温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种定角度选择顺应性晶圆输送机械臂的定位结构，包括大摆臂主轴、大摆臂、小摆臂主轴、小摆臂以及腕部主轴，大摆臂主轴包括大摆臂主轴转轴和大摆臂主轴同步带轮，大摆臂包括大摆臂本体和大摆臂同步带，小摆臂包括小摆臂本体和小摆臂同步带轮，...
该专利属于冠礼控制科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过冠礼控制科技（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。