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新型水平滑动石墨舟制造技术
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文档序号:3227378
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一种新型水平滑动石墨舟,属于半导体光电子学领域的半导体工艺设备的改进,其特点在于溶液池为圆形且尺寸需计算得出,目的在于当所需溶剂放入池内熔化后溶液外边界与池的内边界密合,以保证其后加入的熔质和掺杂物完全被溶液所包熔。实验表明,这种舟生长出的...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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