本公开提供了一种机台预防保养检测方法、装置、设备及介质，涉及半导体技术领域。该方法具体包括：获取机台运行数据，根据机台运行数据确定机台当前已重置，获取机台的当前机台预防保养物料领用信息，根据当前机台预防保养物料领用信息确定机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养。通过本公开实施例提供的方案，可以准确的判断出机台在执行重置操作之后，是否执行了PM操作，以提高产品的合格率。以提高产品的合格率。以提高产品的合格率。
【技术实现步骤摘要】
机台预防保养检测方法、装置、设备及介质
[0001]本公开涉及半导体
，尤其涉及一种机台预防保养检测方法、装置、计算机设备及计算机可读存储介质。
技术介绍
[0002]在集合电路和半导体
，所谓PM是预防保养(Preventive Maintenance)的英文首字母的略语。
[0003]在相关技术中，机台需要执行PM时会有告警信息通知相关人员，待相关人员进行PM时，手动操作机台进行数据重置，在数据重置后，机台便不会继续发送需要PM的告警信息给相关人员。
[0004]但是因为数据重置的操作和执行PM的操作是独立的。例如，作业顺序可以先执行PM，再重置数据；也可以先重置数据，再执行PM。即会出现当人员误操作重置数据后，而机台未执行实际PM动作，从而导致原物料、零件(parts)等未及时更换，在此状况下继续生产(run货，即跑货)产品，会影响产品的合格率。
[0005]需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
[0006]本公开提供一种机台预防保养检测方法、装置、设备及介质，至少在一定程度上克服相关技术中漏做PM而导致的产品合格率低的问题。
[0007]本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。
[0008]根据本公开的一个方面，提供一种机台预防保养检测方法，所述方法包括：
[0009]获取机台运行数据；
[0010]根据所述机台运行数据确定机台当前已重置；
[0011]获取所述机台的当前机台预防保养物料领用信息；
[0012]根据所述当前机台预防保养物料领用信息确定所述机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养。
[0013]在本公开的一个实施例中，根据所述当前机台预防保养物料领用信息确定所述机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养，包括：
[0014]确定所述机台的当前机台预防保养必领用物料数据；
[0015]根据所述当前机台预防保养物料领用信息判断是否已领用所述当前机台预防保养必领用物料数据对应的当前机台预防保养必领用物料；
[0016]若未领用所述当前机台预防保养必领用物料，则判定所述机台在当前重置时未执行所述当前机台预防保养；
[0017]若已领用所述当前机台预防保养必领用物料，则判定所述机台在当前重置时已执
行所述当前机台预防保养。
[0018]在本公开的一个实施例中，确定所述机台的当前机台预防保养必领用物料数据，包括：
[0019]确定所述当前机台预防保养的当前类型；
[0020]根据所述机台以及所述当前类型确定所述当前机台预防保养必领用物料数据。
[0021]在本公开的一个实施例中，所述机台运行数据包括当前批次机台运行数据；
[0022]其中，确定所述当前机台预防保养的当前类型，包括：
[0023]根据所述当前批次机台运行数据确定所述当前类型。
[0024]在本公开的一个实施例中，根据所述机台以及所述当前类型确定所述当前机台预防保养必领用物料数据，包括：
[0025]获得所述机台在每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据；
[0026]根据所述机台的所述当前类型和所述机台在每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据，确定所述当前机台预防保养必领用物料数据。
[0027]在本公开的一个实施例中，获得所述机台在每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据，包括：
[0028]获取所述机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据；
[0029]根据所述机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据，确定所述机台的所述机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据。
[0030]在本公开的一个实施例中，根据所述机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据，确定所述机台的所述机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据，包括：
[0031]根据所述机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据，确定在所述机台预防保养类型的历史机台预防保养中均存在的预防保养领用物料；
[0032]将所述机台预防保养类型的历史机台预防保养中均存在的预防保养领用物料作为所述机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据。
[0033]在本公开的一个实施例中，确定所述机台的当前机台预防保养必领用物料数据，包括：
