一种晶圆加热涂源机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆加热涂源机，其包括机架，机架的上方从左到右依次设置有放料机构、输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器、加热机构和收料机构，磁力搅拌器上放置有用于盛放扩散源的溶剂瓶，放料机构、输送机构的一侧设置有第一搬运机构，输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器和加热机构的一侧设置有第二搬运机构，加热机构的右末端和收料机构的一侧设置有第三搬运机构，其另一侧设置有翻面机构；本实用新型专利技术通过实现了晶圆的自动涂源，通过加热机构的设置实现了晶圆涂源后的完全烘干和冷却，保证了产品质量，再通过第三搬运机构和翻面机构，实现对晶圆的自动摆放避免了人工搬运，提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。

A wafer heating source coating machine

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆加热涂源机


[0001]本技术涉及晶圆生产设备
，具体为一种晶圆加热涂源机。

技术介绍

[0002]在半导体制程中，晶圆需通过多种机台的加工制程，半导体晶圆的生产过程中需要在硼扩生产前进行空面涂源，对已清洗好的晶圆硼扩前需要进行涂源、烘烤、收片等操作，目前涂源主要是工人利用毛笔蘸取扩散源，然后在晶圆上涂满，人工使用毛笔涂源影响硼源在晶圆表面的均匀性，生产效率低，且质量不可控；现有技术中，晶圆涂源机上设有烘干模块，但是在晶圆的连续生产过程中，单个的烘干模块难以将晶圆完全烘干，同时烘干后需要对晶圆进行冷却收片，现有的晶圆涂源机难以在一台设备上对晶圆实现完全烘干的同时对晶圆进行冷却和收片，影响晶圆的质量。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种晶圆加热涂源机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种晶圆加热涂源机，其包括机架，机架的上方设置有防护罩，机架由从左到右依次相连接的第一支撑台、第二支撑台和第三支撑台组成；
[0006]机架的上方从左到右依次设置有放料机构、输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器、加热机构和收料机构，磁力搅拌器上放置有用于盛放扩散源的溶剂瓶，放料机构、输送机构的一侧设置有第一搬运机构，输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器和加热机构的一侧设置有第二搬运机构，加热机构的右末端和收料机构的一侧设置有第三搬运机构，其另一侧设置有翻面机构；
[0007]放料机构、输送机构、第一搬运机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器和第二搬运机构设置在第一支撑台上，加热机构设置在第二支撑台上，收料机构、第三搬运机构和翻面机构设置在第三支撑台上；
[0008]放料机构和收料机构用于储放晶圆，输送机构包括传输机、支撑腿、收料盒、挡料杆和挡料气缸，传输机固定在支撑腿上，传输机中段的外侧倾斜设置有收料盒，挡料杆和挡料气缸相连接，挡料杆和挡料气缸固定在传输机上且与收料盒相对；
[0009]第一搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到输送机构上，第二搬运机构用于将晶圆从输送机构搬运到旋转机构上，再将晶圆从旋转机构搬运到加热机构上，第三搬运机构用于将晶圆从加热机构搬运到收料机构上；
[0010]溶剂涂敷机构包括用于固定毛笔的毛笔夹持头，毛笔夹持头固定在旋转升降机构上，旋转升降机构用于带动毛笔到溶剂瓶内蘸取扩散源，然后带动毛笔移动到旋转机构上方；
[0011]旋转机构包括涂源盘、转盘、第一同步带轮、第二同步带轮和第三电机，转盘同心
设置在涂源盘内，转盘下端的安装轴转动安装在涂源盘内，第一同步带轮固定在涂源盘的安装轴上，其通过同步带与第二同步带轮传动连接，第二同步带轮固定在第三电机的电机轴上；
