压电谐振器，及其制造方法，滤波器，双工器和通讯器件技术

本发明专利技术涉及一种压电谐振器，该压电谐振器包括：一个基片（１０５）；一个设置在基片上的下电极（１０３）；一个设置在下电极上的压电部件（１０１）；一个设置在压电部件上的上电极（１０２）；以及一个设置在由下电极、压电部件和上电极所构成的振动部件下的空腔（１０４）。当振动部分的厚度为波长一半时的振动谐振频率定义为ｆｒ１，形成空腔材料中的超声波平均速度定义为Ｖｃ２，根据谐振频率ｆｒ１和超声波平均速度Ｖｃ２所确定的数值定义为λｃ（＝Ｖｃ２／ｆｒ１）时，则空腔的深度ｔ２可设置为式Ⅰ所示，式中ｎ是一个任意自然数。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

技术介绍
专利
本专利技术涉及在诸如移动电话之类电子设备中使用的电子元件，尤其涉及压电谐振器，及其制造方法，以及包括压电谐振器的滤波器、双工器和通讯器件。
技术介绍
在诸如移动设备之类电子装置中所包括的元件需要更小和更轻。例如，在移动设备中使用的滤波器就需要变得更加紧凑并能够精确地调整频率响应。一种众所周知的能够满足上述需求的滤波器，包括一种压电谐振器(见，例如，日本特许专利公告No.60-69711中的图3和4，pp2-4)。图18A是常规压电谐振器的基本结构的剖视图。在图18A中，常规压电谐振器包括一个设置在基片705上的振动部件710。空腔704可以使用机械方法通过局部腐蚀基片705的下表面形成。振动部件710包括压电部件701，这是振动部件的基础元件，以及上下电极702和703，分别设置在压电部件701的两个表面上。在基片705中提供空心的空腔704的理由是允许振动部件710能够振动。通过将上电极702和下电极703设置在压电部件701的两个表面上，可以厚度方向将电场施加于振动部件710。这就会引起振动部件710在厚度方向上振动。下文就有关垂直于无限平面的厚度方向的振动方面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电谐振器（１），它包括：一个基片（１０５）；一个下电极（１０３），设置在所述基片上；一个压电部件（１０１），设置在所述下电极上；一个上电极（１０２），设置在所述压电部件上；以及，一个空腔（１０４ ），设置在由所述下电极、压电部件和上电极所构成的振动部件下；其特征在于，当振动部分的厚度为波长一半时的振动谐振频率定义为ｆｒ１，形成空腔材料中的超声波平均速度定义为Ｖｃ２，根据谐振频率ｆｒ１和超声波平均速度Ｖｃ２所确定的数值定义为λ ｃ（＝Ｖｃ２／ｆｒ１）时，则空腔的深度ｔ２可设置为如下所示：（２ｎ－１）...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山口博司，中冢宏，大西庆治，山川岳彦，中村弘幸，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]