一种晶圆匀胶烘烤机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆匀胶烘烤机，其包括机架，机架上表面设置有收供料架、机械手、匀胶模组和烘烤台，收供料架用于放置晶圆，匀胶模组包括涂胶机构和匀胶甩干机构，涂胶机构用于对晶圆进行涂胶，匀胶甩干机构用于抹匀晶圆上的胶，烘烤台用于对涂完胶的晶圆进行烘干；本实用新型专利技术通过机械手将晶圆从收供料架内取出后，然后放置到匀胶模组进行涂胶并抹匀，涂完胶后再将晶圆转移到烘烤台上，最后将烘干的晶圆放置到收供料架内，实现了晶圆的自动涂胶、匀胶以及烘烤，提高了设备的自动化程度，保证了涂抹的均匀度的同时，也使表面的涂胶厚度达到要求，再通过烘烤台再进行烘干，保证了烘烤质量，进一步提升了光刻胶涂覆的均匀性。进一步提升了光刻胶涂覆的均匀性。进一步提升了光刻胶涂覆的均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆匀胶烘烤机


[0001]本技术涉及晶圆处理
，具体为一种晶圆匀胶烘烤机。

技术介绍

[0002]在半导体制备和封装过程中，主要采用光刻工艺，其中，光刻工艺是指在基板上经过光刻胶涂敷、曝光、显影等处理，将光刻掩膜板上已经设计的图案转移到基板表面的膜层中的过程，在光刻胶涂敷过程中，通过在基板表面涂敷光刻胶液并对所涂敷的光刻胶液进行加热处理形成光刻胶膜层，然后再通过曝光显影工艺在基板表面的光刻胶层中形成规定的图案结构。
[0003]目前，光刻胶涂敷工艺中，一般都是将晶圆放入专门的涂胶机中，采用旋转涂胶法完成的，其中在晶圆封装涂胶过程中，还需要对晶圆进行热处理，进行烘干，甚至部分厂家晶圆涂胶完全是手动的，将需要周边涂胶的晶圆的周边，采用小楷毛笔手动涂上胶层，手动涂胶会导致胶凃层的厚薄、覆盖区不均匀，速度慢、效率低，严重影响半导体器件的制作生产的效率，而且涂胶的厚度和宽度不固定，光刻涂胶厚度均匀性会直接影响光刻效果，随着胶厚的波动，光刻线宽也会随之波动，要保证光刻图形稳定，就必须提高光刻胶厚度均匀性，同时热处理的效果对最终的光刻胶涂覆的均匀性有很大影响，因此不仅需要提高涂胶的均匀性和烘烤的质量，还需要提高晶圆涂胶烘干的效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆匀胶烘烤机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种晶圆匀胶烘烤机，其包括机架，机架上表面设置有收供料架、机械手、匀胶模组和烘烤台，机械手设置在机架的中心处，收供料架、匀胶模组和烘烤台设置在机械手的外侧，收供料架用于放置晶圆，匀胶模组包括涂胶机构和匀胶甩干机构，涂胶机构设置在匀胶甩干机构的上方，涂胶机构用于对晶圆进行涂胶，匀胶甩干机构用于抹匀晶圆上的胶，烘烤台用于对涂完胶的晶圆进行烘干，机械手将晶圆从收供料架内取出后，然后放置到匀胶模组进行涂胶并抹匀，涂完胶后再将晶圆转移到烘烤台上，最后将烘干的晶圆放置到收供料架内。
[0007]优选的，机架的上设置有防护罩，防护罩的上端设置有空气净化风机。
[0008]优选的，收供料架包括篮具架、光纤感应器和两个篮具，篮具架上开设有两个进料口，两个篮具可拆卸固定在篮具架上，篮具上等距离开设有若干个用于放置单个晶圆的储料格，储料格的开口方向朝向进料口，光纤感应器固定在篮具架上且位于篮具的下方，其用于检测篮具内的晶圆。
[0009]优选的，机械手包括安装盘、第一机械臂和第二机械臂，第一机械臂和第二机械臂上下平行设置，其安装在安装盘的上方，安装盘的下端安装有旋转升降装置，第一机械臂和
