压电谐振器及制造法、用其之滤波器、双工器、通讯器件制造技术

一种压电谐振器包括：一个基片；一个形成在基片上的下电极；一个形成在下电极上的压电体；一个形成在压电体上的上电极；以及在由下电极、压电体和上电极所形成的振动部分下的空腔；其中，当振动部分的厚度为波长一半时的振动谐振频率定义为ｆｒ，形成空腔材料中的声的平均速度定义为Ｖｃ，根据谐振频率ｆｒ和声平均速度Ｖｃ所确定的数值定义为λｃ（＝Ｖｃ／ｆｒ）时，则空腔的深度可设置为等于和大于ｎ×λｃ／２－λｃ／８和等于和小于ｎ×λｃ／２＋λｃ／８。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种压电谐振器、制造压电谐振器的方法、以及使用压电谐振器的滤波器、双工器和通讯器件。尤其是，本专利技术涉及一种能够去除寄生分量的改良压电谐振器，制造该压电谐振器的方法，以及使用该压电谐振器的滤波器、双工器和通讯器件。
技术介绍
合并在诸如手机之类电子设备中的元件常常要求体积小重量轻。例如，在手机中所使用的滤波器就需要具有体积小以及能够精确地调整频率的特性。一种可以满足这些要求的已知滤波器是使用压电谐振器的滤波器(例如，参考日本专利公开号No.60-68711，PP2-4，附图3和4)。附图说明图14A是常规压电谐振器基本结构的剖面图。在图14A中，压电谐振器710设置在基片705上。在基片705上，采用精密处理技术通过基片705下面的局部腐蚀形成空腔704。压电谐振器710包括压电体701，它是谐振器的主要部件；以及分别设置在压电体701上下的上电极702和下电极703。凹的空腔704设置在基片705中，以确保压电谐振器710的振动。压电谐振器710可以通过分别设置在压电体701上下的上电极702和下电极703在厚度方向上施加一个电场。这样，压电谐振器710就会在厚本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电谐振器（１），它包括：一个基片（１０５）一个下电极（１０３），形成在所述基片上；一个压电体（１０１），形成在所述下电极上；一个上电极（１０２），形成在所示压电体上；以及，一个空腔（１０４），它 在由所述下电极、压电体和上电极所形成的振动部分（１１０）的下面；其特征在于，具有振动部分厚度的振动谐振频率是波长的一半，它可标记为ｆｒ，在形成空腔材料中的声平均速度可标记为Ｖｃ，和，基于谐振频率ｆｒ和声平均速 度Ｖｃ所确定的数值可标记为λｃ（＝Ｖｃ／ｆｒ），...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：中冢宏，大西庆治，中村弘幸，山川岳彦，山口博司，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]