一种晶圆涂源机制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆涂源机，其包括机架，机架的上方从左到右依次设置有放料机构、输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器、加热机构和收料机构，磁力搅拌器上放置有用于盛放扩散源的溶剂瓶，机架上还设有第一搬运机构、第二搬运机构和第三搬运机构，第一搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到输送机构上，第二搬运机构用于将晶圆从输送机构搬运到旋转机构上，再将晶圆从旋转机构搬运到加热机构上，第三搬运机构用于将晶圆从加热机构搬运到收料机构上；本发明专利技术实现了晶圆的自动涂源、烘干和摆放，提高效率的同时，保证了产品质量，避免了人工搬运，降低工作人员工作量，同时提高了生产效率。高了生产效率。高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆涂源机


[0001]本专利技术涉及晶圆生产设备
，具体为一种晶圆涂源机。

技术介绍

[0002]在半导体制程中，晶圆需通过多种机台的加工制程，半导体晶圆的生产过程中需要在硼扩生产前进行空面涂源，对已清洗好的晶片硼扩前需要进行涂源、烘烤、收片等操作，目前涂源主要是工人利用毛笔蘸取扩散源，然后在晶圆上涂满，人工使用毛笔涂源影响硼源在晶片表面的均匀性，生产效率低，且质量不可控，影响晶片的质量；且现有技术中，涂源完成后，需要人工将晶圆取出后搬运到烘干装置对晶圆进行烘干，效率低。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种晶圆涂源机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0005]一种晶圆涂源机，其包括机架，机架的上方设置有防护罩，防护罩上通过旋转臂安装有显示器，所述机架的上方从左到右依次设置有放料机构、输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器、加热机构和收料机构，所述磁力搅拌器上放置有用于盛放扩散源的溶剂瓶，所述放料机构、输送机构的一侧设置有第一搬运机构，所述输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器和加热机构的一侧设置有第二搬运机构，所述加热机构和收料机构的一侧设置有第三搬运机构，其另一侧设置有翻面机构；
[0006]所述放料机构和收料机构用于储放晶圆，所述输送机构包括传输机、支撑腿、收料盒、挡料杆和挡料气缸，传输机固定在支撑腿上，传输机中段的外侧倾斜设置有收料盒，所述挡料杆和挡料气缸相连接，挡料气缸固定在传输机上且与收料盒相对；
[0007]所述第一搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到输送机构上，所述第二搬运机构用于将晶圆从输送机构搬运到旋转机构上，再将晶圆从旋转机构搬运到加热机构上，所述第三搬运机构用于将晶圆从加热机构搬运到收料机构上；
[0008]溶剂涂敷机构包括用于固定毛笔的毛笔夹持头，所述毛笔夹持头固定在旋转升降机构上，所述旋转升降机构用于带动毛笔到溶剂瓶内蘸取扩散源，然后带动毛笔移动到旋转机构上方；
[0009]所述旋转机构包括涂源盘、转盘、第一同步带轮、第二同步带轮和第三电机，所述转盘同心设置在涂源盘内，所述转盘下端的安装轴转动安装在涂源盘内，所述第一同步带轮固定在涂源盘的安装轴上，其通过同步带与第二同步带轮传动连接，所述第二同步带轮固定在第三电机的电机轴上；
[0010]所述翻面机构包括第三直线模组、旋转气缸和第四安装板，所述第三直线模组的移动端上固定安装有旋转气缸，所述旋转气缸的输出端上固定安装有第四安装板，所述第四安装板上安装有一个晶圆夹持机构。
[0011]优选的，所述第一搬运机构、第二搬运机构和第三搬运机构设置在机架的中心处，
所述放料机构、输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器、加热机构和收料机构设置有两组，其对称设置在所述第一搬运机构、第二搬运机构和第三搬运机构的前后两侧。
[0012]优选的，所述放料机构包括电动推杆、固定板、定位杆和顶盘，所述电动推杆安装在固定板的下方，其输出端从下到上穿过固定板且与顶盘固定相连，所述固定板固定在机架上，其上端固定安装有若干根成圆形阵列分布的定位杆，所述固定板上还对称固定有两个安装杆，所述安装杆的上方固定有气嘴。
[0013]优选的，所述收料机构和放料机构的结构相同。
[0014]优选的，所述第一搬运机构包括安装盒、导轨、第一气缸、第二气缸和吸盘，所述导轨设置在安装盒内，所述第一气缸固定在安装盒的外侧，其活塞杆伸入安装盒内且与滑块固定相连，所述滑块左右滑动安装在所述导轨上，所述滑块的外侧固定有第二气缸，第二气缸的活塞杆上固定安装有用于吸附晶圆的吸盘。
[0015]优选的，所述旋转升降机构包括固定在机架上的第一安装板，所述第一安装板上转动安装有螺纹套筒，所述螺纹套筒内通过螺纹安装有螺杆，所述螺杆上安装有第一带轮，所述第一带轮通过皮带与第二带轮传动连接，所述第二带轮固定在第一电机的电机轴上，所述螺纹套筒的下端与第三带轮固定连接，所述第三带轮通过皮带与第四带轮传动连接，所述第四带轮固定在第二电机的电机轴上，所述第一电机和第二电机都固定在第一安装板上。
[0016]优选的，所述加热机构包括加热台、接料杆、横杆、竖杆和第三气缸，所述加热台上开设有用于放置接料杆的凹槽，所述接料杆左右两端的下端固定有竖杆，两个竖杆之间固定安装有横杆，所述横杆的下端固定在第三气缸的活塞杆上。
[0017]优选的，所述第二搬运机构包括第一直线模组、移动块、第四气缸和第二安装板，所述第一直线模组的输出端上固定安装有移动块，所述第四气缸固定在移动块的外侧，其输出端与第二安装板固定连接，所述第二安装板下端的左右两端分别安装有一个晶圆夹持机构。
[0018]优选的，所述第三搬运机构包括第二直线模组、第五气缸和第三安装板，所述第五气缸固定安装在第二直线模组的移动端上，其输出端上固定安装有第三安装板，所述第三安装板的下端安装有一个晶圆夹持机构。
[0019]优选的，所述晶圆夹持机构包括双头气缸、第五安装板和夹杆，所述双头气缸的两个输出端上分别安装有一个第五安装板，所述第五安装板的下端对称安装有两个夹杆。
[0020]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0021]本专利技术实现了晶圆的自动涂源、烘干和摆放，提高效率的同时，保证了产品质量，避免了人工搬运，降低工作人员工作量，同时提高了生产效率。
附图说明
[0022]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0023]图2为本专利技术的内部结构示意图；
[0024]图3为本专利技术的内部结构俯视示意图；
[0025]图4为本专利技术的放料机构结构示意图；
[0026]图5为本专利技术的收料机构结构示意图；
[0027]图6为本专利技术的放料机构、输送机构和第一搬运机构结构示意图；
[0028]图7为本专利技术的输送机构结构示意图；
[0029]图8为本专利技术的输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器、加热机构和第二搬运机构结构示意图；
[0030]图9为本专利技术的第二搬运机构结构示意图；
[0031]图10为本专利技术的晶圆夹持机构结构示意图；
[0032]图11为本专利技术的溶剂涂敷机构、旋转机构和加热机构结构示意图；
[0033]图12为本专利技术的加热机构、收料机构、第三搬运机构和翻面机构结构示意图；
[0034]图13为本专利技术的第三搬运机构结构示意图；
[0035]图14为本专利技术的翻面机构结构示意图。
[0036]图中：1机架、2放料机构、21电动推杆、22固定板、23定位杆、24安装杆、25气嘴、26顶盘、3输送机构、31传输机、32支撑腿、33收料盒、34挡料杆、35挡料气缸、4第一搬运机构、41安装盒、42导轨、43第一气缸、44第二气缸、45吸盘、5溶剂涂敷机构、501第一安装板、502螺杆、503螺纹套筒、504第一带轮、505第二带轮、506第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆涂源机，其包括机架(1)，机架(1)的上方设置有防护罩(16)，防护罩(16)上通过旋转臂安装有显示器(17)，其特征在于：所述机架(1)的上方从左到右依次设置有放料机构(2)、输送机构(3)、溶剂涂敷机构(5)、旋转机构(6)、磁力搅拌器(7)、加热机构(8)和收料机构(10)，所述磁力搅拌器(7)上放置有用于盛放扩散源的溶剂瓶(14)，所述放料机构(2)、输送机构(3)的一侧设置有第一搬运机构(4)，所述输送机构(3)、溶剂涂敷机构(5)、旋转机构(6)、磁力搅拌器(7)和加热机构(8)的一侧设置有第二搬运机构(9)，所述加热机构(8)和收料机构(10)的一侧设置有第三搬运机构(11)，其另一侧设置有翻面机构(12)；所述放料机构(2)和收料机构(10)用于储放晶圆(13)，所述输送机构(3)包括传输机(31)、支撑腿(32)、收料盒(33)、挡料杆(34)和挡料气缸(35)，传输机(31)固定在支撑腿(32)上，传输机(31)中段的外侧倾斜设置有收料盒(33)，所述挡料杆(34)和挡料气缸(35)相连接，挡料气缸(35)固定在传输机(31)上且与收料盒(33)相对；所述第一搬运机构(4)用于将晶圆(13)从放料机构(2)搬运到输送机构(3)上，所述第二搬运机构(9)用于将晶圆(13)从输送机构(3)搬运到旋转机构(6)上，再将晶圆(13)从旋转机构(6)搬运到加热机构(8)上，所述第三搬运机构(11)用于将晶圆(13)从加热机构(8)搬运到收料机构(10)上；溶剂涂敷机构(5)包括用于固定毛笔(511)的毛笔夹持头(510)，所述毛笔夹持头(510)固定在旋转升降机构上，所述旋转升降机构用于带动毛笔(511)到溶剂瓶(14)内蘸取扩散源，然后带动毛笔(511)移动到旋转机构(6)上方；所述旋转机构(6)包括涂源盘(61)、转盘(62)、第一同步带轮(63)、第二同步带轮(64)和第三电机(65)，所述转盘(62)同心设置在涂源盘(61)内，所述转盘(62)下端的安装轴转动安装在涂源盘(61)内，所述第一同步带轮(63)固定在涂源盘(61)的安装轴上，其通过同步带与第二同步带轮(64)传动连接，所述第二同步带轮(64)固定在第三电机(65)的电机轴上；所述翻面机构(12)包括第三直线模组(121)、旋转气缸(122)和第四安装板(123)，所述第三直线模组(121)的移动端上固定安装有旋转气缸(122)，所述旋转气缸(122)的输出端上固定安装有第四安装板(123)，所述第四安装板(123)上安装有一个晶圆夹持机构(15)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆涂源机，其特征在于：所述第一搬运机构(4)、第二搬运机构(9)和第三搬运机构(11)设置在机架(1)的中心处，所述放料机构(2)、输送机构(3)、溶剂涂敷机构(5)、旋转机构(6)、磁力搅拌器(7)、加热机构(8)和收料机构(10)设置有两组，其对称设置在所述第一搬运机构(4)、第二搬运机构(9)和第三搬运机构(11)的前后两侧。3.根据权利要求1所述的一种晶圆涂源机，其特征在于：所述放料机构(2)包括电动推杆(21)、固定板(22)、定位杆(23)和顶盘(26)，所述电动推杆(21)安装在固定板(22)的下方，其输出端从下到上穿过固定板(22...

【专利技术属性】
技术研发人员：高波，
申请(专利权)人：苏州康沃斯智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：