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本发明公开一种卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件及镀膜设备，涉及镀膜设备技术领域。卧式热丝化学气相沉积设备用的电极组件，包括：腔体盖板，用于盖装在腔体上，所述腔体盖板设有端子安装通孔；端子，所述端子设有热丝连接端，所述热丝连接端穿过所述端...
该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司授权不得商用。

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