【技术实现步骤摘要】
本技术关于一种基板承载盒,尤指一种适用于设置基板的基板承载盒,且任意两基板承载盒开口卡掣后,基板易于从一基板承载盒移至另一基板承载盒,而且化学制程用液体流动于基板承载盒内外时不易残留于基板承载盒上。
技术介绍
一般基板需经过化学制程处理才能做为进一步处理,而进入化学制程前,基板会被置入基板承载盒内以便于共同做为化学制程处理,如图1所示,其为现有基板承载盒9,其包含位于左右两侧的直立面91、设于上下两侧而连接直立面91的连接体92,直立面91包含多数个支撑体911及多数道横向连接支撑体911且向内延伸的横肋912,两两横肋912间的空隙可供置放基板(未图标),而连接体92内侧表面设有凸肋921也可供基板抵靠支撑。然而,横肋912的剖面设为矩形(请一并参阅图2所示),当化学制程用液体流动于横肋912与支撑体911间的空隙时,阻力较大,容易形成紊流,化学制程用液体于基板表面时不易分布均匀,再者,当基板承载盒9取出时,化学制程用液体残留于基板承载盒9上的量将会较多,尤其连接体92上的凸肋921更是容易使化学制程用液体残留。又,基板承载盒9平整的开口使得基板插入横肋912 ...
【技术保护点】
一种基板承载盒,其特征在于包含位于左右两侧的直立面、设于上下两侧而连接直立面的连接体、设于后侧的挡止面及一开口,直立面包含多数个支撑体及多数道横向连接支撑体且向内延伸的横肋,两两横肋间的空隙供置放基板,横肋露于支撑体间空隙的部份设为可使流过横肋的化学制程用液体流畅的曲面。
【技术特征摘要】
1.一种基板承载盒,其特征在于包含位于左右两侧的直立面、设于上下两侧而连接直立面的连接体、设于后侧的挡止面及一开口,直立面包含多数个支撑体及多数道横向连接支撑体且向内延伸的横肋,两两横肋间的空隙供置放基板,横肋露于支撑体间空隙的部份设为可使流过横肋的化学制程用液体流畅的曲面。2.如权利要求1所述的基板承载盒,其特征在于连接直立面的连接体内侧表面为平坦状。3.一种基板承载盒,其特征在于包含位于左右两侧的直立面、设于上下两侧而连接直立面的连接体、设于后侧的挡止面及一开口,直立面包含多数个支撑体及多数道横向连接支撑体且向内延伸的横肋,两两横肋间的空隙供置放基板,横肋于开口处被移除部份体积,基板承载盒的开口设有至少二凸缘,凸缘设有多数个嵌合体,供另一基板承载盒的嵌合体嵌入卡合。4.如权利要求3所述的基板承载盒,其特征在于连接直立面的连接体内侧表面为平坦状。5.如权利要求3所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄保树,
申请(专利权)人:宝晶科技股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:71[中国|台湾]
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