本发明专利技术提供了一种对中检测装置，应用于待检测装置，所述待检测装置包括第一待检测装置和第二待检测装置，所述对中检测装置包括底座和至少3个位置测量机构，所述位置测量机构包括电连接的测量部和数据读取部，所述底座设置于所述第一待检测装置，所述测量部用于测量所述测量部的测量端部与所述第二待检测装置之间的距离，所述数据读取部用于读取所述测量部测得的所述距离，以根据所述距离调整所述第一待检测装置的位置，使所述第一待检测装置与所述第二待检测装置实现对中，解决了对中装置无法对套设在一起的待检测装置进行对中的问题，且该装置可以在真空条件下对待检测装置进行对中。本发明专利技术同时提供了一种应用于晶圆加热盘的对中装置。的对中装置。的对中装置。
【技术实现步骤摘要】
对中检测装置和应用于晶圆加热盘的对中装置
[0001]本专利技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种对中检测装置和应用于晶圆加热盘的对中装置。
技术介绍
[0002]半导体设备，即在芯片制造和封测流程中应用到的设备，广义上也包括生产半导体原材料所需的机器设备。在整个芯片制造和封测过程中，会经过上千道加工工序，涉及到的设备种类甚多，有些设备在组装的过程中，整个设备需要精密的对中。
[0003]公开号为CN106918286A的中国专利公开了一种微小型简易对中仪器，包括两个直径相同的圆盘，一个是红外线发射盘，另一个是红外线接收盘；所述红外线接收盘包括：圆环、环形槽、伸缩臂；圆环上开设有与圆环同心的环形槽；圆环内孔侧壁向外开设凹槽；伸缩臂安装在凹槽中，能够前后移动，实现伸缩；所述红外线发射盘包括：圆环、伸缩臂、红外线发射器和红外线发射空；圆环内孔侧壁向外开设凹槽；伸缩臂安装在凹槽中，能够前后移动，实现伸缩；圆环上开设有红外线发射孔用于放置红外线发射器；发射盘中心点到红外线发射孔的距离；发射孔分布在与圆环同心的圆周上，其半径与接收盘的环形槽的半径相同。
[0004]公开号为CN105352419A的中国专利公开了一种对中装置，包括第一调具和第二调具，所述第一调具具有环形部分，当所述第一调具连接在第一传动轴上时，所述环形部分的轴线与所述第一传动轴的轴线重合，所述第二调具包括能够连接在第二传动轴上的测量件和安装在所述测量件上的千分表或百分表，当所述测量件围绕所述第二传动轴的轴线转动时，所述千分表或百分表的触头与所述环形部分的环形面滑动地接触。
[0005]但上述两件专利中的对中装置是安装在相对的两种设备上，进而使得相对的两种设备的中心轴线重合，无法对套设在一起的设备进行对中。
[0006]因此，有必要开发一种对中检测装置，以避免现有技术中存在的上述问题。
技术实现思路
[0007]本专利技术的目的在于提供一种对中检测装置，该装置解决了对中装置无法对套设在一起的待检测装置进行对中的问题，且该装置可以在真空条件下对待检测装置进行对中。
[0008]为实现上述目的，本专利技术提供了一种对中检测装置，应用于待检测装置，所述待检测装置包括第一待检测装置和第二待检测装置，且所述第一待检测装置套设于所述第二待检测装置；所述对中检测装置包括底座和至少3个位置测量机构，所述位置测量机构包括电连接的测量部和数据读取部，所述测量部设置于所述底座，各个所述测量部圆周设置且以所述底座的中心为圆心；所述底座设置于所述第一待检测装置，所述测量部用于测量所述测量部的测量端部与所述第二待检测装置之间的距离，所述数据读取部用于读取所述测量部测得的所述距离，以根据所述距离调整所述第一待检测装置的位置，使所述第一待检测装置与所述第二待检测装置实现对中。
[0009]本专利技术所述对中检测装置的有益效果在于：通过所述底座设置于所述第一待检测
装置，使得所述对中检测装置与所述第一待检测装置贴合在一起；通过所述测量部用于测量所述测量部的测量端部与所述第二待检测装置之间的距离，所述数据读取部用于读取所述测量部测得的所述距离，以根据所述距离调整所述第一待检测装置的位置，使所述第一待检测装置与所述第二待检测装置实现对中，当各个所述数据读取部读取的距离相同时，所述第一待检测装置的中轴线与所述第二待检测装置的中轴线重合，即所述第一待检测装置与所述第二待检测装置实现了对中；通过所述测量部和所述数据读取部电连接，使得所述测量部无论处于真空条件下或大气压条件下，所述数据读取部均可以处于大气压条件下，从而使得所述对中检测装置能对真空条件下或大气压条件下的待检测装置进行对中检测。该装置解决了对中装置无法对套设在一起的待检测装置进行对中的问题，且该装置可以在真空条件下对待检测装置进行对中。
[0010]可选的，所述对中检测装置还包括零点校准组件，所述零点校准组件设置于所述底座，所述零点校准组件用于校准所述测量部。其有益效果在于：所述零点校准装置的设置，有利于确定测量部的零点位置，并减少误差。
[0011]可选的，所述零点校准组件与所述底座可拆卸连接，且所述零点校准组件到所述底座的中心的距离大于所述测量端部到所述底座的中心的距离。