[0012]加热机构包括安装型材、加热台、冷却台、接料杆、凹槽、第二气缸、连接脚、滑轨、导向块、连接块和第三气缸，若干个加热台等距离设置在安装型材的上端，安装型材的上端还等距离设置有若干个冷却台，冷却台设置在加热台的右端，加热台和冷却台的结构相同，其上均开设有凹槽，凹槽用于放置晶圆以及接料杆，接料杆平行设置有两根，两根接料杆的左右两端分别固定在连接块上，连接块分别固定在第三气缸的输出端上端，安装型材的下端固定安装有滑轨，滑轨左右滑动安装在导向块内，导向块和第二气缸固定在第二支撑台上，第二气缸的活塞杆通过连接脚与安装型材固定连接。
[0013]优选的，第一搬运机构、第二搬运机构和第三搬运机构设置在机架的中心处，放料机构、输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构、磁力搅拌器、加热机构和收料机构设置有两组，其对称设置在第一搬运机构、第二搬运机构和第三搬运机构的前后两侧。
[0014]优选的，放料机构包括第四电机、放置板、固定板、安装杆、气嘴、定位杆、顶盘、丝杆和顶柱，固定板固定在第一支撑台上，放置板平行设置在固定板的上方，固定板的下端固定安装有第四电机，第四电机的电机轴与丝杆相连接，两根顶柱分别平行设置在丝杆的两侧，其下端均固定安装在调节板上，调节板的中心处开设有与丝杆相配合的螺孔，两根顶柱上下滑动安装在固定板上，其上端固定在顶盘的下端，顶盘设置在放置板的中心，顶盘的上端用于堆放晶圆，放置板的上端固定安装有若干根成圆形阵列分布的定位杆，其上端还上还对称固定有两个安装杆，安装杆的上方固定有气嘴。
[0015]优选的，收料机构和放料机构的结构相同。
[0016]优选的，第一搬运机构包括安装盒、导轨、第一气缸、吸盘安装座和吸盘、，导轨设置在安装盒内，第一气缸固定在安装盒的外侧，其活塞杆伸入安装盒内且与滑块固定相连，滑块左右滑动安装在导轨上，滑块的外侧固定有吸盘安装座，吸盘安装座的下端固定安装有用于吸附晶圆的吸盘。
[0017]优选的，旋转升降机构包括固定在机架上的第一安装板，第一安装板上转动安装有螺纹套筒，螺纹套筒内通过螺纹安装有螺杆，螺杆上安装有第一带轮，第一带轮通过皮带与第二带轮传动连接，第二带轮固定在第一电机的电机轴上，螺纹套筒的下端与第三带轮固定连接，第三带轮通过皮带与第四带轮传动连接，第四带轮固定在第二电机的电机轴上，第一电机和第二电机都固定在第一安装板上。
[0018]优选的，翻面机构包括第三直线模组、旋转气缸和第四安装板，第三直线模组的移动端上固定安装有旋转气缸，旋转气缸的输出端上固定安装有第四安装板，第四安装板上安装有一个晶圆夹持机构。
[0019]优选的，第二搬运机构包括第一直线模组、移动块、第四气缸和第二安装板，第一直线模组的输出端上固定安装有移动块，第四气缸固定在移动块的外侧，其输出端与第二安装板固定连接，第二安装板下端的左右两端分别安装有一个晶圆夹持机构。
[0020]优选的，第三搬运机构包括第二直线模组、第五气缸和第三安装板，第五气缸固定安装在第二直线模组的移动端上，其输出端上固定安装有第三安装板，第三安装板的下端安装有一个晶圆夹持机构。
[0021]优选的，晶圆夹持机构包括双头气缸、第五安装板和夹杆，双头气缸的两个输出端上分别安装有一个第五安装板，第五安装板的下端对称安装有两个夹杆。
[0022]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0023]本技术通过输送机构、溶剂涂敷机构、旋转机构和磁力搅拌器的设置实现了晶圆的自动涂源，通过加热机构的设置实现了晶圆涂源后的完全烘干和冷却，保证了产品质量，再通过第三搬运机构和翻面机构实现对晶圆的自动摆放，提高效率的同时，避免了人工搬运，降低工作人员工作量，同时提高了生产效率。
附图说明
[0024]图1为本技术的整体结构示意图；
[0025]图2为本技术的内部结构示意图；
[0026]图3为本技术的内部结构俯视示意图；
[0027]图4为本技术第一支撑台上方的机构结构示意图；
[0028]图5为本技术的放料机构结构示意图；
