【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶片制造过程中使用的辅助装置，具体地说，涉及一种适 用于不同晶舟盒的晶片起托器。
技术介绍
太阳能晶片是垂直放置在晶舟盒内，在太阳能晶片制作过程中，常需要将 晶舟盒中的晶片手动取出.进行观察或放置到下一个制程的治具中。从晶舟盒取出晶片通常采用 一个吸笔将晶片吸取出来，然而太阳能晶片很 薄，而且晶舟盒垂直高度很高，吸取晶片的过程中很容易由于操作不慎而导致 太阳能晶片破片。因此，需要设计一种可以方便将晶片取出的装置。此外由于 目前常用的晶舟盒的尺寸不同，如果设计的装置仅限于一种规格的晶舟盒，显 然会造成生产成本的浪费。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种适用于不同晶舟盒的晶片起托器，该晶片 起托器可以适用于不同尺寸的晶舟盒将晶片托起。为实现上述目的，本技术提供一种适用于不同晶舟盒的晶片起托器， 其中，该起托器至少包括一个底座，至少一个水平放置在底座上方的固定板， 至少 一个固定在固定板上的凸块，该凸块可以从晶舟盒的底部将晶片托起。起托器包括多个呈阶梯状叠放的固定板，尺寸最大的固定板放置在最下层。每个固定板的尺寸大小分别对应于不同尺寸的晶舟盒。固定板的两个相对的侧壁与晶舟盒两个内壁接触以便晶片起托器在晶舟盒 中左右定位。起托器还包括一个与底座垂直的基准板，其用于与晶舟盒的一个外壁接触 以从一个方向定位起托器。固定板一个侧壁紧靠基准板。 凸块的一个侧壁紧靠基准板。 凸块呈矩形或是圆柱形。与现有技术相比，本技术的晶片起托器可以通过凸块稳固地将晶舟盒 中的晶片托起，此外，还设置多个阶梯叠放的固定板，使该晶片起托器适用于 不同尺寸的晶舟盒，有效地节约了生产成本。...
【技术保护点】
一种适用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于：该起托器至少包括一个底座，至少一个水平放置在底座上方的固定板，至少一个固定在固定板上的凸块，该凸块可以将晶片托起。
【技术特征摘要】
1、一种适用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于该起托器至少包括一个底座，至少一个水平放置在底座上方的固定板，至少一个固定在固定板上的凸块，该凸块可以将晶片托起。2、 如权利要求l所述的适用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于起 托器包括多个呈阶梯状叠放的固定板，尺寸最大的固定板放置在最下层。3、 如权利要求2所述的适用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于每 个固定板的尺寸大小分别对应于不同尺寸的晶舟盒。4、 如权利要求1或2所述的适用于不同晶舟盒的晶片起托器，其特征在于 固定板的两个相对的側壁与晶舟盒两个内...
【专利技术属性】
技术研发人员：蓝仁隆，龚伟平，李向前，钱达，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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