一种制造半导体器件的方法技术

一种具有半导体部件的半导体部件，其特征为，所说半导体器件包含一叠层体，该叠层体是通过提供包括置于表面部件与背面部件之间的所说半导体部件和密封树脂的叠层制品、将所说叠层制品在５Ｔｏｒｒ以下真空度抽真空５到４０分钟、将这样处理过的叠层制品在５Ｔｏｒｒ以下真空度下进行热加压粘接、并冷却进行过热加压粘接的叠层制品以进行接触粘接而得到的。以及制造半导体器件的方法。在该半导体器件中没有气泡产生。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种改进了的、高可靠性的半导体器件以及制造所说半导体器件的方法。更具体地，本专利技术涉及一种改进了的、高可靠性的具有密封在其中的光电转换部件的半导体器件，具体地涉及一种改进了的、高可靠性的具有密封树脂的太阳能电池组件及制造所说半导体器件或太阳能电池组件的方法。近年来，全球环境和能源问题的社会意识在增强。特别是据预测由于大气中CO2的增加导致所说温室效应带来的地球变热会引起一系列问题。鉴于此，能提供不增加CO2的洁净能源的电力发生装置的要求增加。现在，为适应这些要求，人们的注意力集中在太阳能电池上，因为它们能提供不会引起上述问题的电源，且预计它们会成为未来电源，并且它们安全和易于处理。为了将这种太阳能电池用作电源，通常将它按能用作电源的所要求的结构设计成组件。附图说明图1是表示这种太阳能电池组件的例子。图1是该太阳能电池组件的剖面图。图1中，标号101表示光电池部件(或光电转换部件)，标号102表示密封树脂(即填充树脂)，标号103表示透明的表面保护部件，及标号104表示背面保护部件。最常用的表面保护部件103是玻璃部件。最近几年，人们的注意力集中在具有以非晶硅太阳本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有半导体部件的半导体器件，其特征为，所说半导体器件包含一叠层体，该叠层体是通过提供含有置于表面部件与背面部件之间的所说半导体部件和密封树脂的叠层制品、将所说叠层制品在５Ｔｏｒｒ以下真空度抽真空５到４０分钟、将这样处理过的叠层制品在５Ｔｏｒｒ以下真空度下进行热加压粘接、并冷却进行过热加压粘接的叠层制品以进行接触粘接而得到的。２．如权利要求１的半导体器件，其特征为，叠层体具有插入其中的无纺玻璃纤维、无纺有机树脂纤维、或这两种纤维。

【技术特征摘要】
JP 1995-7-19 182952/951.一种具有半导体部件的半导体器件，其特征为，所说半导体器件包含一叠层体，该叠层体是通过提供含有置于表面部件与背面部件之间的所说半导体部件和密封树脂的叠层制品、将所说叠层制品在5Torr以下真空度抽真空5到40分钟、将这样处理过的叠层制品在5Torr以下真空度下进行热加压粘接、并冷却进行过热加压粘接的叠层制品以进行接触粘接而得到的。2.如权利要求1的半导体器件，其特征为，叠层体具有插入其中的无纺玻璃纤维、无纺有机树脂纤维、或这两种纤维。3.如权利要求1的半导体器件，其特征为，将密封树脂置于半导体部件与表面部件之间，且密封树脂包含乙烯乙烯基乙酸酯共聚物。4.如权利要求1的半导体器件，其特征为，表面部件包含由含氟聚合物组成的透明薄膜。5.如权利要求3的半导体器件，其特征为，乙烯乙烯基乙酸酯共聚物借助有机过氧化物交联。6.如权利要求4的半导体器件，其特征为，含氟聚合物是乙烯-四氟乙烯共聚物。7.如权利要求4的半导体器件，其特征为，含氟聚合物透明薄膜具有和密封树脂接触的电晕放电表面。8.如权利要求1的半导体器件，其特征为，半导体部件是光电转换部件。9.如权利要求1的半导体器件，其特征为，半导体部件是光电池部件。10.如权利要求1的半导体器件，其特征为，半导体部件是光电探测器或光发射部件。11.如权利要求1的半导体器件，其特征为，该器件是太阳能电池组件。12.一种通过在减压条件下对由置于表面部件与背面部件之间的半导体部件和密封树脂构成的层压制品进行热加压粘接来制造半导体器件的方法，其特征为，所说方法包含下面步骤(a)对所说叠层制品抽真空，(b)将真空处理过的叠层制品在5Torr以下真空度下进行热加压粘接，和(c)在所说步骤(b)过程中，冷却进行过热加压粘接的叠层制品接。13.如权利要求12的方法，其特征为，叠层制品的热加压粘接包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：片冈一郎，森隆弘，山田聪，盐塚秀则，小森绫子，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]