一种晶圆喷砂双供料机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆喷砂双供料机，其包括喷砂机，喷砂机包括喷砂机本体和履带输送机，喷砂机本体设置在履带输送机中部的上端，履带输送机的两端伸出喷砂机本体；喷砂机设置有两台，喷砂机分别设置在双供料机的左右两侧，双供料机包括工作台、双供料机构、搬运机构、输送机构和放料机械手；本实用新型专利技术通过双供料机构的设置，能同时向两个喷砂机供料，减少了上料的频率，通过搬运机构、输送机构和放料机械手能对晶圆自动进行搬运，提高了设备的自动化程度，避免了人工的搬运，大大提高晶圆喷砂的效率，通过气浮分离模组和输送机构的设置，减小了晶圆的叠片率，提高了晶圆喷砂上料的稳定性，保证了喷砂质量。保证了喷砂质量。保证了喷砂质量。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆喷砂双供料机


[0001]本技术涉及晶圆喷砂
，具体为一种晶圆喷砂双供料机。

技术介绍

[0002]晶圆在生产过程中，将硅锭切割成晶圆后部分晶圆可能需要进行喷砂处理，以利于晶圆的后续处理。喷砂机由于磨料对工件表面的冲击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，使工件表面的机械性能得到改善，因此提高了工件的抗疲劳性，增加了它和涂层之间的附着力，消除工件残余应力和提高基材表面硬度的作用。
[0003]现有的喷砂机在工作时出现无法进行自动上料操作的问题，需手动将需要喷砂的晶圆放入喷砂机内部的传输带上，人工上料耗费时间较长，导致喷砂机的效率低下；人工上料的过程中，容易发生晶圆与喷砂机碰撞、晶圆与晶圆之间碰撞，从而使晶圆产生缺角或破片的情况，会导致碎片率上升；此外，人工上料不稳定，不仅会产生叠片的问题，还产生摆放位置重叠的问题，导致喷砂不充分，影响半导体晶圆的生产良率；针对上述问题，我们提出一种晶圆喷砂双供料机。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆喷砂双供料机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种晶圆喷砂双供料机，其包括喷砂机，喷砂机包括喷砂机本体和履带输送机，喷砂机本体设置在履带输送机中部的上端，履带输送机的两端伸出喷砂机本体；
[0007]喷砂机设置有两台，喷砂机分别设置在双供料机的左右两侧，双供料机包括工作台、双供料机构、搬运机构、输送机构和放料机械手，双供料机构设置在工作台的前部，其包括结构相同的左供料机构和右供料机构，其用于储放晶圆，输送机构设置有两个且设置在工作台的中部，两个输送机构分别设置在左供料机构和右供料机构的后侧，搬运机构用于将晶圆从双供料机构内搬运到输送机构上，其设置有两个且分别设置在两个输送机构的外侧，输送机构上设置有用于检测单双片的传感器，当输送机构上的晶圆为单片时，通过放料机械手将晶圆搬运到履带输送机上，放料机械手左右对称设置有两个，其分别设置在两个输送机构的后侧。
[0008]优选的，左供料机构包括第一安装板、顶升机构、顶盘、顶升杆、定位座和定位杆，顶升机构固定在第一安装板的下方，其输出端与顶升杆固定连接，顶升杆的上端固定安装有顶盘，第一安装板的上方设置有定位座，定位座上成环形阵列设置有若干个定位杆，定位座的中心处开设有用于通过顶盘的避让孔，晶圆放置在定位杆的中间。
[0009]优选的，左供料机构还包括导向座、第一气缸和支座，导向座上开设有导向槽，导向槽的后侧为一字槽，其前侧为弧型槽，定位座的左右两端通过销轴设置在导向槽内，定位座的后方设置有第一气缸，第一气缸的活塞杆与定位座的后端转动连接，其后端转动安装
在支座上。
[0010]优选的，顶升机构包括第二安装板、第一电机、固定杆、螺杆和螺纹座，第二安装板平行设置在第一安装板的下方，固定杆固定在第一安装板和第二安装板之间，第二安装板的下端固定有第一电机，第一电机的电机轴伸出第二安装板且与螺杆固定连接，螺杆上安装有螺纹座，顶升杆的下端安装在螺纹座上。
[0011]优选的，搬运机构包括第三安装板、第二气缸、支撑块、导轨、滑块、第四安装板、第三气缸和第一吸盘，第三安装板固定在工作台上，第三安装板的上端安装有第二气缸和支撑块，支撑块的上端固定有导轨，滑块前后滑动安装在导轨上，第二气缸的活塞杆与滑块相连接，滑块的上端固定安装有第四安装板，第四安装板上安装有第三气缸，第三气缸的下端安装有第一吸盘。
[0012]优选的，输送机构包括传输机、第二电机、传感器和收料盒，传输机沿Y轴设置，其与第二电机传动连接，收料盒设置在传输机远离双供料机构的一端的尾部，其向下倾斜设置，传感器设置有若干个，其安装在晶圆的传输路径上。
[0013]优选的，放料机械手包括运动沿X轴方向设置的第一直线模组、沿Y轴方向设置的第二直线模组、沿Z轴方向设置的第三直线模组、L型块和第二吸盘，第二直线模组固定在第一直线模组的移动端上，第三直线模组固定在第二直线模组的移动端上，L型块固定在第三直线模组的移动端上，其下端安装有第二吸盘。
