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对中检测装置和应用于晶圆加热盘的对中装置制造方法及图纸
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下载对中检测装置和应用于晶圆加热盘的对中装置的技术资料
文档序号:33028800
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本发明提供了一种对中检测装置,应用于待检测装置,所述待检测装置包括第一待检测装置和第二待检测装置,所述对中检测装置包括底座和至少3个位置测量机构,所述位置测量机构包括电连接的测量部和数据读取部,所述底座设置于所述第一待检测装置,所述测量部用...
该专利属于拓荆科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过拓荆科技股份有限公司授权不得商用。
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