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本发明公开了一种晶圆涂源机，其包括机架，机架的上方从左到右依次设置有放料机构、输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器、加热机构和收料机构，磁力搅拌器上放置有用于盛放扩散源的溶剂瓶，机架上还设有第一搬运机构、第二搬运机构和第三搬运机构，...
该专利属于苏州康沃斯智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州康沃斯智能装备有限公司授权不得商用。

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