第二机械臂分别和一个驱动机构相连接，其一端与接料叉固定连接。
[0010]优选的，驱动机构用于控制第一机械臂或第二机械臂的伸出或收缩，其包括第一电机、第一同步带轮、第一同步带、导轨和滑块，两个第一同步带轮转动安装在安装盘上，第一同步带套设在两个第一同步带轮上，一个第一同步带轮与第一电机的电机轴固定连接，导轨设置在两个第一同步带轮之间，滑块的下端滑动安装在导轨上，其上端与第一机械臂或第二机械臂固定连接，其中段固定在单侧的第一同步带上。
[0011]优选的，旋转升降装置用于控制安装盘的旋转和升降，其包括转盘，转盘固定在安装盘的下端，其通过同步带组件与第二电机相连接，第二电机用于控制转盘旋转，转盘的下端中心处转动安装有螺杆，其下方从上到下平行设置有第一安转板和第二安装板，第一安转板上转动安装有螺纹座，螺杆安装在螺纹座内且其下端伸出螺纹座，螺纹座的下端固定安装有一个第二同步带轮，第二同步带轮通过第二同步带与第三电机相连接。
[0012]优选的，涂胶机构包括第四电机、第三机械臂和胶枪，第三机械臂的一端固定在第四电机上，其另一端与胶枪相连接。
[0013]优选的，匀胶甩干机构包括匀胶台和旋转升降机构，所述匀胶台设置在旋转升降机构的上方，其内还设置有加热台，所述加热台与旋转升降机构相连接，匀胶台的两侧还设置有定位机构，定位机构包括第三气缸和固定在第三气缸活塞杆上的定位夹，定位夹靠近匀胶台的一侧开设有圆弧口。
[0014]优选的，烘烤台包括安装架、抽风罩、烘烤工位、顶柱、上盖和第一气缸，安装架内设置有若干个烘烤工位，其上设置有抽风罩，抽风罩的上端放置有上盖，烘烤工位的下方设置有第一气缸，第一气缸的活塞杆上端固定安装有若干根顶柱，顶柱能从下到上穿过烘烤工位，其用于托起晶圆。
[0015]优选的，涂胶机构还包括定位盘和第二气缸，定位盘上开设有弧形的导向槽，胶枪设置在导向槽内，第二气缸的活塞杆上下运动，其下端固定在定位盘的上端，定位盘上还固定安装有至少一个导向杆，导向杆上下滑动安装在轴套内，其上端固定有限位块。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]1.本技术通过机械手将晶圆从收供料架内取出后，然后放置到匀胶模组进行涂胶并抹匀，涂完胶后再将晶圆转移到烘烤台上，最后将烘干的晶圆放置到收供料架内，产能能达到120PCS/H，实现了晶圆的自动涂胶、匀胶以及烘烤，提高了设备的自动化程度，从而提升了工作效率，减少了人力资源。
[0018]2.本技术通过机械手将晶圆放置到匀胶台后，匀胶台带动晶圆旋转，通过涂胶机构的胶枪在晶圆上进行涂胶，同时通过第四电机和第三机械臂控制胶枪在定位盘的导向槽内旋转，使晶圆在一定的旋转速度下涂胶，保证了涂抹的均匀度的同时，也使表面的涂胶厚度达到要求，能够快速高质量的完成涂胶作业。
[0019]3.本技术通过在匀胶台内设置加热台，在晶圆涂胶的同时也能进行预烘烤，然后通过机械手将晶圆送入到烘烤台再进行烘干，保证了烘烤质量，进一步提升了光刻胶涂覆的均匀性。
附图说明
[0020]图1为本技术的整体结构示意图；
[0021]图2为本技术另一个视角的整体结构示意图；
[0022]图3为本技术的整体结构俯视结构示意图；
[0023]图4为本技术的收供料架结构示意图；
[0024]图5为本技术的机械手结构示意图；
[0025]图6为本技术的安装盘结构示意图；
[0026]图7为本技术的机械手内部结构示意图；
[0027]图8为本技术的匀胶模组结构示意图；
[0028]图9为本技术另一个视角的匀胶模组结构示意图；
[0029]图10为本技术的匀胶甩干机构结构示意图；
