下载一种TFE遮罩延长寿命的结构的技术资料

文档序号:37005844

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本实用新型公开了一种TFE遮罩延长寿命的结构,涉及TFE遮罩技术领域。所述TFE遮罩包括镂空区域与非镂空区域,所述TFE遮罩延长寿命的结构包括:在所述非镂空区域均匀设置至少一电加热单元,每一所述电加热单元均分别与电源连接,所述电加热单元用于...
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