本实用新型专利技术涉及气相沉积设备技术领域，且公开了一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置，包括支撑升降机构和清洗机构，清洗机构活动安装于支撑升降机构表面中心位置，支撑升降机构设置于清洗机构外表面四周。本实用新型专利技术通过清扫刷外表面与卡接槽外表面位置相对应，启动驱动电机，转轴转动，带动传送带运行，传送带内壁与转动杆外表面接触，可有效带动转动杆同步转动，工作人员将导管卡接在卡接槽位置，并通过外界设备对支撑板的高度进行调整，让转动套杆下降至导管内部，开设的散水孔将水箱中的水引入到导管中，在转动套杆转动有效让清扫刷在导管内部转动清扫，可对导管内腔清洗干净，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置
[0001]本技术涉及气相沉积设备
，具体为一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置。
技术介绍
[0002]气相沉积设备是利用气相中发生的物理、化学过程，改变工件表面成分，在表面形成具有特殊性的金属或化合物涂层的新技术，气相沉积设备在使用之后需要使用清洗装置清洗设备的导管。
[0003]目前现有的在对导管清洗方面大都通过工作人员手动进行清洗，容易对导管的清洗效果差，内腔不容易完全清洗，导致工作效率低，需要对此进行改进。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供了一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置，包括支撑升降机构和清洗机构，所述清洗机构活动安装于支撑升降机构表面中心位置，所述支撑升降机构设置于清洗机构外表面四周。
[0007]所述支撑升降机构包括定位槽，所述定位槽设置于支撑升降机构底部表面中心位置，所述定位槽表面中心位置开设有卡接槽。
[0008]所述清洗机构包括支撑板，所述支撑板活动安装于清洗机构顶部表面，所述支撑板顶部表面固定安装有水箱，所述水箱顶部表面两侧开设有进水口，所述支撑板底部表面活动安装有转动杆，所述转动杆底部表面固定连接有转动套杆，所述转动套杆外表面四周开设有散水孔，所述散水孔外表面四周固定连接有清扫刷。
[0009]优选的，所述支撑升降机构顶部四周固定安装有支撑柱，所述支撑柱表面一侧开设有升降槽。
[0010]优选的，所述支撑板顶部表面两侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机底部固定连接有转轴，所述转轴外表面固定连接有传送带。
[0011]优选的，所述传送带内壁四周与转动杆外表面接触，且所述转动套杆通过设置的传送带在转动杆底部表面转动，通过设置的传送带可同步带动多个转动杆转动，使设置的转动套杆对导管进行清洗。
[0012]优选的，所述支撑柱外表面四周固定连接有升降块，所述升降块在升降槽表面升降运动，工作人员可通过外界设备对支撑板的高度进行调整，有效将转动套杆下降至导管中，操作方便简单。
[0013]优选的，所述转动杆顶部与水箱内部相连通，且所述转动套杆贯穿转动杆内部通过散水孔与水箱相连通，设置的转动杆可将水箱中的水引入至转动套杆内，在对导管需要
清洗时，将水从散水孔引入至导管中，对导管进行清洗，方便高效。
[0014]优选的，所述清扫刷均匀分布在转动套杆外表面四周，且所述清扫刷外表面与卡接槽外表面位置相对应，启动驱动电机，转轴转动，带动传送带运行，传送带内壁与转动杆外表面接触，可有效带动转动杆同步转动，工作人员将导管卡接在卡接槽位置，并通过外界设备对支撑板的高度进行调整，让转动套杆下降至导管内部，开设的散水孔将水箱中的水引入到导管中，在转动套杆转动有效让清扫刷在导管内部转动清扫，可对导管内腔清洗干净，提高工作效率。
[0015]本技术提供了一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置，具备以下有益效果：
[0016](1)、本技术通过转动杆顶部与水箱内部相连通，且转动套杆贯穿转动杆内部通过散水孔与水箱相连通，设置的转动杆可将水箱中的水引入至转动套杆内，在对导管需要清洗时，将水从散水孔引入至导管中，对导管进行清洗，方便高效，传送带内壁四周与转动杆外表面接触，且转动套杆通过设置的传送带在转动杆底部表面转动，通过设置的传送带可同步带动多个转动杆转动，使设置的转动套杆对导管进行清洗。
[0017](2)、本技术通过支撑柱外表面四周固定连接有升降块，升降块在升降槽表面升降运动，工作人员可通过外界设备对支撑板的高度进行调整，有效将转动套杆下降至导管中，操作方便简单。
