一种TFE遮罩延长寿命的结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种TFE遮罩延长寿命的结构，涉及TFE遮罩技术领域。所述TFE遮罩包括镂空区域与非镂空区域，所述TFE遮罩延长寿命的结构包括：在所述非镂空区域均匀设置至少一电加热单元，每一所述电加热单元均分别与电源连接，所述电加热单元用于在薄膜沉积的过程中通电发热对所述TFE遮罩进行加热，使TFE遮罩上沉积的薄膜不易剥落。本实用新型专利技术提供的一种TFE遮罩延长寿命的结构，通过提高防着板上沉积的膜质，从而提高薄膜的附着力，减少薄膜由于膜质差、附着力差而导致的薄膜剥落，延长防着板遮罩的使用寿命。着板遮罩的使用寿命。着板遮罩的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种TFE遮罩延长寿命的结构


[0001]本技术涉及TFE遮罩
，具体涉及一种TFE遮罩延长寿命的结构。

技术介绍

[0002]在有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode)OLED显示器具备自发光特性、低功耗、宽视角、响应速度快、超轻超薄、抗震性好等特点，采用薄膜封装OLED器件可实现柔性、可折叠、可弯折等特点，该技术被广泛运用于柔性显示领域。
[0003]薄膜封装技术(ThinFilmEncapsulastion，TFE)是在TFT基板上，将有机的EL蒸镀后，在上方通过沉积Barrierlayer(隔绝层)和Bufferlayer(平坦层)，依次顺序制备3～5层交错覆盖来隔绝水氧，用来保护有机EL的技术，其中TFE封装中Barrierlayer(隔绝层)多采用PECVD(化学气相沉积)机台沉积无机薄膜(比如氮化硅)起到阻隔水氧的作用。Bufferlayer(平坦层)多采用IJP(喷墨打印)机台涂布有机薄膜，比如高分子聚合物、树脂等，其作用就是覆盖无机层的缺陷，实现平坦化，可以释放无机层之间的应力，实现柔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种TFE遮罩延长寿命的结构，所述TFE遮罩包括镂空区域与非镂空区域，其特征在于：在所述非镂空区域均匀设置至少一电加热单元，每一所述电加热单元均分别与电源连接，所述电加热单元用于在薄膜沉积的过程中通电发热对所述TFE遮罩进行加热，使TFE遮罩上沉积的薄膜致密不易剥落。2.如权利要求1所述的TFE遮罩延长寿命的结构，其特征在于：所述电加热单元设置于所述非镂空区域的背面。3.如权利要求1所述的TFE遮罩延长寿命的结构，其特征在于：所述电加热单元设置于所述非镂空区域的内部。4.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：温质康，庄丹丹，乔小平，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：