一种半导体匀气板的开孔毛刺去除装置，其特征在于，两个所述输液组件(8)均包括输液泵(26)，所述输液泵(26)的下方固定连接有抽液管(27)，所述抽液管(27)的下方贯穿基板(6)延伸至其内部，所述输液泵(26)的上方固定连接有排液管(28)。5.根据权利要求4所述的一种半导体匀气板的开孔毛刺去除装置，其特征在于，所述翻转装置(9)包括第一电机(29)，所述第一电机(29)的输出端旋转连接有第二旋转杆(30)，所述第二旋转杆(30)的一侧固定连接有第一活动板(31)，所述第一活动板(31)上方和下方的前端和后端均固定连接有电动伸缩杆(32)，所述电动伸缩杆(32)的输出端固定连接有第二活动板(33)，所述第二活动板(33)内部的中心固定连接有双头电机(34)，所述双头电机(34)的前端和后端均旋转连接有第三旋转杆(35)，所述第三旋转杆(35)中心的外表面固定连接有第三活动板(36)，所述第三活动板(36)一侧靠近第一活动板(31)的一端固定连接有支撑板(37)，所述支撑板(37)靠近第一活动板(31)中心的一侧固定连接有电动吸盘(38)。
6.根据权利要求5所述的一种半导体匀气板的开孔毛刺去除装置，其特征在于，所述移动组件(10)包括U型板(39)，所述U型板(39)内腔底部的后端旋转连接有第二螺纹杆(40)，所述第二螺纹杆(40)的外表面与第一蜗轮(23)的外表面相啮合，所述第二螺纹杆(40)外表面的上方固定连接有第三传动轮(41)，所述第二螺纹杆(40)外表面的中心滑动连接有第一移动板(42)，所述第一移动板(42)两侧的内部均固定连接有第一喷液板(43)，两个所述第一喷液板(43)的后端固定连接有第一分流板(44)，所述第一分流板(44)的后端与一个排液管(28)的前端相连接；所述U型板(39)内腔底部的前端固定连接有第二限定杆(45)，所述第二限定杆(45)的外表面滑动连接有第二移动板(46)，所述第二移动板(46)两侧的内部均固定连接有第二喷液板(47)，两个所述第二喷液板(47)的前端固定连接有第二分流板(48)，所述第二分流板(48)的前端与另一个排液管(28)的后端相连接；所述第一移动板(42)和第二移动板(46)之间固定连接有第四活动板(49)，所述第四活动板(49)的上方旋转连接有旋转盘(50)，所述旋转盘(50)的下方固定连接有第一毛刺去除头(51)，所述第一毛刺去除头(51)外表面的上方固定连接有第一旋转板(52)，所述第一旋转板(52)的下方设有固定连接的第一行星轮(53)和第二行星轮(54)，所述第四活动板(49)内腔的底部设有固定连接的第一架板(55)和第二架板(58)，所述第一架板(55)的下方设有旋转连接的第二毛刺去除头(56)，所述第二毛刺去除头(56)外表面的上方固定连接有第一齿轮(57)，所述第一齿轮(57)的外表面与第一架板(55)的内表面相啮合，所述第二架板(58)的下方设有旋转连接的第三毛刺去除头(59)，所述第三毛刺去除头(59)外表面的上方固定连接有第二齿轮(60)，所述第二齿轮(60)的外表面与第二行星轮(54)的内表面相啮合。7.根据权利要求6所述的一种半导体匀气板的开孔毛刺去除装置，其特征在于，所述去毛刺组件(11)包括第二电机(61)，所述第二电机(61)的输出端旋转连接有第四旋转杆(62)，所述第四旋转杆(62)外表面的上方固定连接有第四传动轮(63)，所述第四传动轮(63)的外表面连接有第二传动带(64)，所述第二传动带(64)后端的内表面与第三传动轮(41)的外表面相适配，所述第四旋转杆(62)外表面的中心固定连接有第五传动轮(65)，所述第五传动轮(65)的外表面连接有第三传动带(66)，所述第四旋转杆(62)的下方固定连接有第二旋转板(67)，所述第二旋转板(67)下方的前端和后端均固定连接有第一伸缩板(68)，所述第一伸缩板(68)的下方与旋转盘(50)的上方相连接。