【技术实现步骤摘要】
一种自动打码插片机
[0001]本专利技术涉及晶圆收篮
，具体为一种自动打码插片机。
技术介绍
[0002]晶圆打标记是半导体制造过程中不可缺少的一步，其目的主要是为了标记晶圆ID或者添加公司标志。打标机广泛应用于IC行业的集成电路的表面打标。根据使用要求的不同，IC行业使用的集成电路板有料条、芯片和晶圆三种形式。
[0003]现有技术中，需要人工将晶圆放置到打标机的机台上进行打标，等待打标完成后，再人工取下对晶圆进行收篮，打标和收篮在两个机台上进行，晶圆在打标过程中的上下料以及最后的收篮均是采用人工进行，不仅用工数量多，人工成本高，而且打标上下料和装篮操作费时费力，长时间的分拣操作易造成作业人员疲劳，将低装篮效率，同时也浪费了时间。此外，人工搬运以及对晶圆的收篮过程中，容易发生晶圆与工装碰撞、晶圆与晶圆之间碰撞，从而使晶圆产生缺角或破片的情况，会导致碎片率上升，影响半导体晶圆的生产良率，因为针对人工打标的人工上下料以及人工装篮造成晶圆的生产效率和合格率下降，本专利技术提供一种自动打码插片机。
专利技术...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种自动打码插片机，其包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)的上方设置有放料机构(2)、输送机构(3)、搬运机构(4)、装篮组件(5)和打标机(9)，所述输送机构(3)包括传输机(31)、支撑腿(32)、收料盒(33)、挡料杆(34)、挡料气缸(35)、第一电机(36)、推料气缸(37)和推料块(38)，传输机(31)固定在支撑腿(32)上且通过第一电机(36)驱动，传输机(31)中段的外侧倾斜设置有收料盒(33)，挡料气缸(35)与两个挡料杆(34)和相连接，一个所述挡料杆(34)用于分离相叠的两个以上晶圆(7)，一个用于对晶圆(7)定位，挡料气缸(35)固定在支撑腿(32)上且与收料盒(33)相对，推料气缸(37)和推料块(38)设置在传输机(31)传输终点的上方，所述推料块(38)固定在推料气缸(37)的活塞杆上；所述装篮组件(5)包括圆形的旋转台(51)、篮具组件(52)、调节槽(53)和分度盘(54)，所述旋转台(51)下端的圆心处固定在分度盘(54)的输出端，其上端放置有若干个成圆形阵列分布的篮具组件(52)，所述旋转台(51)上还开设有与篮具组件(52)数量相同的调节槽(53)，所述调节槽(53)设置在篮具组件(52)的下方；所述旋转台(51)的下方还设置有篮具顶升模组(8)，篮具顶升模组(8)用于调节篮具组件(52)的高度；所述放料机构(2)用于储放晶圆(7)，其设置在传输机(31)传输起点的一侧，打标机(9)设置在传输机(31)的另一侧，所述搬运机构(4)用于将晶圆(7)从放料机构(2)搬运到传输机(31)的传输起点上，所述传输机(31)将晶圆(7)输送到传输机(31)的中部时，通过所述打标机(9)对晶圆(7)进行打标，打标结束后，所述传输机(31)将晶圆(7)输送到传输终点并通过推料气缸(37)、推料块(38)以及篮具顶升模组(8)将晶圆(7)放入篮具组件(52)内。2.根据权利要求1所述的一种自动打码插片机，其特征在于：所述篮具顶升模组(8)包括第一安装板(81)、第二安装板(82)、固定杆(83)、第二电机(84)、螺杆(85)、螺纹座(86)、顶升杆(87)、顶升块(88)和电磁铁(89)，第二安装板(82)和第一安装板(81)上下平行设置，其之间通过固定杆(83)相连接，所述第一安装板(81)的下端固定安装有第二电机(84...
【专利技术属性】
技术研发人员：高波，
申请(专利权)人：苏州康沃斯智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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