[0034]获取所述机台的当前机台预防保养执行时间；
[0035]判断所述机台的当前机台预防保养执行时间是否符合当前机台预防保养执行规格；
[0036]若符合所述当前机台预防保养执行规格，则获得所述机台的当前机台预防保养必领用物料数据。
[0037]根据本公开的另一个方面，提供一种机台预防保养检测装置，所述装置包括：
[0038]获取单元，用于获取机台运行数据；
[0039]确定单元，用于根据所述机台运行数据确定机台当前已重置；
[0040]所述获取单元，还用于获取所述机台的当前机台预防保养物料领用信息；
[0041]所述确定单元，还用于根据所述当前机台预防保养物料领用信息确定所述机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养。
[0042]在本公开的一个实施例中，所述确定单元，还用于：
[0043]确定所述机台的当前机台预防保养必领用物料数据；
[0044]根据所述当前机台预防保养物料领用信息判断是否已领用所述当前机台预防保养必领用物料数据对应的当前机台预防保养必领用物料；
[0045]若未领用所述当前机台预防保养必领用物料，则判定所述机台在当前重置时未执行所述当前机台预防保养；
[0046]若已领用所述当前机台预防保养必领用物料，则判定所述机台在当前重置时已执行所述当前机台预防保养。
[0047]在本公开的一个实施例中，机台预防保养检测装置还包括：
[0048]锁定单元，用于若判定所述机台在当前重置时未执行所述当前机台预防保养，则触发第一锁定信号以锁定所述机台。
[0049]在本公开的一个实施例中，所述确定单元，还用于：
[0050]确定所述当前机台预防保养的当前类型；
[0051]根据所述机台以及所述当前类型确定所述当前机台预防保养必领用物料数据。
[0052]在本公开的一个实施例中，所述确定单元，还用于：
[0053]根据所述当前批次机台运行数据确定所述当前类型。
[0054]在本公开的一个实施例中，所述确定单元，还用于：
[0055]获得所述机台在每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据；
[0056]根据所述机台的所述当前类型和所述机台在每种机台预防保养类型对应的机台预本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种机台预防保养检测方法，其特征在于，包括：获取机台运行数据；根据所述机台运行数据确定机台当前已重置；获取所述机台的当前机台预防保养物料领用信息；根据所述当前机台预防保养物料领用信息确定所述机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述当前机台预防保养物料领用信息确定所述机台在当前重置时是否已执行当前机台预防保养，包括：确定所述机台的当前机台预防保养必领用物料数据；根据所述当前机台预防保养物料领用信息判断是否已领用所述当前机台预防保养必领用物料数据对应的当前机台预防保养必领用物料；若未领用所述当前机台预防保养必领用物料，则判定所述机台在当前重置时未执行所述当前机台预防保养；若已领用所述当前机台预防保养必领用物料，则判定所述机台在当前重置时已执行所述当前机台预防保养。3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，还包括：若判定所述机台在当前重置时未执行所述当前机台预防保养，则触发第一锁定信号以锁定所述机台。4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，确定所述机台的当前机台预防保养必领用物料数据，包括：确定所述当前机台预防保养的当前类型；根据所述机台以及所述当前类型确定所述当前机台预防保养必领用物料数据。5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述机台运行数据包括当前批次机台运行数据；其中，确定所述当前机台预防保养的当前类型，包括：根据所述当前批次机台运行数据确定所述当前类型。6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述当前批次机台运行数据包括所述机台在当前批次生产的产品数量数据、耗材消耗数据、运行时间数据中的至少一种。7.如权利要求4所述的方法，其特征在于，根据所述机台以及所述当前类型确定所述当前机台预防保养必领用物料数据，包括：获得所述机台在每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据；根据所述机台的所述当前类型和所述机台在每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据，确定所述当前机台预防保养必领用物料数据。8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，获得所述机台在每种机台预防保养类型对应的机台预防保养必领用物料数据，包括：获取所述机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据；根据所述机台对应机台预防保养类型的历史机台预防保养领用物料数据，确定所述机台的所述机台预防保养类型对应的机台预防保养必...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯力华，徐新虎，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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