本实用新型专利技术公开了一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉，包括箱体，所述箱体顶部的左端固定连接有过滤箱，所述过滤箱内腔的左侧固定连接有进气罩，所述过滤箱的内腔从左向右依次固定连接有HEPA过滤网和活性炭过滤网以及脱脂棉滤网，所述箱体左侧的上端设置有预加热箱，所述预加热箱内腔顶部的左右两端均固定连接有拉杆，所述拉杆的底部固定连接有排气罩。本实用新型专利技术通过过滤箱、风机、进气罩、脱脂棉滤网、活性炭过滤网、HEPA过滤网、排气罩、预加热箱和输送座的作用，解决了现有的扩散炉每次投放加工材料后，需要进行重复加热，进而延长了其加工时长，从而降低了其工作效率，同时，不具备烟气净化功能的问题。不具备烟气净化功能的问题。不具备烟气净化功能的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉
[0001]本技术涉及扩散炉
，具体为一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉。
技术介绍
[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，但现有的扩散炉每次投放加工材料后，需要进行重复加热，进而延长了其加工时长，从而降低了其工作效率，同时，不具备烟气净化功能，为此，我们提出一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉，具备工作高效和烟气净化功能的优点，解决了现有的扩散炉每次投放加工材料后，需要进行重复加热，进而延长了其加工时长，从而降低了其工作效率，同时，不具备烟气净化功能的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉，包括箱体，所述箱体顶部的左端固定连接有过滤箱，所述过滤箱内腔的左侧固定连接有进气罩，所述过滤箱的内腔从左向右依次固定连接有HEPA过滤网和活性炭过滤网以及脱脂棉滤网，所述箱体左侧的上端设置有预加热箱，所述预加热箱内腔顶部的左右两端均固定连接有拉杆，所述拉杆的底部固定连接有排气罩，所述预加热箱内腔底部的左右两端均固定连接有支撑杆，所述支撑杆的顶部固定连接有输送座，所述过滤箱的左侧固定安装有风机。
[0005]优选的，所述箱体正表面的左端固定安装有控制箱，且控制箱的顶部设置有显示屏和控制键。
[0006]优选的，所述箱体正表面的上端通过合页活动连接有维修门，且维修门的一端固定安装有拉手。
[0007]优选的，所述预加热箱的左侧通过合页活动连接有密封门，所述预加热箱的左侧开设有槽口。
[0008]优选的，所述箱体内腔的上端设置有扩散炉管，所述扩散炉管的顶部连通有烟气管，且烟气管的上端和过滤箱的底部连通。
[0009]优选的，所述风机的进风端通过管道和进气罩的左侧连通，所述风机的出风端通过管道和排气罩顶部的中端连通。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0011]本技术通过过滤箱的作用，且在本扩散炉工作时，由控制箱打开风机后，风机能够通过管道经进气罩吸入过滤箱内的气体，且在气体流动时，能够经烟气管引入扩散炉管内的有害气体进入过滤箱内，且在有害气体穿过脱脂棉滤网和活性炭过滤网以及HEPA过
滤网后，实现对有害气体多级过滤净化的能力，而净化的气体经进气罩被风机吸入后转送到排气罩内均匀排出，进而能够对预加热箱内输送座顶部放置的待加工材料实现预先加热的能力，进而降低了进入扩散炉管后的加热时长，从而提高了本扩散炉的工作效率，解决了现有的扩散炉每次投放加工材料后，需要进行重复加热，进而延长了其加工时长，从而降低了其工作效率，同时，不具备烟气净化功能的问题。
附图说明
[0012]图1为本技术结构示意图；
[0013]图2为本技术过滤箱剖视结构示意图；
[0014]图3为本技术箱体主视状态下部分剖视结构示意图。
