一种PECVD双面沉积设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种PECVD双面沉积设备，涉及太阳能技术领域，包括石墨盘，石墨盘的一侧表面等距开设有多个装载槽，石墨盘的上表面固定连接有多个支撑块，四个支撑块为一组，每组支撑块的内侧表面均固定连接有两个电动伸缩杆。本实用新型专利技术，使用时，两个电动伸缩杆呈180

【技术实现步骤摘要】
一种PECVD双面沉积设备


[0001]本技术涉及太阳能
，尤其涉及一种PECVD双面沉积设备。

技术介绍

[0002]PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜，为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积，现阶段，太阳能电池在太阳能发电等领域应用广泛，太阳能电池制作使用的硅片需要进行氮化硅薄膜的PECVD沉积加工以提高光能吸收程度，目前PECVD双面沉积的装载设备普遍使用双侧机械手对硅片进行吸附后单片装载于横置固定的石墨盘上设置的装载槽内。
[0003]但是现有技术中石墨盘在长时间的使用后磨损较高，导致固定硅片时极易滑脱，影响生产效率和生产质量，而且现有技术中硅片在固定时极易因受力过高导致破损，造成经济损失。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，石墨盘在长时间的使用后磨损较高，导致固定硅片时极易滑脱，影响生产效率和生产质量，而且现有技术中硅片在固定时极易因受力过高导致破损，造成经济损失。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种PECVD双面沉积设备，包括石墨盘，所述石墨盘的一侧表面等距开设有多个装载槽，所述石墨盘的上表面固定连接有多个支撑块，四个所述支撑块为一组，每组所述支撑块的内侧表面均固定连接有两个电动伸缩杆，每组所述支撑块的内侧表面均固定连接有两个滑杆，多个所述滑杆的一端均固定连接有导力件，多个所述导力件的上表面均固定连接有两个支撑柱，多个所述电动伸缩杆的一端均固定连接有受力件，多个所述支撑柱的外表面均位于相对应多个受力件的内部，多个所述受力件的内侧表面与多个导力件的内侧表面均设置有夹板。
[0006]优选的，多个所述夹板的外侧表面均固定连接有伸缩杆，多个所述伸缩杆的一端固定连接于相对应多个导力件的内侧表面与多个受力件的内侧表面，多个所述导力件的内侧表面与多个受力件的内侧表面均固定连接有弹簧，多个所述弹簧的一端均固定连接于相对应夹板的表面。
[0007]优选的，多个所述弹簧的内壁表面均套设于相对应多个伸缩杆的外表面。
[0008]优选的，多个所述夹板内侧表面均固定连接有吸能垫，所述吸能垫的内侧表面均等距开设有多个凹槽。
[0009]优选的，多个所述夹板的两端均呈直角状，多个所述夹板均位于相对应多个装载槽的内部。
[0010]优选的，多个所述吸能垫的两侧表面呈45
°
。
[0011]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，
[0012]1、本技术中，使用时，两个电动伸缩杆呈180
°
固定，两个电动伸缩杆拉动两个受力件向外侧移动，两个受力件通过四个支撑柱带动导力件同步移动，两个滑杆限制导力件的移动轨迹，再利用外部机械手吸附硅片放入装载槽的内部，两个电动伸缩杆推动两个受力件相互靠近，带动两个导力件复位，两个受力件与两个导力件通过内侧固定的夹板将硅片夹持，避免长时间适用后导致石墨盘磨损，固定效果好，能够匹配不同规格的硅片，适用范围广泛。
[0013]2、本技术中，多个夹板通过吸能垫，伸缩杆和弹簧吸收动能保护硅片，避免硅片受力过高后发生破损，降低生产时的损耗，提高经济效益，保障生产质量，吸能垫一侧表面开设的凹槽提高吸能垫与硅片之间的摩擦力，避免运输过程中的震动导致硅片滑动，每两个相邻夹板的一端和两个吸能垫的一侧表面在受力件和导力件的作用下相互贴合，避免两个相邻的夹板和吸能垫交错，影响正常使用。
附图说明
[0014]图1为本技术提出一种PECVD双面沉积设备的立体结构示意图图；
