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本实用新型公开了一种晶圆匀胶烘烤机，其包括机架，机架上表面设置有收供料架、机械手、匀胶模组和烘烤台，收供料架用于放置晶圆，匀胶模组包括涂胶机构和匀胶甩干机构，涂胶机构用于对晶圆进行涂胶，匀胶甩干机构用于抹匀晶圆上的胶，烘烤台用于对涂完胶的晶...
该专利属于苏州康沃斯智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州康沃斯智能装备有限公司授权不得商用。

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