压电致动器的制造方法技术

本发明专利技术提供压电致动器的制造方法，能够减少因引出电极间的短路而引起压电致动器的驱动不良。压电元件形成工序(S5)之后，在蚀刻工序(S6)，以蚀刻残留上电极膜(83)被除去、振动板(53)不被除去的条件，把在后面的引出电极形成工序(S7)中形成的引出电极(90)间的振动板(53)的至少一部分蚀刻。即使在压电元件形成工序(S5)时，在引出电极(90)间产生蚀刻残留上电极膜(83)，蚀刻残留上电极膜(83)也会被蚀刻分断，可以保持形成在蚀刻残留上电极膜(83)的引出电极(90)间的绝缘。因此，可以得到减少了因引出电极(90)间的短路引起的压电致动器(100)的驱动不良的压电致动器(100)的制造方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具备压电元件和引出电极的，上述压电元件具有单独电极和由压电材料构成的压电体，上述引出电极分别与单独电极连接。
技术介绍
作为压电致动器，众所周知有这样的压电致动器具备压电元件和引出电极，上述压电元件具有下电极、压电体和上电极，上述引出电极分别与压电元件的电极连接。作为压电元件有这样的构成用上电极和下电极这两个电极，把由具有电/机械变换功能的压电材料、例如结晶化的压电性陶瓷等构成的压电体夹持。作为，已知下述制造方法用反应性离子蚀刻、离子铣削等干蚀刻，对层叠着的下电极膜、压电体层和上电极膜进行图形形成，形成具有下电极、压电体和上电极的压电元件，然后在作为单独电极的上电极，分别形成引出电极(例如见专利文献1)。专利文献1 日本国特开2009-255526号公报(第9页，图6)若在干蚀刻前或干蚀刻中，颗粒附着在上电极膜，则附着了颗粒的部分的下电极膜、压电体层及上电极膜，不被蚀刻而残留下。残留在压电元件的形成部分以外的下电极膜、压电体层和上电极膜之中，跨及之后形成的引出电极间的蚀刻残留，在形成了引出电极时，通过上电极膜使引出电极间产生短路。因此，不能保持引出电极间的绝缘性，由于短路导致压电致动器的驱动不良。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题而作出的，可用以下的方式或应用例实现。应用例1一种，上述压电致动器具备压电元件，其具备下电极或上电极中的任一方作为单独电极；和引出电极，其分别从上述单独电极引出，上述制造方法的特征在于，包括在基板上形成下电极膜的下电极膜形成工序；在上述下电极膜上形成压电体层的压电体层形成工序；在上述压电体层上形成上电极膜的上电极膜形成工序；压电元件形成工序，有选择地蚀刻上述压电体层、和上述下电极膜或上述上电极膜，形成具备压电体并具备上述下电极或上述上电极中的任一方作为上述单独电极的上述压电元件；蚀刻工序，在上述压电元件形成工序后，以上述上电极膜被除去而上述基板不被除去的条件，对上述引出电极之间的上述基板的至少一部分进行蚀刻；和引出电极形成工序，在上述蚀刻工序后，形成分别从上述单独电极引出的上述引出电极根据该应用例，在蚀刻工序，以上电极膜被除去而基板不被除去的条件，对在引出电极形成工序中形成的引出电极之间的基板的至少一部分进行蚀刻。即使压电元件形成工序时，在引出电极间产生了含有上电极膜的蚀刻残留，上电极膜也会被蚀刻分断，可保持形成在上电极膜的引出电极间的绝缘。因此，可得到能减少因引出电极间的短路而导致压电3致动器的驱动不良的。应用例2上述中，其特征在于，在上述蚀刻工序，沿着上述引出电极对上述引出电极之间进行蚀刻，在上述基板形成缝隙。该应用例中，由于沿着引出电极在引出电极间形成缝隙，所以，无论含有上电极膜的蚀刻残留在引出电极间的哪个部位产生，上电极膜也都会被分断，可保持引出电极间的绝缘。因此，可得到能进一步减少因引出电极间的短路而导致压电致动器的驱动不良的。应用例3上述中，其特征在于，上述压电元件形成工序，在上述基板形成作为共用电极的上述下电极，有选择地蚀刻上述压电体层和上述上电极膜，形成具备上述压电体和作为上述单独电极的上述上电极的上述压电元件。该应用例中，能够在把形成在振动板的下电极作为共用电极，把形成在压电体的上电极作为单独电极的压电致动器中，得到具有前述效果的。附图说明图1是表示喷墨式记录装置之一例的概略图。图2是表示喷墨式记录头的分解局部立体图。图3(a)是喷墨式记录头的局部俯视图，(b)是(a)中的A_A剖面图。图4是表示喷墨式记录头的制造方法的流程图。图5(a) (d)是表示喷墨式记录头的制造方法的压力发生室的长度方向剖面图。图6(e) (h)是表示喷墨式记录头的制造方法的压力发生室的长度方向剖面图。