[0014]优选的，双供料机构的一侧设置有气浮分离模组，气浮分离模组用于吹气分离双供料机构内顶层的若干片晶圆。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0016]1.本技术中将未喷砂的晶圆放置在双供料机构的左供料机构和右供料机构内，通过两个搬运机构将晶圆从左供料机构和右供料机构内搬运到两个输送机构上，当输送机构上的晶圆为单片时，通过两个放料机械手将两个输送机构上的晶圆分别搬运到左右两侧的喷砂机的履带输送机上，本技术通过双供料机构的设置，能同时向两个喷砂机供料，减少了上料的频率，通过搬运机构、输送机构和放料机械手能对晶圆自动进行搬运，提高了设备的自动化程度，避免了人工的搬运，大大提高晶圆喷砂的效率。
[0017]2.本技术通过气浮分离模组吹气分离双供料机构内顶层的若干片晶圆，使搬运机构每次只搬运一片晶圆到输送机构上，输送机构在输送晶圆的过程中到达检测区，通过传感器检测晶圆是否重叠，为单片还是双片，双片或多片时输送到收料盒内，单片时搬运到喷砂机上，通过气浮分离模组和输送机构的设置，减小了晶圆的叠片率，提高了晶圆喷砂上料的稳定性，保证了喷砂质量。
附图说明
[0018]图1为本技术的整体结构示意图；
[0019]图2为本技术的整体结构省略保护罩结构示意图；
[0020]图3为本技术的双供料机结构示意图；
[0021]图4为本技术的喷砂机结构示意图；
[0022]图5为本技术的双供料机构结构示意图；
[0023]图6为本技术另一角度的双供料机构结构示意图；
[0024]图7为本技术搬运机构结构示意图；
[0025]图8为本技术输送机构结构示意图；
[0026]图9为本技术放料机械手结构示意图；
[0027]图10为本技术图3中的A区放大结构示意图。
[0028]图中：1双供料机、2喷砂机、21喷砂机本体、22履带输送机、3工作台、4双供料机构、41第一安装板、42顶升机构、421第二安装板、422第一电机、423固定杆、424螺杆、425螺纹座、43顶盘、44顶升杆、45定位座、46定位杆、47导向座、471导向槽、48第一气缸、49支座、5搬运机构、51第三安装板、52第二气缸、53支撑块、54导轨、55滑块、56第四安装板、57第三气缸、58第一吸盘、6输送机构、61传输机、62第二电机、63传感器、64收料盒、7放料机械手、71第一直线模组、72第二直线模组、73第三直线模组、74L型块、75第二吸盘、8晶圆、9气浮分离模组。
具体实施方式
[0029]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆喷砂双供料机，其包括喷砂机(2)，喷砂机(2)包括喷砂机本体(21)和履带输送机(22)，所述喷砂机本体(21)设置在履带输送机(22)中部的上端，所述履带输送机(22)的两端伸出喷砂机本体(21)，其特征在于：所述喷砂机(2)设置有两台，所述喷砂机(2)分别设置在双供料机(1)的左右两侧，所述双供料机(1)包括工作台(3)、双供料机构(4)、搬运机构(5)、输送机构(6)和放料机械手(7)，双供料机构(4)设置在工作台(3)的前部，其包括结构相同的左供料机构和右供料机构，其用于储放晶圆(8)，所述输送机构(6)设置有两个且设置在工作台(3)的中部，两个所述输送机构(6)分别设置在左供料机构和右供料机构的后侧，所述搬运机构(5)用于将晶圆(8)从双供料机构(4)内搬运到输送机构(6)上，其设置有两个且分别设置在两个所述输送机构(6)的外侧，所述输送机构(6)上设置有用于检测单双片的传感器(63)，当输送机构(6)上的晶圆(8)为单片时，通过放料机械手(7)将晶圆(8)搬运到履带输送机(22)上，所述放料机械手(7)左右对称设置有两个，其分别设置在两个所述输送机构(6)的后侧。2.根据权利要求1所述的一种晶圆喷砂双供料机，其特征在于：所述左供料机构包括第一安装板(41)、顶升机构(42)、顶盘(43)、顶升杆(44)、定位座(45)和定位杆(46)，顶升机构(42)固定在第一安装板(41)的下方，其输出端与顶升杆(44)固定连接，所述顶升杆(44)的上端固定安装有顶盘(43)，所述第一安装板(41)的上方设置有定位座(45)，所述定位座(45)上成环形阵列设置有若干个定位杆(46)，所述定位座(45)的中心处开设有用于通过顶盘(43)的避让孔，晶圆(8)放置在定位杆(46)的中间。3.根据权利要求2所述的一种晶圆喷砂双供料机，其特征在于：所述左供料机构还包括导向座(47)、第一气缸(48)和支座(49)，所述导向座(47)上开设有导向槽(471)，所述导向槽(471)的后侧为一字槽，其前侧为弧型槽，所述定位座(45)的左右两端通过销轴设置在导向槽(471)内，所述定位座(45)的后方设置有第一气缸(48)，所述第一气缸(48)的活塞杆与定位座(45)的后端转动连接，其后端转动安装在支座(49)上。4.根据权利要求2或3所述的一种晶圆喷砂双供料机，其特征在于：所述顶升机构(42)包括第二安装板(421)、第一电机(...

【专利技术属性】
技术研发人员：高波，
申请(专利权)人：苏州康沃斯智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：