一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备，涉及化学沉积技术领域，包括底板，所述底板的顶部靠近一侧边缘处固定有存储箱，所述底板的顶部靠近另一侧边缘处固定有蒸发箱，所述底板的顶部位于存储箱的一侧和蒸发箱的一侧之间固定有反应器本体，所述反应器本体的顶部固定有沉积盒，所述沉积盒的一侧中心处焊接有固定块，所述固定块的一侧中心处开设有凹槽，所述凹槽的内部底面固定有两个弹簧，本实用新型专利技术，通过在设备顶部设置显示灯，使得通过灯光颜色向人们传达设备内蒸汽的排放情况，解决了传统的化学沉积设备无法显示内部蒸汽具体的排放程度，导致设备内部的蒸汽排放不干净，给人们的工作带来了困难的问题。给人们的工作带来了困难的问题。给人们的工作带来了困难的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备


[0001]本技术涉及化学沉积
，尤其涉及一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备。

技术介绍

[0002]化学沉积是利用一种合适的还原剂使镀液中的金属离子还原并沉积在基体表面上的化学还原过程。与电化学沉积不同，化学沉积不需要整流电源和阳极。
[0003]现有的化学沉积设备，在沉积过后，需要将装置内部的废液以蒸汽的形式排出设备内部，但是设备无法显示内部蒸汽具体的排放程度，导致设备内部的蒸汽排放不干净，给人们的工作带来了困难。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是，通过在设备顶部设置显示灯，使得通过灯光颜色向人们传达设备内蒸汽的排放情况，解决了传统的化学沉积设备无法显示内部蒸汽具体的排放程度，导致设备内部的蒸汽排放不干净，给人们的工作带来了困难的问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备，包括底板，所述底板的顶部靠近一侧边缘处固定有存储箱，所述底板的顶部靠近另一侧边缘处固定有蒸发箱，所述底板的顶部位于存储箱的一侧和蒸发箱的一侧之间固定有反应器本体，所述反应器本体的顶部固定有沉积盒，所述沉积盒的一侧中心处焊接有固定块，所述固定块的一侧中心处开设有凹槽，所述凹槽的内部底面固定有两个弹簧，两个所述弹簧的一端之间固定有活动块，所述活动块位于凹槽的内部之间，所述凹槽的内部滑动连接有对接块，所述对接块的一侧外壁与活动块的一侧外壁相贴合。
[0006]优选的，所述沉积盒的内壁之间靠近顶部滑动连接有顶盖，所述蒸发箱的前表面靠近一侧边缘处通过铰链转动连接有侧板。
[0007]优选的，所述蒸发箱的顶部中心处固定有底座，所述底座的顶部中心处固定有连接管。
[0008]优选的，所述连接管贯穿至蒸发箱的内部，所述连接管的顶部固定有过滤器。
[0009]优选的，所述过滤器的外表面沿圆周方向等开设有多个滤孔，所述沉积盒的顶部靠近一个拐角处固定有立柱，所述立柱的顶部固定有显示灯。
[0010]优选的，所述底板的底部靠近四个拐角处均固定有万向轮，所述反应器本体的前表面靠近两侧边缘处均固定有防撞橡胶板。
[0011]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果在于，
[0012]1、本技术中，本技术在使用时只需要工作人员先将对接块按压进凹槽内，转动对接块使得顶盖打开，然后将需要沉积的物体放入沉积盒内，将设备的沉积数值调整好后启动设备对物体进行沉积，在沉积完毕后，沉积的蒸汽通过蒸发箱进入连接管，再由连接管进入过滤器，最后从过滤器外表面上的滤孔排入外界中，在排放的过程中由显示灯
的颜色变化来向人们反映出蒸发箱内部蒸汽排放的情况，在蒸发箱的前表面靠近一侧边缘处通过铰链转动连接侧板，方便当蒸发箱内部发生堵塞时，人们打开蒸发箱进行清理。
[0013]2、本技术中，在打开顶盖的过程中，在凹槽内部底面固定两个弹簧，并且在两个弹簧的一端之间固定活动块，使得在对接块将活动块压入底部将顶盖打开后，取出对接块时活动块可以自动复位，防止外界灰尘趁机进入凹槽使凹槽内部出现卡死现象，在反应器本体的前表面靠近两侧边缘处均固定防撞橡胶板可以防止反应器本体前表面的按键被物体磕碰时，发生误触现象。
附图说明
[0014]图1为本技术提出一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备的一侧立体图；
[0015]图2为本技术提出一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备的另一侧立体图；
