接触臂及采用该接触臂的电子零件试验装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供使被试验ＩＣ与接触部接触的接触臂，该接触臂备有保持头、浮动机构和流体压缸。上述保持头用于保持被试验电子零件。上述浮动机构，设在可接近或远离上述接触部的驱动机构与上述保持头之间，将保持头可摆动地支承在上述驱动机构上。上述流体压缸，设在上述驱动机构与上述保持头之间，调节从驱动机构对保持头的相对推压力。对一个保持头设有多个隔膜压缸。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及试验半导体集成电路元件等各种电子零件(以下称为IC)的电子零件试验装置。特别涉及保持被试验电子零件、使其与接触部接触的接触臂。在被称为处理机(handler)的电子零件试验装置中，把收容在托盘上的多个被试验IC运送到处理机内，使各被试验IC与试验头电气接触，在电子零件试验装置本体(以下称为试验机)上进行试验。试验结束后，将各被试验IC从试验头排出，换装到与试验结果相应的托盘上，进行合格品和不合格品的分类。现有的电子零件试验装置中采用的接触臂，有图5A和图5B所示的2种形式。图5A所示的接触臂105d，备有装在Z轴驱动机构105c上的保持头D1，在该保持头D1内埋设着加热器D4，该加热器D4用于保持对被试验IC施加的高温热应力。通过控制设在Z轴驱动机构105c上的马达(图未示)，管理试验IC对接触部201的推压力。图5B所示的接触臂105d，在Z轴驱动机构105c与保持头D1之间，设有弹簧D6，由该弹簧D6吸收保持头D1与接触部201的相对倾斜。但是，上述2种形式的接触臂分别具有以下问题。即，图5A所示的接触臂105d中，由于没有图5B所示的由弹簧D6构成的浮动机构本文档来自技高网...

【技术保护点】
电子零件试验装置用接触臂，使被试验电子零件与接触部接触，其特征在于，备有保持头、浮动机构和流体压缸； 上述保持头用于保持被试验电子零件； 上述浮动机构，设在可接近或远离上述接触部的驱动机构与上述保持头之间，将保持头可摆动地支承在上述驱动机构上； 上述流体压缸，设在上述驱动机构与上述保持头之间，调节从驱动机构对保持头的相对推压力。

【技术特征摘要】
JP 2000-6-23 188981/20001.电子零件试验装置用接触臂，使被试验电子零件与接触部接触，其特征在于，备有保持头、浮动机构和流体压缸；上述保持头用于保持被试验电子零件；上述浮动机构，设在可接近或远离上述接触部的驱动机构与上述保持头之间，将保持头可摆动地支承在上述驱动机构上；上述流体压缸，设在上述驱动机构与上述保持头之间，调节从驱动机构对保持头的相对推压力。2.如权利要求1所述的电子零件试验装置用接触臂，其特征在于，对上述的一个保持头，设有多个上述流体压缸。3.如权利要求1所述的电子零件试验装置用接触臂，其特征在于，上述浮动机构，备有支承上述保持头的杆、和形成上述驱动机构侧并供上述杆贯通的贯通孔；在上述一个杆上，设有上述一个流体压缸。4.如权利要求2所述的电子零件试验装置用接触臂，其特征在于，上述浮动机构，备有支承上述保持头的杆、和形成上述驱动机构侧并供上述杆贯通的贯通孔；在上述一个杆上，设有上述一个流体压缸。5.如权利要求1所述的电子零件试验装置用接触臂，其特征在于，上述保持头的至少被试验电子零件保持部，是可装卸的。6.如权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：山下毅，清川敏之，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]