[0015]图中：1、箱体；2、控制箱；3、预加热箱；4、密封门；5、风机；6、过滤箱；7、烟气管；8、维修门；9、进气罩；10、HEPA过滤网；11、活性炭过滤网；12、脱脂棉滤网；13、槽口；14、拉杆；15、排气罩；16、输送座；17、支撑杆；18、扩散炉管。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]在申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0018]本技术的箱体1、控制箱2、预加热箱3、密封门4、风机5、过滤箱6、烟气管7、维修门8、进气罩9、HEPA过滤网10、活性炭过滤网11、脱脂棉滤网12、槽口13、拉杆14、排气罩15、输送座16、支撑杆17和扩散炉管18部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
[0019]请参阅图1
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3，一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉，包括箱体1，箱体1正表面的左端固定安装有控制箱2，且控制箱2的顶部设置有显示屏和控制键，箱体1正表面的上端通过合页活动连接有维修门8，且维修门8的一端固定安装有拉手，箱体1顶部的左端固定连接有过滤箱6，过滤箱6内腔的左侧固定连接有进气罩9，过滤箱6的内腔从左向右依次固定连接有HEPA过滤网10和活性炭过滤网11以及脱脂棉滤网12，箱体1左侧的上端设置有预加热箱3，预加热箱3的左侧通过合页活动连接有密封门4，预加热箱3的左侧开设有槽口13，预加热箱3内腔顶部的左右两端均固定连接有拉杆14，拉杆14的底部固定连接有排气罩15，预加热箱3内腔底部的左右两端均固定连接有支撑杆17，支撑杆17的顶部固定连接有输送座16，箱体1内腔的上端设置有扩散炉管18，扩散炉管18的顶部连通有烟气管7，且烟气管7的上端和过滤箱6的底部连通，过滤箱6的左侧固定安装有风机5，风机5的进风端通过管道和进气罩9的左侧连通，风机5的出风端通过管道和排气罩15顶部的中端连通，通过过滤箱6
的作用，且在本扩散炉工作时，由控制箱2打开风机5后，风机5能够通过管道经进气罩9吸入过滤箱6内的气体，且在气体流动时，能够经烟气管7引入扩散炉管18内的有害气体进入过滤箱6内，且在有害气体穿过脱脂棉滤网12和活性炭过滤网11以及HEPA过滤网10后，实现对有害气体多级过滤净化的能力，而净化的气体经进气罩9被风机5吸入后转送到排气罩15内均匀排出，进而能够对预加热箱3内输送座16顶部放置的待加工材料实现预先加热的能力，进而降低了进入扩散炉管18后的加热时长，从而提高了本扩散炉的工作效率。
[0020]使用时，通过过滤箱6的作用，且在本扩散炉工作时，由控制箱2打开风机5后，风机5能够通过管道经进气罩9吸入过滤箱6内的气体，且在气体流动时，能够经烟气管7引入扩散炉管18内的有害气体进入过滤箱6内，且在有害气体穿过脱脂棉滤网12和活性炭过滤网11以及HEPA过滤网10后，实现对有害气体多级过滤净化的能力，而净化的气体经进气罩9被风机5吸入后转送到排气罩15内均匀排出，进而能够对预加热箱3内输送座16顶部放置的待加工材料实现预先加热本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）顶部的左端固定连接有过滤箱（6），所述过滤箱（6）内腔的左侧固定连接有进气罩（9），所述过滤箱（6）的内腔从左向右依次固定连接有HEPA过滤网（10）和活性炭过滤网（11）以及脱脂棉滤网（12），所述箱体（1）左侧的上端设置有预加热箱（3），所述预加热箱（3）内腔顶部的左右两端均固定连接有拉杆（14），所述拉杆（14）的底部固定连接有排气罩（15），所述预加热箱（3）内腔底部的左右两端均固定连接有支撑杆（17），所述支撑杆（17）的顶部固定连接有输送座（16），所述过滤箱（6）的左侧固定安装有风机（5）。2.根据权利要求1所述的一种工作高效且具备烟气净化功能的扩散炉，其特征在于：所述箱体（1）正表面的左端固定安装有控制箱（2），且控制箱（2）的顶部设置有显示屏和控制键。3...
【专利技术属性】
技术研发人员：高毛毛，
申请(专利权)人：上海天冶建设集团有限公司，
类型：新型
国别省市：
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