[0012]可选的，所述零点校准组件包括至少3个零点校准件，所述零点校准件设置于所述底座的侧壁，且所述零点校准件与所述测量部相对设置。其有益效果在于：零点校准件与测量部的数量相等，且零点校准件设置于所述底座的侧壁，使得所述测量部的测量更加精确。
[0013]可选的，所述对中检测装置还包括固定组件，所述固定组件设置于所述底座，所述固定组件用于固定所述测量部。其有益效果在于：通过所述固定件的设置，使得所述测量部与所述底座更加紧固。
[0014]可选的，所述固定组件包括至少3个固定件以分别固定所述测量部，所述固定件与所述底座可拆卸连接。其有益效果在于：固定件与测量部的数量相同，减少材料的使用，节约成本。
[0015]可选的，所述固定组件包括第一固定连接件和第二固定连接件，所述第一固定连接件设置于所述底座，所述第二固定连接件与所述测量部固定，且所述第二固定连接件与所述第一固定连接件活动连接以调节所述测量部相对于所述底座的距离。其有益效果在于：所述固定组件的高度可以调节，使得所述测量部可以上下移动，从而使得所述测量部能够检测不同高度的所述待检测装置。
[0016]可选的，所述第一固定连接件设有滑杆和滑槽中的任意一种，所述第二固定连接件设有滑杆和滑槽中的另一种，所述第一固定连接件与所述第二固定连接件通过所述滑杆和所述滑槽相适配以实现滑动连接。其有益效果在于：所述测量部可以上下移动，从而使得所述测量部能够检测不同高度的所述待检测装置。
[0017]可选的，相邻所述测量部朝向所述底座的中心延伸后形成的结构之间的夹角相等。其有益效果在于：使得所述测量部测量的距离更加准确，减少误差。
[0018]可选的，所述位置测量机构为接触式传感器和非接触式传感器中的至少一种。
[0019]可选的，所述底座设置有连接结构，所述底座通过所述连接结构与第一待检测装置固定。其有益效果在于：通过设置连接结构，防止底座在第一待检测装置上滑动。
[0020]本专利技术所述的应用于晶圆加热盘的对中装置包括腔体、晶圆加热盘和所述对中检
测装置，所述晶圆加热盘放置于所述腔体内，所述底座与所述晶圆加热盘相适配；所述测量部用于测量所述测量端部与所述腔体的侧壁之间的距离，以根据所述数据读取部读取的所述距离调整所述晶圆加热盘的位置，使所述晶圆加热盘与所述腔体实现对中。
[0021]本专利技术所述的应用于晶圆加热盘的对中装置的有益效果在于：通过所述底座与所述晶圆加热盘相适配，使得所述对中检测装置与所述晶圆加热盘贴合在一起；通过所述测量部用于测量所述测量端部与所述腔体的侧壁之间的距离，以根据所述数据读取部读取的所述距离调整所述晶圆加热盘的位置，使所述晶圆加热盘与所述腔体实现对中，当各个所述数据读取部读取的距离相同时本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种对中检测装置，应用于待检测装置，其特征在于，所述待检测装置包括第一待检测装置和第二待检测装置，且所述第一待检测装置套设于所述第二待检测装置；所述对中检测装置包括底座和至少3个位置测量机构，所述位置测量机构包括电连接的测量部和数据读取部，所述测量部设置于所述底座，各个所述测量部圆周设置且以所述底座的中心为圆心；所述底座设置于所述第一待检测装置，所述测量部用于测量所述测量部的测量端部与所述第二待检测装置之间的距离，所述数据读取部用于读取所述测量部测得的所述距离，以根据所述距离调整所述第一待检测装置的位置，使所述第一待检测装置与所述第二待检测装置实现对中。2.根据权利要求1所述的对中检测装置，其特征在于，还包括零点校准组件，所述零点校准组件设置于所述底座，所述零点校准组件用于校准所述测量部。3.根据权利要求2所述的对中检测装置，其特征在于，所述零点校准组件与所述底座可拆卸连接，且所述零点校准组件到所述底座的中心的距离大于所述测量端部到所述底座的中心的距离。4.根据权利要求2所述的对中检测装置，其特征在于，所述零点校准组件包括至少3个零点校准件，所述零点校准件设置于所述底座的侧壁，且所述零点校准件与所述测量部相对设置。5.根据权利要求1所述的对中检测装置，其特征在于，还包括固定组件，所述固定组件设置于所述底座，所述固定组件用于固定所述测量部。6.根据权利要求5所述的对中检测装置，其特征在于，所述固定组件包括至少3个固定件以分别固定所述测量部，所述固定件与所述底座可拆卸连接。7.根据权利要求5所述的对中检测装置，其特征在于，所述固...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄明策，吴凤丽，谭华强，
申请(专利权)人：拓荆科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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