一种单轨硅片收篮机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单轨硅片收篮机，其包括机架，机架的上方设置有放料机构、输送机构、搬运机构和装篮组件，放料机构用于储放晶圆，其设置在传输机传输起点的一侧，搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到传输机的传输起点上，传输机将晶圆输送到传输终点并通过推料气缸、推料块以及篮具顶升模组将晶圆放入装篮组件内。本实用新型专利技术通过放料机构、输送机构、搬运机构、装篮组件和篮具顶升模组的设置实现了自动对晶圆的分片收篮，降低了用工数量，节约了用工成本，大大的提高工作效率，晶圆收篮产能达到了1000

A monorail silicon wafer basket collector

【技术实现步骤摘要】
一种单轨硅片收篮机


[0001]本技术涉及晶圆收篮
，具体为一种单轨硅片收篮机。

技术介绍

[0002]晶圆在涂源完成需要进行分片收篮，需要将原盛装篮中的硅片装入另外的适用于分片设备的篮具内，现有技术中，晶圆的分片、收篮均是采用人工进行，人工搬运、分片以及对晶圆的收篮过程中，容易发生晶圆与工装碰撞、晶圆与晶圆之间碰撞，从而使晶圆产生缺角或破片的情况，会导致碎片率上升，影响半导体晶圆的生产良率；在人工进行重装的过程中，不仅用工数量多，人工成本高，而且装篮操作费时费力，长时间的分拣操作，易造成作业人员疲劳，同时也浪费时间，装篮效率低，造成硅片的生产效率和合格率下降。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种单轨硅片收篮机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种单轨硅片收篮机，其包括机架，机架的上方设置有放料机构、输送机构、搬运机构和装篮组件，输送机构包括传输机、支撑腿、收料盒、挡料杆、挡料气缸、第一电机、推料气缸和推料块，传输机固定在支撑腿上且通过第一电机驱动，传输机中段的外侧倾斜设置有收料盒，挡料杆和挡料气缸相连接，挡料气缸固定在支撑腿上且与收料盒相对，推料气缸和推料块设置在传输机传输终点的上方，推料块固定在推料气缸的活塞杆上；
[0006]装篮组件包括圆形的旋转台、篮具组件、调节槽和分度盘，旋转台下端的圆心处固定在分度盘的输出端，其上端放置有若干个成圆形阵列分布的篮具组件，旋转台上还开设有与篮具组件数量相同的调节槽，调节槽设置在篮具组件的下方；
[0007]旋转台的下方还设置有篮具顶升模组，篮具顶升模组用于调节篮具组件的高度；
[0008]放料机构用于储放晶圆，其设置在传输机传输起点的一侧，搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到传输机的传输起点上，传输机将晶圆输送到传输终点并通过推料气缸、推料块以及篮具顶升模组将晶圆放入篮具组件内。
[0009]优选的，篮具顶升模组包括第一安装板、第二安装板、固定杆、第二电机、螺杆、螺纹座、顶升杆、顶升块和电磁铁，第二安装板和第一安装板上下平行设置，其之间通过固定杆相连接，第一安装板的下端固定安装有第二电机，第二电机的电机轴伸出第一安装板且与螺杆固定连接，螺杆上安装有螺纹座，螺纹座上安装有两个顶升杆，两个顶升杆的上端伸出第二安装板且安装在顶升块的下端，顶升块的上端安装有电磁铁。
[0010]优选的，放料机构包括电动推杆、固定板、定位杆和顶盘，电动推杆安装在固定板的下方，其输出端从下到上穿过固定板且与顶盘固定相连，固定板固定在机架上，其上端固定安装有若干根成圆形阵列分布的定位杆，固定板上还对称固定有两个安装杆，安装杆的上方固定有气嘴。
[0011]优选的，搬运机构包括安装盒、导轨、第一气缸、第二气缸和吸盘，安装盒固定在支撑脚的上端，支撑脚固定在机架上，导轨设置在安装盒内，第一气缸固定在安装盒的外侧，其活塞杆伸入安装盒内且与滑块固定相连，滑块左右滑动安装在导轨上，滑块的外侧固定有第二气缸，滑块的运动路径上设置有缓冲器，第二气缸的活塞杆上固定安装有用于吸附晶圆的吸盘。
[0012]优选的，篮具组件包括篮具、篮具底座、吸附块，篮具上开设有若干个用于存放晶圆的放置槽，其下端可拆卸固定在篮具底座上，篮具底座的下端设置有能与电磁铁相吸的吸附块。
[0013]优选的，旋转台的外侧设置有防护座，防护座的中心处开设有与旋转台外径相同的圆槽。
[0014]优选的，篮具底座的下端还开设有定位孔，顶升块上设置有与定位孔相配合的定位凸起。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0016]1.本技术通过放料机构、输送机构、搬运机构、装篮组件和篮具顶升模组的设置实现了自动对晶圆的分片收篮，降低了用工数量，节约了用工成本，大大的提高工作效率，晶圆收篮产能达到了1000
‑
1200Pcs/H，装篮操作省时省力，同时叠片率小于1％，同时采用输送机构、搬运机构进行搬运装篮，减少了人工带来的误差，降低了碰撞的几率，碎片率小于3