[0016]图3为本技术图1中A处放大视图。
[0017]图例说明：
[0018]1、底板；2、存储箱；3、蒸发箱；4、反应器本体；5、沉积盒；6、底座；7、顶盖；8、连接管；9、过滤器；10、滤孔；11、立柱；12、显示灯；13、万向轮；14、侧板；15、防撞橡胶板；16、固定块；17、弹簧；18、凹槽；19、活动块；20、对接块。
具体实施方式
[0019]为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0020]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。
[0021]实施例1，如图1
‑
3所示，本技术提供了一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备，包括底板1，底板1的顶部靠近一侧边缘处固定有存储箱2，底板1的顶部靠近另一侧边缘处固定有蒸发箱3，底板1的顶部位于存储箱2的一侧和蒸发箱3的一侧之间固定有反应器本体4，反应器本体4的顶部固定有沉积盒5，沉积盒5的一侧中心处焊接有固定块16，固定块16的一侧中心处开设有凹槽18，凹槽18的内部底面固定有两个弹簧17，两个弹簧17的一端之间固定有活动块19，活动块19位于凹槽18的内部之间，凹槽18的内部滑动连接有对接块20，对接块20的一侧外壁与活动块19的一侧外壁相贴合。
[0022]其整个实施例1达到的效果为，本技术在使用时只需要工作人员先将对接块20按压进凹槽18内，转动对接块20使得顶盖7打开，然后将需要沉积的物体放入沉积盒5内，将设备的沉积数值调整好后启动设备对物体进行沉积，在沉积完毕后，沉积的蒸汽通过蒸发箱3进入连接管8，再由连接管8进入过滤器9，最后从过滤器9外表面上的滤孔10排入外界中，在排放的过程中由显示灯12的颜色变化来向人们反映出蒸发箱3内部蒸汽排放的情况，在蒸发箱3的前表面靠近一侧边缘处通过铰链转动连接侧板14，方便当蒸发箱3内部发生堵塞时，人们打开蒸发箱3进行清理，解决了传统的化学沉积设备无法显示内部蒸汽具体的排
放程度，导致设备内部的蒸汽排放不干净，给人们的工作带来了困难的问题。
[0023]实施例2，如图1
‑
3所示，沉积盒5的内壁之间靠近顶部滑动连接有顶盖7，蒸发箱3的前表面靠近一侧边缘处通过铰链转动连接有侧板14，蒸发箱3的顶部中心处固定有底座6，底座6的顶部中心处固定有连接管8，连接管8贯穿至蒸发箱3的内部，连接管8的顶部固定有过滤器9，过滤器9的外表面沿圆周方向等开设有多个滤孔10，沉积盒5的顶部靠近一个拐角处固定有立柱11，立柱11的顶部固定有显示灯12，底板1的底部靠近四个拐角处均固定有万向轮13，反应器本体4的前表面靠近两侧边缘处均固定有防撞橡胶板15。
[0024]其整个实施例2达到的效果为，在打开顶盖7的过程中，在凹槽18内部底面固定两个弹簧17，并且在两个弹簧17的一端之间固定活动块19，使得在对接块20将活动块19压入底部将顶盖7打开后，取出对接块20时活动块19可以自动复位，防止外界灰尘趁机进入凹槽18使凹槽18内部出现卡死现象，在反应器本体4的前表面靠近两侧边缘处均固定防撞橡胶板15可以防止反应器本体4前表面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部靠近一侧边缘处固定有存储箱(2)，所述底板(1)的顶部靠近另一侧边缘处固定有蒸发箱(3)，所述底板(1)的顶部位于存储箱(2)的一侧和蒸发箱(3)的一侧之间固定有反应器本体(4)，所述反应器本体(4)的顶部固定有沉积盒(5)，所述沉积盒(5)的一侧中心处焊接有固定块(16)，所述固定块(16)的一侧中心处开设有凹槽(18)，所述凹槽(18)的内部底面固定有两个弹簧(17)，两个所述弹簧(17)的一端之间固定有活动块(19)，所述活动块(19)位于凹槽(18)的内部之间，所述凹槽(18)的内部滑动连接有对接块(20)，所述对接块(20)的一侧外壁与活动块(19)的一侧外壁相贴合。2.根据权利要求1所述的一种沉积高温氧化物的低压化学沉积设备，其特征在于：所述沉积盒(5)的内壁之间靠近顶部滑动连接有顶盖(7)，所述蒸发箱(3)的前...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯嘉荔，钟兴进，何淑英，
申请(专利权)人：广州市鸿浩光电半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：