新型水平滑动石墨舟制造技术

一种新型水平滑动石墨舟，属于半导体光电子学领域的半导体工艺设备的改进，其特点在于溶液池为圆形且尺寸需计算得出，目的在于当所需溶剂放入池内熔化后溶液外边界与池的内边界密合，以保证其后加入的熔质和掺杂物完全被溶液所包熔。实验表明，这种舟生长出的外延片表面光亮、结线平整、晶格匹配，从而大大提高了光电器件的成品率。（*该技术在1998年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于液相外延的水平滑动石墨舟，由舟体［４］、衬底托板［５］、滑动溶液池板［６］及溶池盖［７］所组成，其特征在于滑动溶液池板上有多个溶液池［８］，其水平截面的内边界是园形，园形直径ｄ由公式ｍ＝（πｄ＇↑〔３〕／６）Ｄ求ｄ＇，使ｄ＝ｄ＇，式中ｍ为溶液池溶剂的质量，Ｄ为熔剂的比重，ｄ＇为熔剂呈球状时的直径。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙成城，薛保兴，何淑芳，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]