光产生电力装置的制造方法制造方法及图纸

一种光产生电力装置的制造方法，该装置是在具备绝缘表面的基板上设第一电极层、半导体光活性层及透明导电层，该制造方法依序包括如下步骤：（１）于基板形成第一电极层及半导体光活性层；（２）于绝缘表面形成透明导电膜；（３）将透光性保护膜配置在上述发电区域的之透明导电膜上；（４）照射紫外线激光，去除未以上述透光性保护膜遮罩部位的透明导电膜；（５）保留上述透光性保护膜。本发明专利技术可以使光产生电力装置的可靠性提高。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种。习知光产生电力装置之制造方法已揭露于日本特开平10-107305号公报中。该制造方法是在绝缘基板的大致整面上形成第一电极膜、半导体光活性膜、透明导电膜后，以点状激光光束扫瞄而形成分割槽，藉以形成与所希望之多数发电区域对应的层叠体。为了进一步提升可靠性，上述的习知光产生电力装置需要在其表面配设保护膜。而且，以激光光束分割发电区域所形成的分割槽，其宽度约50至100μm，而以上述方式配设保护膜时，经长期使用或可靠性测试结果，会在该分割槽处产生保护膜剥离且渗入水分之情形。本专利技术是为解决此等问题而研发，本专利技术的目的在于提供一种可靠性优良且制造容易的。为了达到上述目的，本专利技术提供一种，该装置是在具备绝缘表面的基板上的发电区域层叠设有第一电极层、半导体光活性层及透明导电层，其特征在于该制造方法依序包括如下步骤(1)于上述基板的绝缘表面上形成上述第一电极层及半导体光活性层；(2)于包含上述半导体光活性层在内的绝缘表面的整面上，形成用来构成上述透明导电层的透明导电膜；(3)将可透过可见光但无法透过紫外光的图案化透光性保护膜配置在上述发电区域的之透明导电膜上作为本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光产生电力装置的制造方法，该装置是在具备绝缘表面的基板上的发电区域层叠设有第一电极层、半导体光活性层及透明导电层，其特征在于：该制造方法依序包括如下步骤： （１）于上述基板的绝缘表面上形成上述第一电极层及半导体光活性层； （２）于包含上述半导体光活性层在内的绝缘表面的整面上，形成用来构成上述透明导电层的透明导电膜； （３）将可透过可见光但无法透过紫外光的图案化透光性保护膜配置在上述发电区域的之透明导电膜上作为遮罩材料；及 （４）于上述基板的整面上照射紫外线激光，以去除未以上述透光性保护膜遮罩之部位的透明导电膜，而形成上述透明导电层； （５）于上述步骤后保留上述...

【技术特征摘要】
JP 1999-11-30 340116/19991．一种光产生电力装置的制造方法，该装置是在具备绝缘表面的基板上的发电区域层叠设有第一电极层、半导体光活性层及透明导电层，其特征在于该制造方法依序包括如下步骤(1)于上述基板的绝缘表面上形成上述第一电极层及半导体光活性层；(2)于包含上述半导体光活性层在内的绝缘表面的整面上，形成用来构成上述透明导电层的透明导电膜；(3)将可透过可见光但无法透过紫外光的图案化透光性保护膜配置在上述发电区域的之透明导电膜上作为遮罩材料；及(4)于上述基板的整面上照射紫外线激光，以去除未以上述透光性保护膜遮罩之部位的透明导电膜，而形成上述透明导电层；(5)于上述步骤后保留上述透光性保护膜。2．一种光产生电力装置的制造方法，该装置是在具备绝缘表面的基板上的发电区域层叠设有第一电极层、半导体光活性层及透明导电层，其特征在于该制造方法依序包括如下步骤(1)于上述基板的绝缘表面上形成上述第一电极层及半导体光活性层；(2)于包含上述半导体光活性层在内的绝缘表面的整面上，形成用来构成上述透明导电层的透明导电膜；(3)将可透过可见光但无法透过紫外光的图案化透光性保护膜配置在上述发电区域之透明导电膜上作为遮罩材料；及(4)于上述基板的整面上照射紫外线激光，...

【专利技术属性】
技术研发人员：塙平信夫，若宫要範，主藤秀和，森博幸，小野雅义，篠原亘，山本惠章，
申请(专利权)人：三洋电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]