双工器制造技术

提供能改善隔离特性的双工器。双工器(1)的发送滤波器及接收滤波器之中的至少一方具备：压电基板(2)；被设置在压电基板(2)上、且具有与接地电位连接的多个接地端(12A～12D)的弹性波滤波器电极部(3)；被形成于压电基板(2)上的支承层；被设置在支承层上以便将支承层的开口部密封的盖体构件；和形成为贯通支承层及盖体构件且具有第1端部、第2端部的多个过孔电极。多个接地端(12A～12D)在压电基板(2)被公共连接，且多个接地端(12A～12D)分别电连接于多个过孔电极的第1端部。多个过孔电极的第2端部在外部连接于接地电位。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及具有WLP(WaferLevelPackage)构造的双工器。
技术介绍
以往，具有WLP构造的弹性波滤波器装置被广泛应用为移动电话机的频带滤波器等。下述的专利文献1中公开了WLP构造的弹性波滤波器装置的一例。专利文献1的弹性波滤波器装置中，在压电基板上形成支承层，以使得包围构成于压电基板的弹性波滤波器电极部。在支承层上设置有盖体构件，以便将支承层的开口部密封。多个过孔电极被设置为贯通支承层及盖体构件。弹性波滤波器电极部具有与接地电位连接的多个接地端，多个接地端与多个过孔电极电连接。在先技术文献专利文献专利文献1：JP特开2011-172190号公报
技术实现思路
-专利技术所要解决的技术问题-然而，专利文献1所述的弹性波滤波器装置中，因多个过孔电极而在该接地端与接地电位之间具有大的电感。由此，不能充分地增大隔离特性。再有，在以往的不平衡输入-不平衡输出的弹性波滤波器装置中，尤其不能充分地提高隔离特性。本专利技术的目的在于，提供一种能改善隔离特性的双工器。-用于解决技术问题的手段-本专利技术涉及的双工器是具备发送滤波器与接收滤波器的双工器，其中所述发送滤波器及所述接收滤波器之中的至少一方具备：压电基板；弹性波滤波器电极部，为了构成弹性波滤波器而被设置在上述压电基板上，且具有被连接于接地电位的多个接地端；支承层，具有将上述弹性波滤波器电极部包围的开口部且被形成于上述压电基板上；盖体构件，被设置在上述支承层上，以便将上述支承层的上述开口部密封；和多个过孔电极，被形成为贯通上述支承层及上述盖体构件且具有第1端部、第2端部。上述多个接地端在上述压电基板被公共连接，且上述多个接地端分别电连接于上述多个过孔电极的上述第1端部。是上述多个过孔电极的上述第2端部在外部连接于接地电位的弹性波滤波器。本专利技术涉及的双工器的某一特定的方面中，上述接收滤波器是上述弹性波滤波器。本专利技术涉及的双工器的其他特定的方面中，分别在上述多个过孔电极的第2端部接合凸块。本专利技术涉及的双工器的另一特定的方面中，上述弹性波滤波器电极部具有纵耦合谐振器型弹性波滤波器。本专利技术涉及的双工器的又一特定的方面中，上述纵耦合谐振器型弹性波滤波器是具有不平衡输入端子与不平衡输出端子的纵耦合谐振器型弹性波滤波器。本专利技术涉及的双工器的再一特定的方面中，上述纵耦合谐振器型弹性波滤波器是1级构成的纵耦合谐振器型弹性波滤波器。本专利技术涉及的双工器的再一特定的方面中，还具备：输入端子及输出端子，被形成于上述压电基板上；第1并联臂谐振器，一端被连接于上述输入端子与上述弹性波滤波器电极部之间的连接点，另一端与上述过孔电极连接；和第2并联臂谐振器，一端被连接于上述弹性波滤波器电极部的上述输出端子侧的端部，另一端与上述过孔电极连接。-专利技术效果-根据本专利技术，能够提供能改善隔离特性的双工器。附图说明图1是表示本专利技术的第1实施方式涉及的双工器所采用的压电基板和压电基板上的电极构造的示意性俯视图。图2是相当于沿着图1的I-I线的剖面的部分的双工器的示意性剖视图。图3是本专利技术的第1实施方式涉及的双工器被安装到电路基板的状态下的电路图。图4是本专利技术的双工器的比较例被安装到电路基板的状态下的电路图。图5是表示本专利技术的第1实施方式涉及的双工器及比较例的衰减量的频率特性的图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的具体实施方式进行说明，由此使本专利技术清楚明了。图1是表示本专利技术的第1实施方式涉及的双工器所采用的压电基板和压电基板上的电极构造的示意性俯视图。图2是相当于沿着图1的I-I线的剖面的部分的双工器的示意性剖视图。双工器1具有压电基板2。压电基板2由LiNbO3或LiTaO3等压电单晶体构成。其中，压电基板2也可以由压电陶瓷构成。如图2所示，在压电基板2上，为了构成弹性波滤波器而设置有弹性波滤波器电极部3。弹性波滤波器电极部3具有包含后述的串联臂谐振器S1及并联臂谐振器P1的多个弹性波谐振器。各弹性波谐振器具有IDT电极及反射器。在声表面波的传播方向中的IDT电极的两侧形成有反射器。上述IDT电极及反射器由适宜的金属或合金构成。压电基板2上形成有支承层4，以使得具有将弹性波滤波器电极部3包围的开口部4A。支承层4由适宜的树脂构成。