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本公开提供了一种机台预防保养检测方法、装置、设备及介质，涉及半导体技术领域。该方法具体包括：获取机台运行数据，根据机台运行数据确定机台当前已重置，获取机台的当前机台预防保养物料领用信息，根据当前机台预防保养物料领用信息确定机台在当前重置时是...
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