8.根据权利要求7所述的一种半导体匀气板的开孔毛刺去除装置，其特征在于，所述调节组件(12)包括第三防护板(69)，所述第三防护板(69)内腔的前端和后端均固定连接有第三限定杆(70)，所述第三防护板(69)内腔的中心旋转连接有第三螺纹杆(71)，所述第三螺纹杆(71)外表面的上方固定连接有第六传动轮(72)，所述第六传动轮(72)的外表面与第三传动带(66)另一侧的内表面相适配，所述第三螺纹杆(71)外表面的下方滑动连接有第三移动板(73)，所述第三移动板(73)的一侧固定连接有第二伸缩板(74)；所述支撑组件(13)包括第三伸缩板(75)，所述第三伸缩板(75)的下方与移动清理板(18)的上方相连接，所述第三伸缩板(75)的上方固定连接有第四移动板(76)，所述第四移动板(76)的另一侧与第二伸缩板(74)的一侧相连接，所述第四移动板(76)下方的两侧均固定连接有第一弹簧(77)，所述第一弹簧(77)下方的前端和后端均固定连接有第四伸缩板
(78)，所述第一弹簧(77)和第四伸缩板(78)的下方固定连接有第三行星轮(79)。9.根据权利要求8所述的一种半导体匀气板的开孔毛刺去除装置，其特征在于，所述打磨组件(14)包括第三电机(80)和连接板(90)，所述第三电机(80)的输出端旋转连接有第五旋转杆(81)，所述第五旋转杆(81)的下方固定连接有第一打磨板(82)，所述第一打磨板(82)的前端和后端均开设有活动槽，所述活动槽的一侧开设有第一移动槽，所述第一移动槽的内部旋转连接有双头螺纹杆(83)，所述双头螺纹杆(83)中心的外表面固定连接有第二蜗轮(84)，所述双头螺纹杆(83)外表面的前端和后端均滑动连接有第一移动块(85)，所述第一移动块(85)靠近第一打磨板(82)中心的一侧固定连接有第二打磨板(86)；所述第二打磨板(86)远离第一打磨板(82)中心的一侧开设有安装槽，所述安装槽远离第一打磨板(82)中心的一侧固定连接有第二弹簧(87)，所述第二弹簧(87)靠近第一打磨板(82)中心的一侧固定连接有安装板(88)，所述安装板(88)内部的两侧开设有卡接槽，所述卡接槽的底部固定连接有卡接板(89)；所述连接板(90)上方的两侧开设有第二移动槽，所述第二移动槽的内部固定连接有第四限定杆(91)，所述第四限定杆(91)的外表面滑动连接有第二移动块(92)，所述第二移动块(92)远离安装板(88)中心一侧的上方固定连接有连接块(93)，所述连接块(93)的中心开设有卡扣槽，所述卡扣槽的内表面与卡接板(89)的外表面相适配，所述第二移动槽远离连接板(90)中心的一侧固定连接有第三弹簧(94)，所述第三弹簧(94)靠近连接板(90)中心的一侧与第二移动块(92)相连接，所述连接板(90)的下方固定连接有打磨块(95)；所述活动槽另一侧的前端和后端均开设有第三移动槽，所述第三移动槽的内部固定连接有第五限定杆(96)，所述第五限定杆(96)的外表面滑动连接有第三移动块(97)，所述第三移动块(97)靠近第一打磨板(82)中心的一侧与第二打磨板...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄遵翔，付怀友，夏礼飞，赵曾应，
申请(专利权)人：合肥升滕半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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