一种卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件及镀膜设备制造技术

本发明专利技术公开一种卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件及镀膜设备，涉及镀膜设备技术领域。卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件，包括：腔体盖板，用于盖装在腔体上，所述腔体盖板设有端子安装通孔；端子，所述端子设有热丝连接端，所述热丝连接端穿过所述端子安装通孔，并能够进入腔体内；安装件，所述安装件安装在所述腔体盖板上；绝缘连接件，端子通过所述绝缘连接件和所述安装件连接；热丝固定块，所述热丝固定块与热丝连接，所述热丝固定块设有快换结构，用于和所述热丝连接端快速拆装。可以实现热丝固定块与热丝连接端的快速拆装，达到节省大量更换热丝时所耗费的时间。达到节省大量更换热丝时所耗费的时间。达到节省大量更换热丝时所耗费的时间。

【技术实现步骤摘要】
一种卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件及镀膜设备


[0001]本专利技术涉及镀膜设备
，特别涉及一种卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件及镀膜设备。

技术介绍

[0002]目前卧式热丝化学气相沉积(HWCVD)技术以其基底表面低温生长、工艺气体利用率高、生长速率高、无等离子体轰击损伤、良好的钝化效果、适合于大面积薄膜生长等工艺特性，在薄膜制备成本、化合物半导体、稳定性等方面具有很强的优势，其应用领域涉及GaAs、铁电、Si系ICs、薄膜晶体管(TFT)、高效太阳能电池等。
[0003]参杂层做微晶结构可使太能电池的转化效率提升0.5％，但等离子增强型化学气相沉积法(PECVD)做微晶需用VFH，如何降低微晶硅太阳能电池的成本最直接有效的方法是提高沉积速率，PECVD微晶硅薄膜的高速沉积问题成为太阳能电池产业化进程中一个必须攻克的难题。HWCVD的高沉积速率，高气体分解率，可以补上这个短板。
[0004]卧式热丝化学气相沉积(HWCVD)设备是对加热热丝通入高电压，使得加热热丝产生高温，在较低的压力下，用热能激活工艺气体，使其发生热分解或化学反应，沉积在基板表面形成所需的薄膜。现有的卧式热丝化学气相沉积(HWCVD)设备需要使用大量加热热丝，卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件中热丝与导电端子直接接触，加热后不方便拆装更换，如需更换需要耗费大量的时间，并且热丝产生的热量容易通过导电端子传递到腔体外部，影响设备运行的稳定性。