支承层4例如能够通过光刻法来形成。在支承层4上设置有盖体构件5，以便将支承层4的开口部4A密封。盖体构件5由适宜的树脂构成。第1、第4过孔电极6A、6D被形成为贯通支承层4及盖体构件5。第1、第4过孔电极6A、6D由适宜的金属或合金构成。在第1、第4过孔电极6A、6D的形成之际，首先通过激光照射在支承层4及盖体构件5形成过孔。接着，通过电解镀覆法等将导体填充于上述过孔。第1过孔电极6A具有第1端部、第2端部6A1、6A2。第4过孔电极6D具有第1端部、第2端部6D1、6D2。第1端部6A1、6D1是位于压电基板2侧的端部。第2端部6A2、6D2是位于盖体构件5侧的端部。在第1过孔电极、第4过孔电极6A、6D的第2端部6A2、6D2分别接合有第1凸块、第4凸块7A、7D。第1凸块、第4凸块7A、7D由适宜的钎焊用金属构成。另外，虽然并未示出于图2，但本实施方式的双工器1中，除了第1过孔电极、第4过孔电极6A、6D以外还形成有包含第2、第3过孔电极的多个过孔电极。上述多个过孔电极也与第1过孔电极、第4过孔电极6A、6D同样地具有第1端部、第2端部。在包含第2过孔电极、第3过孔电极的多个过孔电极的第2端部分别接合着包含第2凸块、第3凸块的多个凸块。返回至图1，双工器1是具有第1带通型滤波器1A、和通带与第1带通型滤波器1A不同的第2带通型滤波器1B的双工器。图2中示意性地示出的弹性波滤波器电极部3，构成图1所示的第1带通型滤波器、第2带通型滤波器1A、1B。在此，第1带通型滤波器1A为接收滤波器、第2带通型滤波器1B为发送滤波器。图3是本专利技术的第1实施方式的双工器被安装到电路基板的状态下的电路图。双工器1的第1带通型滤波器1A具有输入端子8、输出端子10及作为多个接地端的接地端子12A～12D。输入端子8与输出端子10之间串联连接着串联臂谐振器S1、S2及纵耦合谐振器型弹性波滤波器9。在串联臂谐振器S1与串联臂谐振器S2之间的连接点、和接地端子12A之间，连接着第1并联臂谐振器P1。在纵耦合谐振器型弹性波滤波器9与输出端子10之间的连接点、和接地端子12D之间，连接着第2并联臂谐振器P2。纵耦合谐振器型弹性波滤波器9具有第1～第5IDT电极9a～9e。第1～第5IDT电极9a～9e分别具有一对汇流条。该一对汇流条分别公共连接着多根电极指的一端。一方的汇流条所连接着的多根电极指与另一方的汇流条所连接着的多根电极指相互插合。第1～第5IDT电极9a～9e各自的一方的汇流条被连接于高压侧，另一方的汇流条被连接于接地侧。更具体的是，第1IDT电极、第3IDT电极、第5IDT电极9a、9c、9e的一方的汇流条被公共连接于串联臂谐振器S2，另一方的汇流条被连接于接地端子。因而，第1IDT电极、第3IDT电极、第5IDT电极9a、9c、9e经由串联臂谐振器S2及串联臂谐振器S1而与输入端子8公共连接。第2IDT电极、第4IDT电极9b、9d的一方的汇流条被公共连接于输出端子10，另一方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双工器，具备发送滤波器与接收滤波器，其中，所述发送滤波器及所述接收滤波器之中的至少一方具备：压电基板；弹性波滤波器电极部，为了构成弹性波滤波器而被设置在所述压电基板上，且具有与接地电位连接的多个接地端；支承层，具有包围所述弹性波滤波器电极部的开口部且被形成于所述压电基板上；盖体构件，被设置于所述支承层上，以便将所述支承层的所述开口部密封；和多个过孔电极，被形成为贯通所述支承层及所述盖体构件且具有第1端部、第2端部，所述发送滤波器及所述接收滤波器之中的至少一方是如下的弹性波滤波器：所述多个接地端在所述压电基板被公共连接，且所述多个接地端分别电连接于所述多个过孔电极的所述第1端部，所述多个过孔电极的所述第2端部在外部连接于接地电位。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.07.22 JP 2014-1490451.一种双工器，具备发送滤波器与接收滤波器，其中，所述发送滤波器及所述接收滤波器之中的至少一方具备：压电基板；弹性波滤波器电极部，为了构成弹性波滤波器而被设置在所述压电基板上，且具有与接地电位连接的多个接地端；支承层，具有包围所述弹性波滤波器电极部的开口部且被形成于所述压电基板上；盖体构件，被设置于所述支承层上，以便将所述支承层的所述开口部密封；和多个过孔电极，被形成为贯通所述支承层及所述盖体构件且具有第1端部、第2端部，所述发送滤波器及所述接收滤波器之中的至少一方是如下的弹性波滤波器：所述多个接地端在所述压电基板被公共连接，且所述多个接地端分别电连接于所述多个过孔电极的所述第1端部，所述多个过孔电极的所述第2端部在外部连接于接地电位。2.根据权利要求1所述的双工器，其中，所述接...

【专利技术属性】
技术研发人员：高峰裕一，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP