一种适用于干刻工艺的不锈钢部件高压冲洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及高压冲洗设备技术领域，尤其是一种适用于干刻工艺的不锈钢部件高压冲洗装置，包括冲洗箱，所述冲洗箱转动连接有支撑架，所述支撑架位于冲洗箱内部的一端固定安装有轴线水平设置的C形支架，所述C形支架上固定安装有若干个呈圆环形分布且喷射端指向轴线的高压喷头，所述高压喷头连接有高压水泵，所述支撑架位于冲洗箱外部的一端连接有带动其正、反转运动的动力机构，所述冲洗箱内位于所述支撑架的上方转动连接有部件悬挂架，所述部件悬挂架传动连接有旋转电机。通过本装置能够对不锈钢部件进行全方位且高效率的冲洗，降低工人劳动强度。低工人劳动强度。低工人劳动强度。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于干刻工艺的不锈钢部件高压冲洗装置


[0001]本技术涉及高压冲洗设备
，尤其涉及一种适用于干刻工艺的不锈钢部件高压冲洗装置。

技术介绍

[0002]不锈钢部件应用于制造IC(集成电路)的干刻中的工艺腔体中，干刻工艺是将特定气体置于低压状态下施以电压，将其激发成plasma，对特定膜层加以化学刻蚀和等离子轰击，达到去膜的一种去膜刻蚀方式。
[0003]刻蚀后的膜层残留会附着在不锈钢部件表面，过后的沉积层会影响工艺的正常使用，故需进行清洗维护，一般清洗时需要经过多重清洗步骤：高压冲洗、酸洗、水洗、高压冲洗、超声清洗、检测、烘干等步骤。
[0004]传统高压冲洗时是将部件放入一个敞口的箱体内，然后工人手持高压水枪进行冲洗，该种清洗方式效率慢，工人劳动强度大。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决
技术介绍
中指出的问题，而提出的一种适用于干刻工艺的不锈钢部件高压冲洗装置。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]一种适用于干刻工艺的不锈钢部件高压冲洗装置，包括冲洗箱，所述冲洗箱转动连接有支撑架，所述支撑架位于冲洗箱内部的一端固定安装有轴线水平设置的C形支架，所述C形支架上固定安装有若干个呈圆环形分布且喷射端指向轴线的高压喷头，所述高压喷头连接有高压水泵，所述支撑架位于冲洗箱外部的一端连接有带动其正、反转运动的动力机构，所述冲洗箱内位于所述支撑架的上方转动连接有部件悬挂架，所述部件悬挂架传动连接有旋转电机。
[0008]所述动力机构包括齿轮，所述齿轮与支撑架位于冲洗箱外部的一端固定装配，所述冲洗箱外部固定安装有动力伸缩杆，所述动力伸缩杆的活塞杆固定安装有与齿轮啮合传动的齿条。
[0009]所述部件悬挂架上固定安装有两个限位环，工作时，待冲洗部件悬挂在所述部件悬挂架上并限位在两个限位环之间。
[0010]所述冲洗箱底部具有储水室，所述冲洗箱位于储水室的上方安装有孔板。
[0011]本技术提出的一种适用于干刻工艺的不锈钢部件高压冲洗装置，有益效果在于：本装置使用的时候，将环状的待冲洗部件挂在部件悬挂架上，通过旋转电机带动部件悬挂架转动，使待冲洗部件进行持续的转动，同时在动力机构带动下，多个高压喷头围绕待冲洗部件的下部分进行反复的正反转运动，使待冲洗部件的下部分能够进行全面的冲洗，通过本装置能够对不锈钢部件进行全方位且高效率的冲洗，降低工人劳动强度。
附图说明
[0012]图1为本技术的内部结构示意图；
[0013]图2为本技术的动力机构结构示意图。
[0014]图中：高压喷头1、C形支架2、待冲洗部件3、部件悬挂架4、旋转电机5、支撑架6、冲洗箱7、孔板8、储水室9、动力伸缩杆10、齿条11、齿轮12、限位环13。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0016]参照图1
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2，一种适用于干刻工艺的不锈钢部件高压冲洗装置，包括冲洗箱7，冲洗箱7转动连接有支撑架6，支撑架6位于冲洗箱7内部的一端固定安装有轴线水平设置的C形支架2，C形支架2上固定安装有若干个呈圆环形分布且喷射端指向轴线的高压喷头1，高压喷头1连接有高压水泵，通过高压水泵将冲洗液送入高压喷头1并从喷射端喷出，支撑架6位于冲洗箱7外部的一端连接有带动其正、反转运动的动力机构，通过动力机构带动支撑架6正反转运动，使C形支架2上的多个高压喷头1围绕轴线重复进行正、反转运动，冲洗箱7内位于支撑架6的上方转动连接有部件悬挂架4，部件悬挂架4传动连接有旋转电机，待冲洗部件3悬挂在部件悬挂架4之后，待冲洗部件3的下部分位于C形支架2的轴线位置，高压喷头1的喷射端指向待冲洗部件3的下部分。
[0017]参考图1，本装置使用的时候，将环状的待冲洗部件3挂在部件悬挂架4上，通过旋转电机5带动部件悬挂架4转动，使待冲洗部件3进行持续的转动，同时在动力机构带动下，多个高压喷头1围绕待冲洗部件3的下部分进行反复的正反转运动，使待冲洗部件3的下部分能够进行全面的冲洗，通过本装置能够对不锈钢部件进行全方位且高效率的冲洗，降低工人劳动强度。
[0018]其中动力机构包括齿轮12，齿轮12与支撑架6位于冲洗箱7外部的一端固定装配，冲洗箱7外部固定安装有动力伸缩杆10，动力伸缩杆10的活塞杆固定安装有与齿轮12啮合传动的齿条11，通过动力伸缩杆10反复的伸长、缩短，在齿条11、齿轮12啮合作用下实现支撑架6的正反转运动。
[0019]进一步的，C形支架2选用半圆环结构，支撑架6为Z形结构，齿轮12的轴线与C形支架2的轴线重合，这样更好的保证高压喷头1围绕齿轮12的轴线旋转。
[0020]部件悬挂架4上固定安装有两个限位环13，工作时，待冲洗部件3悬挂在部件悬挂架4上并限位在两个限位环13之间，通过两个限位环13对待冲洗部件3进行限位，防止冲洗的过程中待冲洗部件3跑偏。
[0021]冲洗箱7底部具有储水室9，冲洗箱7位于储水室9的上方安装有孔板8，通过储水室9接收喷出滴落的水，当然为了节约水资源，也可以在储水室与高压水泵之间设置相应的滤水设备，达到水资源重复利用的目的。
[0022]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变而得到的技术方案、构思、设计，都
应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于干刻工艺的不锈钢部件高压冲洗装置，包括冲洗箱(7)，其特征在于，所述冲洗箱(7)转动连接有支撑架(6)，所述支撑架(6)位于冲洗箱(7)内部的一端固定安装有轴线水平设置的C形支架(2)，所述C形支架(2)上固定安装有若干个呈圆环形分布且喷射端指向轴线的高压喷头(1)，所述高压喷头(1)连接有高压水泵，所述支撑架(6)位于冲洗箱(7)外部的一端连接有带动其正、反转运动的动力机构，所述冲洗箱(7)内位于所述支撑架(6)的上方转动连接有部件悬挂架(4)，所述部件悬挂架(4)传动连接有旋转电机。2.根据权利要求1所述的一种适用于干刻工艺的不锈钢部件高压冲洗装置，其特征在于，所述动力机构包括齿轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：许杰，王益宝，夏礼飞，
申请(专利权)人：合肥升滕半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：