温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供了一种半导体清洗设备，包括：机架；多个处理槽，多个处理槽位于机架内；门组件，设于机架上，与机架活动连接；连接机构，包括电磁铁组件和吸附组件，电磁铁组件和吸附组件分别设于机架和门组件上，连接机构用于使门组件相对于机架处于开启或闭合状...
该专利属于创微微电子（常州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过创微微电子（常州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。