卧式斜槽石英舟制造技术

本实用新型专利技术涉及“卧式斜槽石英舟”，属于石英制品领域。一种卧式斜槽石英舟，包括两根以上的开槽棒及连接棒，开槽棒上对应位置的槽位于同一圆面内，其特征在于：所述开槽棒上的槽方向与竖直方向成一夹角，其槽是斜的，而不是常规的竖直，所以晶片放置在斜槽内，其在舟内的倒向一致，晶片间隙一致，使氧化扩散均匀性、一致性得到改善。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及卧式石英舟，特别是涉及一种卧式斜槽石英舟。
技术介绍
卧式石英舟是4-6英寸集成电路生产线中采用的晶片载体， 一般用于氧化扩散等关键工 序。 一般情况下卧式舟沟槽结构皆为直槽，即舟棒开槽方向与开槽棒是垂直的。由于开槽宽 度必须比晶片厚度大，而且为防止卡片一般取上差。这样晶片放置在舟槽内会左右或前后倾 斜，造成片间间隙不一致，直接影响氧化扩散的均匀性、 一致性。
技术实现思路
针对上述领域中的不足，本技术提供一种卧式斜槽石英舟，可以保证晶片在舟内倒 向一致，使氧化扩散均匀性、 一致性得到改善。一种卧式斜槽石英舟，包括两根以上的开槽棒及连接棒，开槽棒上对应位置的槽位于同 一圆面内，其特征在于所述开槽棒上的槽方向与竖直方向成一夹角。所述夹角角度为1°-5°。所述角度为3 °。所述槽的槽边设置有倒角。所述倒角为15-30 °。所述槽的深度为1. 5 — 3. 5mm。所述开槽棒有四根，两两位于两平行的水平面内。所述连接棒有两根，夹于两平行水平面之间，并与开槽棒的两端垂直连接。 本技术开槽方向与竖直方向成一夹角，其槽是斜的，而不是常规的竖直，所以晶片放置在斜槽内，其在舟内的倒向一致，晶片间隙一致，使氧化扩散均匀性、 一致性得到改善。为保证晶片的角度，适合原机械手操作，开槽角度不宜过大，以1°-5°为好，优选3°。 为防止插入、取出晶片时碰撞开槽棒，两槽边设置有倒角，倒角为15-30°。 开槽棒的根数没有限定，只要开槽棒上对应位置的槽位于同一圆面内可以插入晶片就行，本技术卧式斜槽石英舟的开槽棒采用四根开槽棒，两两位于两平行的水平面内，易加工，石英舟重心稳定。优选连接棒有两根，夹于两平行水平面之间，并与开槽棒的两端垂直连接。这种结构很 简单，省料，连接工序也少。本技术槽方向与竖直方向成一夹角，所以晶片放置在斜槽内，其在舟内的倒向都朝向同一方向，晶片间隙一致，使氧化扩散均匀性、 一致性得到改善。附图说明图1实施例1的主视图，图2实施例1的侧视图，图3图2中的局部视图X、 Y，图4实施例2的主视图，图5实施例2的俯视图，图中各标号列示如下l一开槽棒，2—连接棒，3—槽，4—晶片。具体实施方式实施例1图1为主视图，图2为图1中A-A向视图，图3是图2中的局部视图X、 Y。 种卧式 斜槽石英舟，包括开槽棒1及连接棒2，开槽棒1上对应位置的槽3位于同一圆面内，所述 开槽棒1上的槽3方向与竖直方向成一夹角。因为该槽3是斜的，而不是常规的竖直，所以 晶片4放置在斜槽3内，其在舟内的倒向一致，晶片4间隙一致，使氧化扩散均匀性、 一致 性得到改善。为保证晶片4的角度，适合原机械手操作，开槽角度不益宜过大，以1°-5°为好， 优选3 °。槽3的深度为1.5 — 3. 5mm。为防止插入、取出晶片时碰撞开槽棒，两槽边设置有倒角，倒角15-30 °。 卧式斜槽石英舟中的开槽棒1有四根，两两位于两平行的水平面内，连接棒2两根，连接棒2位于两平行水平面之间，连接棒2垂直连接在开槽棒1的两端，即连接棒2的上表面与上水平面内两根开槽棒1的下表面焊接，连接棒2的下表面与下水平面内两根开槽棒1的上表面焊接，这种连接省料，省工序。实施例2图4为主视图，图5为俯视图。本实施例中开槽棒1有四根，两两位于两平行的水平面内，易加工，石英舟重心稳定。 相邻两根开槽棒1之间用连接棒2焊接固定在一起。还可以有其它的方式。本技术槽3方向与竖直方向成一夹角，所以晶片4放置在斜槽3内，其在舟内的倒 向都朝向同一方向，晶片4间隙一致，使氧化扩散均匀性、 一致性得到改善。权利要求1、一种卧式斜槽石英舟，包括两根以上的开槽棒及连接棒，开槽棒上对应位置的槽位于同一圆面内，其特征在于所述开槽棒上的槽方向与竖直方向成一夹角。2、 根据权利要求1所述的卧式斜槽石英舟，其特征在于，所述夹角角度为1°-5°。3、 根据权利要求2所述的卧式斜槽石英舟，其特征在于，所述角度为3 °。4、 根据权利要求1所述的卧式斜槽石英舟，其特征在于，所述槽的槽边设置有倒角。5、 根据权利要求4所述的卧式斜槽石英舟，其特征在于，所述倒角为15-30°。6、 根据权利要求1所述的卧式斜槽石英舟，其特征在于，所述槽的深度为1.5—3.5mm。7、 根据权利要求1所述的卧式斜槽石英舟，其特征在于，所述开槽棒有四根，两两位于两 平行的水平面内。8、 根据权利要求7所述的卧式斜槽石英舟，其特征在于，所述连接棒有两根，夹于两平行 水平面之间，并与开槽棒的两端垂直连接。专利摘要本技术涉及“卧式斜槽石英舟”，属于石英制品领域。一种卧式斜槽石英舟，包括两根以上的开槽棒及连接棒，开槽棒上对应位置的槽位于同一圆面内，其特征在于所述开槽棒上的槽方向与竖直方向成一夹角，其槽是斜的，而不是常规的竖直，所以晶片放置在斜槽内，其在舟内的倒向一致，晶片间隙一致，使氧化扩散均匀性、一致性得到改善。文档编号H01L21/67GK201266600SQ20082012276公开日2009年7月1日 申请日期2008年9月26日 优先权日2008年9月26日专利技术者增 刘, 刘文静, 卢爱国, 吕炳益, 孙超群, 康海霞, 张忠恕, 李翔星, 杨继盛, 强 陈 申请人:北京凯德石英塑料制品有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种卧式斜槽石英舟，包括两根以上的开槽棒及连接棒，开槽棒上对应位置的槽位于同一圆面内，其特征在于：所述开槽棒上的槽方向与竖直方向成一夹角。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈强，康海霞，李翔星，刘文静，刘增，卢爱国，吕炳益，孙超群，杨继盛，张忠恕，
申请(专利权)人：北京凯德石英塑料制品有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]