‰
，也保证了收篮质量，适于推广应用。
附图说明
[0017]图1为本技术的整体结构示意图；
[0018]图2为本技术的整体结构俯视示意图；
[0019]图3为本技术的整体结构的后侧结构示意图；
[0020]图4为本技术的放料机构结构示意图；
[0021]图5为本技术的输送机构结构示意图；
[0022]图6为本技术的输送机构后侧结构示意图；
[0023]图7为本技术的搬运机构结构示意图；
[0024]图8为本技术的装篮组件和篮具顶升模组结构示意图；
[0025]图9为本技术的装篮组件结构示意图；
[0026]图10为本技术的篮具组件结构示意图；
[0027]图11为本技术的篮具顶升模组结构示意图。
[0028]图中：1机架、2放料机构、21电动推杆、22固定板、23定位杆、24安装杆、25气嘴、26顶盘、3输送机构、31传输机、32支撑腿、33收料盒、34 挡料杆、35挡料气缸、36第一电机、37推料气缸、38推料块、4搬运机构、 41安装盒、42导轨、43第一气缸、44第二气缸、45吸盘、46支撑脚、47缓冲器、5装篮组件、51旋转台、52篮具组件、521篮具、522放置槽、523篮具底座、524吸附块、525定位孔、53调节槽、54分度盘、6防护座、7晶圆、 8篮具顶升模组、81第一安装板、82第二安装板、83固定杆、84第二电机、 85螺杆、86螺纹座、87顶升杆、88顶升块、89电磁铁、810定位凸起。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]请参阅图1—11，本技术提供一种技术方案：
[0031]一种单轨硅片收篮机，其包括机架1，机架1的上方设置有放料机构2、输送机构3、搬运机构4和装篮组件5。
[0032]放料机构2用于储放晶圆7，其设置在传输机31传输起点的一侧，放料机构2包括电动推杆21、固定板22、定位杆23和顶盘26，电动推杆21安装在固定板22的下方，其输出端从下到上穿过固定板22且与顶盘26固定相连，固定板22固定在机架1上，其上端固定安装有若干根成圆形阵列分布的定位杆23，固定板22上还对称固定有两个安装杆24，安装杆24的上方固定有气嘴25。晶圆7放置在顶盘26上，通过四个定位杆23约束晶圆7的位置，通过气嘴25向最上方的晶圆7吹气，使吸盘45每次只吸取一个晶圆7，通过电动推杆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单轨硅片收篮机，其包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)的上方设置有放料机构(2)、输送机构(3)、搬运机构(4)和装篮组件(5)，所述输送机构(3)包括传输机(31)、支撑腿(32)、收料盒(33)、挡料杆(34)、挡料气缸(35)、第一电机(36)、推料气缸(37)和推料块(38)，传输机(31)固定在支撑腿(32)上且通过第一电机(36)驱动，传输机(31)中段的外侧倾斜设置有收料盒(33)，所述挡料杆(34)和挡料气缸(35)相连接，挡料气缸(35)固定在支撑腿(32)上且与收料盒(33)相对，推料气缸(37)和推料块(38)设置在传输机(31)传输终点的上方，所述推料块(38)固定在推料气缸(37)的活塞杆上；所述装篮组件(5)包括圆形的旋转台(51)、篮具组件(52)、调节槽(53)和分度盘(54)，所述旋转台(51)下端的圆心处固定在分度盘(54)的输出端，其上端放置有若干个成圆形阵列分布的篮具组件(52)，所述旋转台(51)上还开设有与篮具组件(52)数量相同的调节槽(53)，所述调节槽(53)设置在篮具组件(52)的下方；所述旋转台(51)的下方还设置有篮具顶升模组(8)，篮具顶升模组(8)用于调节篮具组件(52)的高度；所述放料机构(2)用于储放晶圆(7)，其设置在传输机(31)传输起点的一侧，所述搬运机构(4)用于将晶圆(7)从放料机构(2)搬运到传输机(31)的传输起点上，所述传输机(31)将晶圆(7)输送到传输终点并通过推料气缸(37)、推料块(38)以及篮具顶升模组(8)将晶圆(7)放入篮具组件(52)内。2.根据权利要求1所述的一种单轨硅片收篮机，其特征在于：所述篮具顶升模组(8)包括第一安装板(81)、第二安装板(82)、固定杆(83)、第二电机(84)、螺杆(85)、螺纹座(86)、顶升杆(87)、顶升块(88)和电磁铁(89)，第二安装板(82)和第一安装板(81)上下平行设置，其之间通过固定杆(83)相连接，所述第一安装板(81)的下端固定安装有第二电机(84)，所述第二电机(84)的电机轴伸出第一安装板(81)且与螺杆(85)固定连接，所述螺杆(85)上安装有螺纹座(86)，所述螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：高波，
申请(专利权)人：苏州康沃斯智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：