下载压电谐振器及制造法、用其之滤波器、双工器、通讯器件的技术资料

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一种压电谐振器包括:一个基片;一个形成在基片上的下电极;一个形成在下电极上的压电体;一个形成在压电体上的上电极;以及在由下电极、压电体和上电极所形成的振动部分下的空腔;其中,当振动部分的厚度为波长一半时的振动谐振频率定义为fr,形成空腔材料...
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