广州市鸿浩光电半导体有限公司专利技术

广州市鸿浩光电半导体有限公司共有116项专利

  • 本实用新型公开了液体蒸发器技术领域的液体蒸发器供料器的定量投放机构,包括底座、供料罐和盖板,盖板上设有转动轴,转动轴上设有搅拌电机、驱动齿轮和搅拌叶,盖板的底面沿圆周方均匀固定有多个安装架,安装架上设有转动盘,转动盘上均匀设有多个定量槽...
  • 本实用新型公布了一种可清洗的液体蒸发器供料器,包括蒸发器主体,蒸发器主体的上方设有供料罐,供料罐底部与蒸发器主体之间连通有供料管道,供料管道的下端安装有第一电动阀,供料管道的上端安装有导料机构,供料管道的管壁下部连通有排污管,排污管上安...
  • 本实用新型提供一种PECVD双面沉积设备,涉及太阳能技术领域,包括石墨盘,石墨盘的一侧表面等距开设有多个装载槽,石墨盘的上表面固定连接有多个支撑块,四个支撑块为一组,每组支撑块的内侧表面均固定连接有两个电动伸缩杆。本实用新型,使用时,两...
  • 本实用新型公开了一种基板外围边缘的处理装置,属于基板生产技术领域,包括处理机体,所述处理机体的顶端一侧连接有第一支撑板,所述第一支撑板远离处理机体的侧壁装配有电缸,所述处理机体的顶端放置有移动板,所述移动板与电缸的输出轴端连接;本实用新...
  • 本实用新型涉及气相沉积设备技术领域,且公开了一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置,包括支撑升降机构和清洗机构,清洗机构活动安装于支撑升降机构表面中心位置,支撑升降机构设置于清洗机构外表面四周。本实用新型通过清扫刷外表面与卡接槽外表面位...
  • 本实用新型提供一种耐火金属抓取装置,涉及金属锻造技术领域,包括中转杆,所述中转杆的数量为两个,所述中转杆的一端固定连接有防滑把手。本实用新型,通过挤压外板、破碎凸杆以及挤压弹簧的设置,在使用时,通过挤压弹簧的挤压,使得挤压外板将钢珠与煤...
  • 本实用新型公开了沉积炉技术领域的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉,包括加热室,所述加热室的内部固定安装有反应室,所述加热室和反应室之间固定安装有加热器,本实用新型通过预储罐的设置,能够将混合后的气体通过进气泵添加到其中,并且通过...
  • 本实用新型提供一种化学气相沉积室清洗装置,涉及化学气相沉积室技术领域,包括外壳,所述外壳的顶部固定连通有加剂管,所述加剂管远离外壳的一侧固定连接有塞子。本实用新型,打开加剂管上的塞子,对加剂管中进行加装清洁剂,抓住握把并轻轻用力对压板向...
  • 本实用新型公布了一种沉积设备用穿孔泵板的清理装置,包括泵板本体、座板、放置框、转轴、电机和敲击辊,放置框的底板上固接有伸缩杆,伸缩杆上套设有弹簧,伸缩杆的顶部固接有托盘,转轴转动连接在放置框的上方,电机驱动转轴转动,转轴上固接有门型杆,...
  • 本实用新型公开了一种用于液体蒸发器的供料装置,包括机台,所述机台顶部的两侧固定连接有第一侧板和第二侧板,且机台的顶部开设有位于第一侧板与第二侧板之间的滑槽,所述机台的顶部安装有位于第二侧板右侧的待用蒸发器,所述滑槽内滑动安装有滑座,且滑...
  • 本实用新型提供一种等离子沉积设备,涉及等离子沉积技术领域,包括设备本体,所述设备本体的顶部靠近一侧边缘处固定有控制箱,所述设备本体的顶部靠近另一侧边缘处固定有沉积盒,所述沉积盒的顶部开设有反应室,所述反应室的内部底面沿圆周方向开设有四个...
  • 本实用新型公开了气相沉积技术领域的一种去除CVD反应腔体内壁沉积膜的装置,包括底座,所述底座的顶部焊接有竖梁,所述竖梁的内壁转动连接有螺纹杆,所述底座内腔的顶部固定安装有第一电机,所述第一电机的输出轴与螺纹杆的底部固定安装,本实用新型通...
  • 本实用新型公开了晶圆加工技术领域的一种等离子体CVD晶圆用表面修磨装置,包括箱体,所述箱体内腔的底部固定安装有配件盒,本实用新型第一电机带动主动轮旋转,并且通过主动轮和从动轮的配合来使链条进行转动,从而使链条带动滑轴进行移动,在滑轴移动...
  • 本实用新型提供一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备,涉及化学沉积技术领域,包括底板,所述底板的顶部靠近一侧边缘处固定有存储箱,所述底板的顶部靠近另一侧边缘处固定有蒸发箱,所述底板的顶部位于存储箱的一侧和蒸发箱的一侧之间固定有反应器本体,...
  • 本实用新型公开了晶片加工技术领域的一种晶片支撑夹紧结构,包括底座,所述底座的上方设置有承载板,所述承载板的顶部固定安装有安装板,所述安装板的内腔滑动连接有齿板,所述齿板的顶部固定安装有连接块,所述连接块的顶部焊接有方形夹块,所述方形夹块...
  • 本实用新型公布了一种冷壁法CVD沉积设备,包括支撑座,支撑座的内腔左侧安装有电源,支撑座的内腔右侧安装有真空泵,支撑座的顶部中心连接有沉积箱,真空泵与沉积箱之间连通有抽气管,抽气管上安装有控制阀,支撑座的顶部左右两侧连接有液压杆,两个液...
  • 本实用新型公开了气相沉积技术领域的基于穿孔泵板的沉积设备用气体混合装置,包括混合箱和进气箱,进气箱中设有第一活塞组件和进气管,混合箱的上部设有第二活塞组件,下部设有泵板,泵板上设有排气腔和螺纹筒,螺纹筒上设有封口板和多个直槽口,本实用新...
  • 本实用新型公布了一种化学气相沉积石墨化一体炉,包括底座,底座的顶部连接有炉体,炉体的内壁连接有保温层,保温层的内壁缠绕连接有加热丝,炉体的炉膛内设有沉积室,沉积室上端开口,沉积室的底部连通有导气管,导气管穿过炉体底部并伸出底座,炉体的外...
  • 本实用新型公开了化学气相沉淀技术领域的基于化学气相沉淀室的可更换夹环机构,包括沉淀室、承接环、覆盖环和移动板,覆盖环的底部设有第二环板,第二环板内侧设有多个卡槽,基座上对应设有多个转动槽,转动槽中设有卡接组件,且多个卡接组件与移动板连接...
  • 本实用新型公开了蒸发器技术领域的一种换热效率高的板式蒸发器,包括底座和蒸发器主体,蒸发器主体上设有液体物料进管、浓缩料出管、热源进管和热源出管,底座中设有预热通道和主料管,主料管上设有拨片和螺旋板,并与液体物料进管连接,预热通道与热源出...