[0015]图2为本技术提出一种PECVD双面沉积设备受力件的立体结构示意图；
[0016]图3为本技术提出一种PECVD双面沉积设备夹板的立体结构示意图。
[0017]图例说明：
[0018]1、石墨盘；2、装载槽；3、凹槽；4、电动伸缩杆；5、支撑块；6、导力件；7、受力件；8、支撑柱；9、滑杆；10、伸缩杆；11、弹簧；12、夹板；13、吸能垫。
具体实施方式
[0019]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0020]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0021]实施例1，如图1
‑
3所示，本技术提供了一种PECVD双面沉积设备，包括石墨盘1，石墨盘1的一侧表面等距开设有多个装载槽2，石墨盘1的上表面固定连接有多个支撑块5，四个支撑块5为一组，每组支撑块5的内侧表面均固定连接有两个电动伸缩杆4，每组支撑块5的内侧表面均固定连接有两个滑杆9，多个滑杆9的一端均固定连接有导力件6，多个导力件6的上表面均固定连接有两个支撑柱8，多个电动伸缩杆4的一端均固定连接有受力件7，多个支撑柱8的外表面均位于相对应多个受力件7的内部，多个受力件7的内侧表面与多个导力件6的内侧表面均设置有夹板12。
[0022]其整个实施例1达到的效果为，使用时，两个电动伸缩杆4呈180
°
固定，两个电动伸缩杆4拉动两个受力件7向外侧移动，两个受力件7通过四个支撑柱8带动导力件6同步移动，两个滑杆9限制导力件6的移动轨迹，再利用外部机械手吸附硅片放入装载槽2的内部，两个电动伸缩杆4推动两个受力件7相互靠近，带动两个导力件6复位，两个受力件7与两个导力
件6通过内侧固定的夹板12将硅片夹持，避免长时间适用后导致石墨盘磨损，固定效果好，能够匹配不同规格的硅片，适用范围广泛。
[0023]实施例2，如图1
‑
3所示，多个夹板12的外侧表面均固定连接有伸缩杆10，多个伸缩杆10的一端固定连接于相对应多个导力件6的内侧表面与多个受力件7的内侧表面，多个导力件6的内侧表面与多个受力件7的内侧表面均固定连接有弹簧11，多个弹簧11的一端均固定连接于相对应夹板12的表面，多个弹簧11的内壁表面均套设于相对应多个伸缩杆10的外表面，多个夹板12内侧表面均固定连接有吸能垫13，吸能垫13的内侧表面均等距开设有多个凹槽3，多个夹板12的两端均呈直角状，多个夹板12均位于相对应多个装载槽2的内部，多个吸能垫13的两侧表面呈45
°
。
[0024]其整个实施例2达到的效果为，多个夹板12通过吸能垫13，伸缩杆10和弹簧11吸收动能保护硅片，避免硅片受力过高后发生破损，降低生产时的损耗，提高经济效益，保障生产质量，吸能垫13一侧表面开设的凹槽3提高吸能垫13与硅片之间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PECVD双面沉积设备，包括石墨盘(1)，其特征在于：所述石墨盘(1)的一侧表面等距开设有多个装载槽(2)，所述石墨盘(1)的上表面固定连接有多个支撑块(5)，四个所述支撑块(5)为一组，每组所述支撑块(5)的内侧表面均固定连接有两个电动伸缩杆(4)，每组所述支撑块(5)的内侧表面均固定连接有两个滑杆(9)，多个所述滑杆(9)的一端均固定连接有导力件(6)，多个所述导力件(6)的上表面均固定连接有两个支撑柱(8)，多个所述电动伸缩杆(4)的一端均固定连接有受力件(7)，多个所述支撑柱(8)的外表面均位于相对应多个受力件(7)的内部，多个所述受力件(7)的内侧表面与多个导力件(6)的内侧表面均设置有夹板(12)。2.根据权利要求1所述的一种PECVD双面沉积设备，其特征在于：多个所述夹板(12)的外侧表面均固定连接有伸缩杆(10)，多个所述伸缩杆(10)的一端固定连接于相对应多个导力件(6...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯嘉荔，钟兴进，何淑英，
申请(专利权)人：广州市鸿浩光电半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：