[0030]图11为本技术的烘烤台结构示意图；
[0031]图12为本技术的烘烤台内部结构示意图；
[0032]图13为本技术的一种实施例结构示意图。
[0033]图中：1机架、2收供料架、21篮具架、22进料口、23篮具、24储料格、25光纤感应器、3机械手、301安装盘、302第一机械臂、303第二机械臂、304第一电机、305第一同步带、306导轨、307滑块、308转盘、30本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆匀胶烘烤机，其包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)上表面设置有收供料架(2)、机械手(3)、匀胶模组(4)和烘烤台(5)，机械手(3)设置在机架(1)的中心处，所述收供料架(2)、匀胶模组(4)和烘烤台(5)设置在机械手(3)的外侧，所述收供料架(2)用于放置晶圆(8)，所述匀胶模组(4)包括涂胶机构(6)和匀胶甩干机构(7)，所述涂胶机构(6)设置在匀胶甩干机构(7)的上方，所述涂胶机构(6)用于对晶圆(8)进行涂胶，所述匀胶甩干机构(7)用于抹匀晶圆(8)上的胶，所述烘烤台(5)用于对涂完胶的晶圆(8)进行烘干，所述机械手(3)将晶圆(8)从收供料架(2)内取出后，然后放置到匀胶模组(4)进行涂胶并抹匀，涂完胶后再将晶圆(8)转移到烘烤台(5)上，最后将烘干的晶圆(8)放置到收供料架(2)内。2.根据权利要求1所述的一种晶圆匀胶烘烤机，其特征在于：所述机架(1)的上设置有防护罩(9)，所述防护罩(9)的上端设置有空气净化风机(10)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆匀胶烘烤机，其特征在于：所述收供料架(2)包括篮具架(21)、光纤感应器(25)和两个篮具(23)，所述篮具架(21)上开设有两个进料口(22)，两个篮具(23)可拆卸固定在篮具架(21)上，所述篮具(23)上等距离开设有若干个用于放置单个晶圆(8)的储料格(24)，所述储料格(24)的开口方向朝向进料口(22)，所述光纤感应器(25)固定在篮具架(21)上且位于篮具(23)的下方，其用于检测篮具(23)内的晶圆(8)。4.根据权利要求1所述的一种晶圆匀胶烘烤机，其特征在于：所述机械手(3)包括安装盘(301)、第一机械臂(302)和第二机械臂(303)，所述第一机械臂(302)和第二机械臂(303)上下平行设置，其安装在安装盘(301)的上方，所述安装盘(301)的下端安装有旋转升降装置，所述第一机械臂(302)和第二机械臂(303)分别和一个驱动机构相连接，其一端与接料叉固定连接。5.根据权利要求4所述的一种晶圆匀胶烘烤机，其特征在于：所述驱动机构用于控制第一机械臂(302)或第二机械臂(303)的伸出或收缩，其包括第一电机(304)、第一同步带轮、第一同步带(305)、导轨(306)和滑块(307)，两个第一同步带轮转动安装在安装盘(301)上，第一同步带(305)套设在两个第一同步带轮上，一个第一同步带轮与第一电机(304)的电机轴固定连接，导轨(306)设置在两个第一同步带轮之间，滑块(307)的下端滑动安装在导轨(306)上，其上端与第一机械臂(302)或第二机械臂(303)固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：高波，
申请(专利权)人：苏州康沃斯智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：