[0018](3)、本技术通过清扫刷均匀分布在转动套杆外表面四周，且清扫刷外表面与卡接槽外表面位置相对应，启动驱动电机，转轴转动，带动传送带运行，传送带内壁与转动杆外表面接触，可有效带动转动杆同步转动，工作人员将导管卡接在卡接槽位置，并通过外界设备对支撑板的高度进行调整，让转动套杆下降至导管内部，开设的散水孔将水箱中的水引入到导管中，在转动套杆转动有效让清扫刷在导管内部转动清扫，可对导管内腔清洗干净，提高工作效率。
附图说明
[0019]图1为本技术正面的整体结构表面立体示意图；
[0020]图2为本技术俯视的整体结构表面立体示意图；
[0021]图3为本技术侧面的整体结构表面示意图；
[0022]图4为本技术仰视的清洗机构结构表面立体示意图。
[0023]图中：1、支撑升降机构；101、定位槽；102、卡接槽；103、支撑柱；104、升降槽；2、清洗机构；201、水箱；202、进水口；203、支撑板；204、转动杆；205、转动套杆；206、传送带；207、驱动电机；208、转轴；209、散水孔；210、清扫刷。
具体实施方式
[0024]如图1
‑
4所示，本技术提供以下技术方案：
[0025]实施例一：
[0026]一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置，包括支撑升降机构1和清洗机构2，清洗机构2活动安装于支撑升降机构1表面中心位置，支撑升降机构1设置于清洗机构2外表面四周。
[0027]清洗机构2包括支撑板203，支撑板203活动安装于清洗机构2顶部表面，支撑板203顶部表面固定安装有水箱201，水箱201顶部表面两侧开设有进水口202，支撑板203底部表面活动安装有转动杆204，转动杆204底部表面固定连接有转动套杆205，转动套杆205外表面四周开设有散水孔209，散水孔209外表面四周固定连接有清扫刷210，支撑板203顶部表面两侧固定安装有驱动电机207，驱动电机207底部固定连接有转轴208，转轴208外表面固定连接有传送带206。
[0028]通过清扫刷210均匀分布在转动套杆205外表面四周，且清扫刷210外表面与卡接槽102外表面位置相对应，启动驱动电机207，转轴208转动，带动传送带206运行，传送带206内壁与转动杆204外表面接触，可有效带动转动杆204同步转动，工作人员将导管卡接在卡接槽102位置，并通过外界设备对支撑板203的高度进行调整，让转动套杆205下降至导管内部，开设的散水孔209将水箱201中的水引入到导管中，在转动套杆205转动有效让清扫刷在导管内部转动清扫，可对导管内腔清洗干净，提高工作效率，转动杆204顶部与水箱201内部相连通，且转动套杆205贯穿转动杆204内部通过散水孔209与水箱201相连通，设置的转动杆204可将水箱201中的水引入至转动套杆205内，在对导管需要清洗时，将水从散水孔209引入至导管中，对导管进行清洗，方便高效，传送带206内壁四周与转动杆204外表面接触，且转动套杆205通过设置的传送带206在转动杆204底部表面转本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置，包括支撑升降机构(1)和清洗机构(2)，其特征在于：所述清洗机构(2)活动安装于支撑升降机构(1)表面中心位置，所述支撑升降机构(1)设置于清洗机构(2)外表面四周；所述支撑升降机构(1)包括定位槽(101)，所述定位槽(101)设置于支撑升降机构(1)底部表面中心位置，所述定位槽(101)表面中心位置开设有卡接槽(102)；所述清洗机构(2)包括支撑板(203)，所述支撑板(203)活动安装于清洗机构(2)顶部表面，所述支撑板(203)顶部表面固定安装有水箱(201)，所述水箱(201)顶部表面两侧开设有进水口(202)，所述支撑板(203)底部表面活动安装有转动杆(204)，所述转动杆(204)底部表面固定连接有转动套杆(205)，所述转动套杆(205)外表面四周开设有散水孔(209)，所述散水孔(209)外表面四周固定连接有清扫刷(210)。2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积的导管高效清洗装置，其特征在于：所述支撑升降机构(1)顶部四周固定安装有支撑柱(103)，所述支撑柱(103)表面一侧开设有升降槽(104)。3.根据权利要求1所述的一种用于化...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟兴进，何淑英，何浩梁，林玉章，
申请(专利权)人：广州市鸿浩光电半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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