一种提升等压化学气相沉积工艺沉积效率的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于碳基复合材料的制造技术领域，尤其涉及一种提升等压化学气相沉积工艺沉积效率的装置。包括：等压化学气相沉积炉，在所述等压化学气相沉积炉上设置有进气管道和抽气管道；所述等压化学气相沉积炉内部放置实心碳碳复合材料产品，在靠近抽气管道一端的实心碳碳复合材料产品上设置碳碳盖板。克服等压化学气相沉积过程中存在的沉积效率低的问题。化学气相沉积过程中存在的沉积效率低的问题。化学气相沉积过程中存在的沉积效率低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种提升等压化学气相沉积工艺沉积效率的装置


[0001]本技术属于碳基复合材料的制造
，尤其涉及一种提升等压化学气相沉积工艺沉积效率的装置。

技术介绍

[0002]化学气相沉积工艺是通过碳氢气体(天然气、丙烯等)在一定温度下受热裂解并在预制体孔隙中形成沉积碳的工艺方法。当前，现有异形件及实心碳/碳复合材料制品主要采用等压化学气相沉积工艺进行致密化，即将反应气体由沉积炉底部通入炉膛内部，反应后在泵的作用下经抽气管道排至炉膛外。
[0003]在该过程中，由于泵的抽力较大且难以调控，导致炉内压力整体偏低，致使碳碳制品沉积效率低，制备周期较长，且反应气源浪费较大，致使产品生产成本较高。因此，需要对该工艺过程进行改进，设计一种提升炉内压力的工装，提升碳碳产品沉积速率，增加反应气体的利用率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是：为克服异形件及实心碳/碳复合材料制品在等压化学气相沉积过程中存在的沉积效率低问题，本技术以上出料化学气相沉积炉为研究对象，提供了一种提升等压化学气相沉积工艺沉积效率的装置，能够在保证气源气正常流通的情本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提升等压化学气相沉积工艺沉积效率的装置，其特征在于，所述装置包括：等压化学气相沉积炉，在所述等压化学气相沉积炉上设置有进气管道(1)和抽气管道(7)；所述等压化学气相沉积炉内部放置实心碳碳复合材料产品(3)，在靠近抽气管道(7)一端的实心碳碳复合材料产品(3)上设置碳碳盖板(4)。2.根据权利要求1所述的一种提升等压化学气相沉积工艺沉积效率的装置，其特征在于，所述碳碳盖板(4)外径与等压化学气相沉积炉炉膛内径一致，厚约15
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20cm，密度1.7g/cm3。3.根据权利要求1所述的一种提升等压化学气相沉积工艺沉积效率的装置，其特征在于，所述碳碳盖板(4)上...

【专利技术属性】
技术研发人员：左玉，韩文静，刘联军，盛沛沛，徐保海，樊宁霞，
申请(专利权)人：西安航空制动科技有限公司，
类型：新型
国别省市：