[0029]图6为本技术的输送机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆加热涂源机，其包括机架(1)，机架(1)的上方设置有防护罩(16)，所述机架(1)由从左到右依次相连接的第一支撑台(101)、第二支撑台(102)和第三支撑台(103)组成，其特征在于：所述机架(1)的上方从左到右依次设置有放料机构(2)、输送机构(3)、溶剂涂敷机构(5)、旋转机构(6)、磁力搅拌器(7)、加热机构(8)和收料机构(10)，所述磁力搅拌器(7)上放置有用于盛放扩散源的溶剂瓶(14)，所述放料机构(2)、输送机构(3)的一侧设置有第一搬运机构(4)，所述输送机构(3)、溶剂涂敷机构(5)、旋转机构(6)、磁力搅拌器(7)和加热机构(8)的一侧设置有第二搬运机构(9)，所述加热机构(8)的右末端和收料机构(10)的一侧设置有第三搬运机构(11)，其另一侧设置有翻面机构(12)；所述放料机构(2)、输送机构(3)、第一搬运机构(4)、溶剂涂敷机构(5)、旋转机构(6)、磁力搅拌器(7)和第二搬运机构(9)设置在第一支撑台(101)上，所述加热机构(8)设置在第二支撑台(102)上，所述收料机构(10)、第三搬运机构(11)和翻面机构(12)设置在第三支撑台(103)上；所述放料机构(2)和收料机构(10)用于储放晶圆(13)，所述输送机构(3)包括传输机(31)、支撑腿(32)、收料盒(33)、挡料杆(34)和挡料气缸(35)，传输机(31)固定在支撑腿(32)上，传输机(31)中段的外侧倾斜设置有收料盒(33)，所述挡料杆(34)和挡料气缸(35)相连接，挡料杆(34)和挡料气缸(35)固定在传输机(31)上且与收料盒(33)相对；所述第一搬运机构(4)用于将晶圆(13)从放料机构(2)搬运到输送机构(3)上，所述第二搬运机构(9)用于将晶圆(13)从输送机构(3)搬运到旋转机构(6)上，再将晶圆(13)从旋转机构(6)搬运到加热机构(8)上，所述第三搬运机构(11)用于将晶圆(13)从加热机构(8)搬运到收料机构(10)上；溶剂涂敷机构(5)包括用于固定毛笔(511)的毛笔夹持头(510)，所述毛笔夹持头(510)固定在旋转升降机构上，所述旋转升降机构用于带动毛笔(511)到溶剂瓶(14)内蘸取扩散源，然后带动毛笔(511)移动到旋转机构(6)上方；所述旋转机构(6)包括涂源盘(61)、转盘(62)、第一同步带轮(63)、第二同步带轮(64)和第三电机(65)，所述转盘(62)同心设置在涂源盘(61)内，所述转盘(62)下端的安装轴转动安装在涂源盘(61)内，所述第一同步带轮(63)固定在涂源盘(61)的安装轴上，其通过同步带与第二同步带轮(64)传动连接，所述第二同步带轮(64)固定在第三电机(65)的电机轴上；所述加热机构(8)包括安装型材(801)、加热台(802)、冷却台(803)、接料杆(804)、凹槽(805)、第二气缸(806)、连接脚(807)、滑轨(808)、导向块(809)、连接块(810)和第三气缸(811)，若干个所述加热台(802)等距离设置在安装型材(801)的上端，所述安装型材(801)的上端还等距离设置有若干个冷却台(803)，所述冷却台(803)设置在加热台(802)的右端，所述加热台(802)和冷却台(803)的结构相同，其上均开设有凹槽(805)，所述凹槽(805)用于放置晶圆(13)以及接料杆(804)，所述接料杆(804)平行设置有两根，两根所述接料杆(804)的左右两端分别固定在连接块(810)上，所述连接块(810)固定在第三气缸(811)的输出端上端，所述安装型材(801)的下端固定安装有滑轨(808)，所述滑轨(808)左右滑动安装在导向块(809)内，导向块(809)和第二气缸(806)固定在第二支撑台(102) 上，所述第二气缸(806)的活塞杆通过连接脚(807)与安装型材(801)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆加热涂源机，其特征在于：所述第一搬运机构(4)、第二搬运机构(9)和第三搬运机构(11)设置在机架(1)的中心处，所述放料机构(2)、输送机构(3)、溶剂涂敷机构(5)、旋转机构(6)、磁力搅拌器(7)、加热机构(8)和收料机构(10)设置有两组，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：高波，
申请(专利权)人：苏州康沃斯智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：