技术实现思路

[0005]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件，能够节省大量更换热丝时所耗费的时间。
[0006]本专利技术还提出一种具有上述卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件的镀膜设备。
[0007]根据本专利技术第一方面实施例的一种卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件，包括：
[0008]腔体盖板，用于盖装在腔体上，所述腔体盖板设有端子安装通孔；
[0009]端子，所述端子设有热丝连接端，所述热丝连接端穿过所述端子安装通孔，并能够进入腔体内；
[0010]安装件，所述安装件安装在所述腔体盖板上；
[0011]绝缘连接件，端子通过所述绝缘连接件和所述安装件连接；
[0012]热丝固定块，所述热丝固定块与热丝连接，所述热丝固定块设有快换结构，用于和所述热丝连接端快速拆装。
[0013]根据本专利技术实施例的卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件，至少具有如下有益效果：通过腔体盖板盖装在腔体上，避免腔体内部工艺气体泄露。端子通过绝缘连接件和
安装件连接，避免端子和安装件之间处于导通的状态，防止端子在接通电源以后，出现安装件带上高电压的情况，影响操作人员的生命安全。在端子和热丝相连接的时候，先将热丝与热丝固定块连接，再将热丝固定块与热丝连接端连接，由于热丝固定块设有快换结构，可以实现热丝固定块与热丝连接端的快速拆装，达到节省大量更换热丝时所耗费的时间。
[0014]根据本专利技术的一些实施例，所述快换结构包括触指弹簧、设置在所述热丝固定块上的安装槽，所述触指弹簧安装在所述安装槽内，所述热丝连接端能够插装在所述安装槽中，且穿过所述触指弹簧，并通过所述触指弹簧固定在所述安装槽中。
[0015]根据本专利技术的一些实施例，所述安装槽内设有环形的弹簧安装槽，所述触指弹簧安装在所述弹簧安装槽中。
[0016]根据本专利技术的一些实施例，还包括内隔热套筒，所述端子上套设有所述内隔热套筒，所述内隔热套筒位于所述端子安装通孔和所述端子之间，以将所述端子和所述腔体盖板隔开。
[0017]根据本专利技术的一些实施例，还包括外隔热套筒，所述外隔热套筒套设在所述热丝连接端上，所述外隔热套筒与所述腔体盖板固定连接。
[0018]根据本专利技术的一些实施例，还包括紧固件，所述热丝固定块设有供所述热丝穿入的热丝穿入孔，所述热丝固定块上设有热丝固定孔，所述热丝固定孔和所述热丝穿入孔连通，所述紧固件安装在所述热丝固定孔上，且能够将穿入所述热丝穿入孔中的所述热丝固定。
[0019]根据本专利技术的一些实施例，所述紧固件为螺钉，所述热丝固定孔为螺纹孔，所述热丝固定孔垂直所述热丝穿入孔设置。
[0020]根据本专利技术的一些实施例，所述安装件为安装法兰，所述安装法兰安装在所述腔体盖板上，所述绝缘连接件包括绝缘套筒和连接件，所述绝缘套筒套装在所述端子上，并设置在所述安装法兰与所述端子之间，所述连接件将所述安装法兰、所述绝缘套筒和所述端子连为一体。
[0021]根据本专利技术的一些实施例，所述安装法兰和所述腔体盖板之间设有绝缘密封圈，所述绝缘密封圈环所述端子安装通孔设置。
[0022]根据本专利技术第二方面实施例的一种镀膜设备，包括上述的卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件。
[0023]根据本专利技术实施例的镀膜设备，至少具有如下有益效果：具有安全性好，拆装方便的特点。
[0024]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0025]下面结合附图和实施例对本专利技术做进一步的说明，其中：
[0026]图1为本专利技术一种实施例的卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件的立体结构示意图；
[0027]图2为本专利技术一种实施例的卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件的剖面视图；
[0028]图3为图2的局部放大示意图；
[0029]图4为导电端子的立体结构示意图；
[0030]图5为导电端子的剖面结构示意图。
[0031]附图标号：
[0032]腔体盖板100；端子安装通孔110；
[0033]端子210；热丝连接端211；绝缘连接件220；绝缘套筒221；连接件222；安装件230；
[0034]热丝固定块300；快换结构310；触指弹簧311；安装槽312；弹簧安装槽3121；热丝穿入孔320；热丝固定孔330；
[0035]热丝400；内隔热套筒500；外隔热套筒600；绝缘密封圈700。
具体实施方式
[0036]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0037]在本专利技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0038]在本专利技术的描述中，多个指的是两个以上。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件，其特征在于，包括：腔体盖板，用于盖装在腔体上，所述腔体盖板设有端子安装通孔；端子，所述端子设有热丝连接端，所述热丝连接端穿过所述端子安装通孔，并能够进入腔体内；安装件，所述安装件安装在所述腔体盖板上；绝缘连接件，端子通过所述绝缘连接件和所述安装件连接；热丝固定块，所述热丝固定块与热丝连接，所述热丝固定块设有快换结构，用于和所述热丝连接端快速拆装。2.根据权利要求1所述的卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件，其特征在于：所述快换结构包括触指弹簧、设置在所述热丝固定块上的安装槽，所述触指弹簧安装在所述安装槽内，所述热丝连接端能够插装在所述安装槽中，且穿过所述触指弹簧，并通过所述触指弹簧固定在所述安装槽中。3.根据权利要求2所述的卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件，其特征在于：所述安装槽内设有环形的弹簧安装槽，所述触指弹簧安装在所述弹簧安装槽中。4.根据权利要求1所述的卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件，其特征在于：还包括内隔热套筒，所述端子上套设有所述内隔热套筒，所述内隔热套筒位于所述端子安装通孔和所述端子之间，以将所述端子和所述腔体盖板隔开。5.根据权利要求4所述的卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件，其特征在于：还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：余仲，杨福满，张海涛，刘顺，赵步举，程培勇，谭晓华，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：