下载一种提升等压化学气相沉积工艺沉积效率的装置的技术资料

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本实用新型属于碳基复合材料的制造技术领域,尤其涉及一种提升等压化学气相沉积工艺沉积效率的装置。包括:等压化学气相沉积炉,在所述等压化学气相沉积炉上设置有进气管道和抽气管道;所述等压化学气相沉积炉内部放置实心碳碳复合材料产品,在靠近抽气管道一...
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