【技术实现步骤摘要】
一种固晶机视觉定位系统
[0001]本技术属于固晶机检测机构
,具体是一种固晶机视觉定位系统。
技术介绍
[0002]固晶机是芯片封装过程中所使用的设备,其中视觉定位是固晶精度的重要保证,目前固晶机的视觉配置有固晶相机和取晶相机,其中固晶相机在吸嘴取晶前对芯片进行定位,固晶相机在固晶前识别基板位置。
[0003]因此,需要设计一种固晶机视觉定位系统,检测取晶动作和搬运动作过程中对芯片造成的位置偏移。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是克服现有技术的不足,提供了一种固晶机视觉定位系统,可以检测取晶动作和搬运动作过程中对芯片造成的位置偏移。
[0005]为达到上述目的,本技术是一种固晶机视觉定位系统,包括固晶相机、旋转固晶头、取晶相机、上视相机,固晶相机、取晶相机设置在旋转固晶头四周,固晶相机正对于固晶位,取晶相机正对于取晶位,上视相机设置在旋转固晶头下方,上视相机包括反射镜片、光源、镜头、微型相机,反射镜片设置在镜头前侧,镜头的前部设有光源,镜头与微型相机前侧连接,反射镜片所反射的晶圆图像与镜头同光轴。
[0006]所述的反射镜片呈45
°
倾斜设置。
[0007]所述的旋转固晶头包括吸嘴、同步轮、同步带、主动轮、调节电机、真空接口,调节电机的轴与主动轮连接,主动轮与同步轮采用同步带连接,吸嘴与同步轮连接,吸嘴穿过同步轮与真空接口连接。
[0008]所述的镜头前部的四角均设有光源。
[0009]本技术同现有技术相比,通过上视相机 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】 【专利技术属性】
1.一种固晶机视觉定位系统,包括固晶相机(1)、旋转固晶头(2)、取晶相机(3)、上视相机(4),固晶相机(1)、取晶相机(3)设置在旋转固晶头(2)四周,固晶相机(1)正对于固晶位(5),取晶相机(3)正对于取晶位(6),其特征在于:上视相机(4)设置在旋转固晶头(2)下方,上视相机(4)包括反射镜片(4
‑
1)、光源(4
‑
2)、镜头(4
‑
3)、微型相机(4
‑
4),反射镜片(4
‑
1)设置在镜头(4
‑
3)前侧,镜头(4
‑
3)的前部设有光源(4
‑
2),镜头(4
‑
3)与微型相机(4
‑
4)前侧连接,反射镜片(4
‑
1)所反射的晶圆图像与镜头(4
‑
3)同光轴。2.根据权利要求1所述的一种固晶机视觉定位系统,其特征在于:所述的反射镜片(4
‑
1)呈45
°
倾斜设置在镜头(4
技术研发人员:渠敬国,王世渊,耿爽,
申请(专利权)人:上海赢朔电子科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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