图7(i) (k-Ι)是表示喷墨式记录头的制造方法的压力发生室的长度方向剖面图。图8(k_2) (m)是表示喷墨式记录头的制造方法的压力发生室的长度方向剖面图。图9(n)和(ο)是表示喷墨式记录头的制造方法的压力发生室的长度方向剖面图。图10(p) (r)是表示喷墨式记录头的制造方法的压力发生室的长度方向剖面图。图11是附着了颗粒时的、图6(h)状态下的局部俯视图。图12是附着了颗粒时的、图6(h)状态下的局部剖面图，(a)是图11中的B-B部分剖面图，(b)是图11中的C-C部分剖面图。图13是附着了颗粒时的、图7 (i)状态下的局部剖面图，(a)是图11中的B-B部分剖面图，(b)是图11中的C-C部分剖面图。图14是附着了颗粒附时的、图7(k_l)和图8(k_2)状态下的局部剖面图，(a)是图11中的B-B部分剖面图，(b)是图11中的C-C部分剖面图。图15是附着了颗粒时的、图8(1)状态下的局部剖面图，(a)是图11中的B-B部分剖面图，(b)是图11中的C-C部分剖面图。图16是附着了颗粒时的、图8(m)状态下的局部剖面图，(a)是图11中的B-B部4分剖面图，(b)是图11中的C-C部分剖面图。附图标记的说明12...压力发生室，13...墨液供给路，14...连通部，31...储存部，32...压电元件保持部，35...粘接剂，50...弹性膜，51...绝缘体膜，53...振动板，54...掩模膜， 60...下电极，61...下电极膜，62...下电极膜，70...压电体，71...压电体层，72...压电体层，73...压电体层，80...上电极，81...上电极膜，82...上电极膜，83...上电极膜，90...引出电极，91、92...缝隙，100...压电致动器，110...流路形成基板用晶片， 130...接合基板用晶片，300...压电元件，310...台阶调节部，311...缝隙，320...台阶调节部，510...抗蚀剂膜，520...抗蚀剂膜，530...抗蚀剂膜，600...下电极膜，700...压电体层，800...上电极膜，900...金属层具体实施例方式下面，参照附图详细说明实施方式。图1是表示作为液体喷射装置的喷墨式记录装置1000之一例的概略图，该装置具备作为液体喷射头的喷墨式记录头1，该记录头1具备压电致动器。如图1所示，喷墨式记录装置1000，具备记录头单元IA和1B。在记录头单元IA和1B，可装卸地设有构成墨液供给机构的盒体2A和2B。搭载着该记录头单元IA和IB的滑架(carriage) 3，在轴方向移动自如地设在安装于装置本体4的滑架轴5。记录头单元IA和1B，例如分别喷射黑墨液组合物和彩色墨液组合物。驱动马达6 的驱动力，通过图未示的多个齿轮和同步带7，传递到滑架3，从而搭载着记录头单元IA和 IB的滑架3，沿着滑架轴5移动。在装置本体4，沿着滑架轴5设有压盘(platerOS，由图未示的供纸辊等供给的纸等记录介质即记录片材S，在压盘8上被运送。记录头单元IA和1B，在与记录片材S相对的位置，具备喷墨式记录头1。图2是表示喷墨式记录头1的分解局部立体图。喷墨式记录头1的形状是大致长方体。图2是在与喷墨式记录头1的长度方向(图中白箭头方向)正交的面剖切的分解局部立体图。图3(a)表示喷墨式记录头1的局部俯视图，(b)表示其A-A剖面图。图2和图3中，喷墨式记录头1，具备流路形成基板10、喷嘴板20本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种压电致动器的制造方法，上述压电致动器具备：压电元件，其具备下电极或上电极中的任一方作为单独电极；和引出电极，其分别从上述单独电极引出，上述制造方法的特征在于，包括：在基板上形成下电极膜的下电极膜形成工序；在上述下电极膜上形成压电体层的压电体层形成工序；在上述压电体层上形成上电极膜的上电极膜形成工序；压电元件形成工序，有选择地蚀刻上述压电体层、和上述下电极膜或上述上电极膜，形成具备压电体并具备上述下电极或上述上电极中的任一方作为上述单独电极的上述压电元件；蚀刻工序，在上述压电元件形成工序后，以上述上电极膜被除去而上述基板不被除去的条件，对上述引出电极之间的上述基板的至少一部分进行蚀刻；和引出电极形成工序，在上述蚀刻工序后，形成分别从上述单独电极引出的上述引出电极。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：神户雅人，山冈卓实，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP