半导体清洗设备制造技术

本申请提供了一种半导体清洗设备，包括：机架；多个处理槽，多个处理槽位于机架内；门组件，设于机架上，与机架活动连接；连接机构，包括电磁铁组件和吸附组件，电磁铁组件和吸附组件分别设于机架和门组件上，连接机构用于使门组件相对于机架处于开启或闭合状态；提示装置，设于门组件上，用于提示门组件的实时状态。通过本申请的技术方案，门组件能够在机架上实现自锁和解锁，可以防止人为疏漏，并且方便维护工作。护工作。护工作。

【技术实现步骤摘要】
半导体清洗设备


[0001]本申请属于清洗设备
，具体而言，涉及一种半导体清洗设备。

技术介绍

[0002]在现有半导体晶圆槽式湿洗清洗设备中，门板的锁紧结构包括在门板上下加装手动锁紧扣，以及在门板中部加装连接机架的锁紧扣两种普遍类型。前者需要使用专用的工具(电柜钥匙)频繁手动开关，开关门板十分不便。后者不仅需要手动开关且维护不方便。湿洗清洗设备中的溶液存在一定毒性，有时因个人疏忽未紧缩门扣还会导致损害工作人员的生命健康。湿洗清洗设备对于环境洁净度要求很高，所以工作过程必须与外界隔离，如果在门未关闭的状态下启动设备会导致有害气体逸出，门板未锁紧也可能对工艺效果产生较大的影响。

技术实现思路

[0003]本申请旨在解决上述技术问题的至少之一。
[0004]有鉴于此，本申请的一个目的在于提供一种半导体清洗设备。
[0005]为了实现上述目的，本申请的技术方案提供了一种半导体清洗设备，包括：机架；多个处理槽，多个处理槽位于机架内；门组件，设于机架上，与机架活动连接；连接机构，包括电磁铁组件和吸附组件，电磁铁组件和吸附组件分别设于机架和门组件上，连接机构用于使门组件相对于机架处于开启或闭合状态；提示装置，设于门组件上，用于提示门组件的实时状态。
[0006]根据本申请提供的半导体清洗设备，包括机架、多个处理槽、门组件、连接机构和提示装置。连接机构包括电磁铁组件和吸附组件。多个处理槽位于机架内，门组件设置在机架上，能够阻隔处理槽中的溶液气体渗透到机架外部。具体地，连接机构包括电磁铁组件和吸附组件，电磁铁组件和吸附组件分别设于机架和门组件上，通过吸附组件被电磁铁组件吸附，从而实现门组件开启或关闭，无需使用专用的工具手动开关，开关方便，维护简单。提示装置设于门组件上，能够提示门组件的实时状态，从而防止人为疏漏，避免在门未关闭的状态下启动设备，导致有害气体逸出。
[0007]另外，本申请提供的技术方案还可以具有如下附加技术特征：
[0008]上述技术方案中，半导体清洗设备还包括：工控机，与电磁铁组件相连，工控机用于调节电磁铁组件的通电电流。
[0009]在该技术方案中，半导体清洗设备还包括工控机，工控机与电磁铁组件相连，电磁铁组件通电后吸附组件被电磁铁组件吸附可以锁紧门组件，同时通过工控机调节电磁铁组件的电流后产生强磁力可以达到自锁和解锁的目的，防止人为疏漏，且方便维护工作。
[0010]上述技术方案中，电磁铁组件通电并与吸附组件接触时，门组件相对于机架处于关闭状态；电磁铁组件与吸附组件无接触时，门组件相对于机架处于开启状态。
[0011]在该技术方案中，由于电磁铁组件和吸附组件分别设于机架和门组件上，电磁铁
组件通电并与吸附组件接触时，可以锁紧门组件，门组件相对于机架处于关闭状态。电磁铁组件与吸附组件无接触时，可以轻松拉开门组件，门组件相对于机架处于开启状态。
[0012]上述技术方案中，提示装置与工控机电连接，工控机还用于控制提示装置的启闭；提示装置包括：第一传感器和第二传感器，第一传感器用于发出信号，第二传感器用于接收第一传感器发出的信号，第一传感器和第二传感器用于配合检测门组件是否关闭。
[0013]在该技术方案中，提示装置与工控机电连接，工控机用于根据门组件是否关闭来控制提示装置的启闭，提示装置包括第一传感器和第二传感器，通过第一传感器和第二传感器，可以检测门组件是否关闭。具体地，第一传感器发出信号，第二传感器接收到第一传感器发出的信号，可以证明门组件关闭，第二传感器未接收到第一传感器发出的信号时，证明门组件未关闭。其中，第一传感器和第二传感器可以是对射电眼。
[0014]上述技术方案中，第一传感器设于门组件上，第二传感器设于机架上；或第一传感器设于机架上，第二传感器设于门组件上。
[0015]在该技术方案中，第一传感器可以设在门组件上，第二传感器可以设在机架上，或是第一传感器设在机架上，第二传感器设在门组件上，都可以检测门组件是否关闭。
[0016]上述技术方案中，提示装置还包括：灯带，灯带设于门组件上，第二传感器没有接收第一传感器发出的信号时，灯带亮起，第二传感器接收到第一传感器发出的信号时，灯带关闭。
[0017]在该技术方案中，提示装置还包括灯带。灯带设于门组件上，在第二传感器没有接收第一传感器发出的信号时，灯带亮起，提示门组件没有关闭，吸附组件与电磁铁组件接触时，第二传感器接收到第一传感器发出的信号，灯带关闭，说明在半导体清洗设备启动状态下门组件都已关闭，易于观察，方便处理异常。
[0018]上述技术方案中，门组件上设有透光窗。
[0019]在该技术方案中，门组件上设有透光窗，用于透过灯带亮光。通过透光窗便于观察设备内部工作状态，在灯带亮灯时，工作人员可以通过透光窗看到灯带的亮灯情况，并且通过透光窗的扩散，灯光会变得明显且不刺眼，便于操作人员第一时间发现意外情况，方便工作人员处理异常。其中，透光窗可以为透明塑料门窗。
[0020]上述技术方案中，半导体清洗设备还包括：开启按钮，设于机架上，并与工控机相连，开启按钮用于控制电磁铁组件的通电电流至预设值。
[0021]在该技术方案中，半导体清洗设备还包括开启按钮，开启按钮设于机架上，用于控制多个门组件开启或关闭。当开启按钮按下后并不是直接切断电流，而是将电磁铁组件的通电电流相应调小，调到门组件处于可以用手直接拉开的状态。通电电流预设值分别指的是能够用手拉开状态的电流大小与吸附组件自锁的电流大小。开启按钮弹起后，工控机会将电磁铁组件的通电电流增大，电磁铁组件能够增加磁力使吸附组件完全吸附，从而锁住门组件。
[0022]上述技术方案中，门组件的数量为多个，至少一个门组件包括第一门板和第二门板，第一门板和第二门板分别与机架可活动地连接，第一门板和第二门板上均至少设有一个吸附组件，每个电磁铁组件匹配一个吸附组件。
[0023]在该技术方案中，门组件的数量为多个，便于人员处理多个处理槽。其中至少一个门组件包括第一门板和第二门板，第一门板和第二门板分别与机架可活动地连接，通过在
第一门板和第二门板上设置吸附组件，每个电磁铁组件匹配一个吸附组件，可以实现门组件的开启和关闭。
[0024]根据本申请的实施例的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过根本申请的实施例的实践了解到。
附图说明
[0025]本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0026]图1是根据本申请的一个实施例的门板结构的后视结构示意图；
[0027]图2是根据本申请的一个实施例的门板结构的主视结构示意图；
[0028]图3是根据本申请的一个实施例的半导体清洗设备的主视结构示意图；
[0029]图4是图3中A
‑
A处的剖视结构示意图；
[0030]图5是根据本申请的一个实施例的半导体清洗设备的立体结构示意本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体清洗设备，其特征在于，包括：机架(110)；多个处理槽(100)，多个所述处理槽(100)位于所述机架(110)内；门组件(220)，设于所述机架(110)上，与所述机架活动连接；连接机构，包括电磁铁组件(210)和吸附组件，所述电磁铁组件(210)和所述吸附组件分别设于所述机架(110)和所述门组件(220)上，所述连接机构用于使所述门组件(220)相对于所述机架(110)处于开启或闭合状态；提示装置，设于所述门组件(220)上，用于提示所述门组件(220)的实时状态。2.根据权利要求1所述的半导体清洗设备，其特征在于，所述半导体清洗设备还包括：工控机，与所述电磁铁组件(210)相连，所述工控机用于调节所述电磁铁组件(210)的通电电流。3.根据权利要求2所述的半导体清洗设备，其特征在于，所述电磁铁组件(210)通电并与所述吸附组件接触时，所述门组件(220)相对于所述机架处于关闭状态；所述电磁铁组件(210)与所述吸附组件无接触时，所述门组件(220)相对于所述机架处于开启状态。4.根据权利要求3所述的半导体清洗设备，其特征在于，所述提示装置与所述工控机电连接，所述工控机还用于控制所述提示装置的启闭；所述提示装置包括：第一传感器和第二传感器，所述第一传感器用于发出信号，所述第二传感器用于接收所述第一传感器发出的所述信号，所述第一传感器和...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，龚泽熙，庄海云，李雄朋，
申请(专利权)人：创微微电子常州有限公司，
类型：新型
国别省市：