一种定角度选择顺应性晶圆输送机械臂的定位结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种定角度选择顺应性晶圆输送机械臂的定位结构，包括大摆臂主轴、大摆臂、小摆臂主轴、小摆臂以及腕部主轴，大摆臂主轴包括大摆臂主轴转轴和大摆臂主轴同步带轮，大摆臂包括大摆臂本体和大摆臂同步带，小摆臂包括小摆臂本体和小摆臂同步带轮，大摆臂主轴转轴与电机相连，大摆臂主轴同步带轮与大摆臂主轴转轴同轴布置，并通过大摆臂同步带连接小摆臂主轴，小摆臂主轴与小摆臂同步带轮同轴布置，小摆臂同步带轮装设于小摆臂本体一端内，小摆臂本体另一端安装有腕部主轴，小摆臂同步带轮通过同步带连接腕部主轴；本实用新型专利技术克服了常见的大臂小臂带轮中心距以及起始角度的一致性缺陷，具有较高的性价比以及装配作业效率。业效率。业效率。

【技术实现步骤摘要】
一种定角度选择顺应性晶圆输送机械臂的定位结构
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][0001]本技术涉及机械臂
，具体地说是一种定角度选择顺应性晶圆输送机械臂的定位结构。
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技术介绍
][0002]空间紧凑运行可靠的晶圆输送系统是基于高洁净度环境的单片式晶圆制造的必要条件之一，晶圆输送机械臂与晶圆夹持器是晶圆输送系统中最为关键的两个环节。
[0003]由于晶圆夹持器更多的负责对晶圆进行检测/定位/固定，因此在不同工位之间按工序执行快速稳定的晶圆搬运的机械臂的工作性能将更多的影响到整个晶圆输送系统的效率，从而影响晶圆制造的产能。
[0004]由于晶圆机械臂安装在较为狭小的晶圆制造设备之内，为了在较小的空间内获得较大的工作域，目前的晶圆输送机械臂，主要有可分为平面关节型机械手(SCARA)和径向直线运动(R.θ)型机械手两种类型，由于这两种机械臂在一定的高度内都具有很高的刚性和移动速度，通常被理解成选择顺应性机械臂，即，在一定的平面内而不是整个工作域内具有相同的刚性和移动速度。
[0005]典型的平面关节型机械手有四个自由度，分别为大臂回转、小臂回转、末端执行器回转以及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种定角度选择顺应性晶圆输送机械臂的定位结构，其特征在于：包括大摆臂主轴(1)、大摆臂(2)、小摆臂主轴(3)、小摆臂(4)以及腕部主轴(5)，所述大摆臂(2)一端与大摆臂主轴(1)连接固定，所述大摆臂(2)另一端安装有小摆臂主轴(3)，所述小摆臂主轴(3)下部安装于小摆臂(4)一端，所述大摆臂主轴(1)包括大摆臂主轴转轴(11)和大摆臂主轴同步带轮(12)，所述大摆臂(2)包括大摆臂本体(21)和大摆臂同步带(22)，所述小摆臂(4)包括小摆臂本体(41)和小摆臂同步带轮(42)，所述大摆臂主轴转轴(11)与电机的输出端相连接，并由电机驱动，所述大摆臂主轴同步带轮(12)与大摆臂主轴转轴(11)同轴布置，且大摆臂主轴同步带轮(12)安装于大摆臂本体(21)内，所述大摆臂主轴同步带轮(12)通过大摆臂同步带(22)连接小摆臂主轴(3)，所述小摆臂主轴(3)与小摆臂同步带轮(42)同轴布置，所述小摆臂同步带轮(42)装设于小摆臂本体(41)一端内，所述小摆臂本体(41)另一端安装有腕部主轴(5)，所述小摆臂同步带轮(42)通过同步带连接腕部主轴(5)，所述大摆臂主轴转轴(11)被驱动后大摆臂同步带(22)]以从动的方式驱动小摆臂主轴(3)，所述小摆臂主轴(3)通过小摆...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄自柯，林生海，江献茂，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：