基于事件的半导体测试系统技术方案

一种用于测试被测试电子装置（ＤＵＴ）的基于事件的测试系统，该系统包括事件存储器，用来存储由基准时钟周期的整数倍数和分数倍数形成的每个事件的定时数据，其中，该定时数据表示一个当前事件和一个基准点之间的时间差；地址序列器，用来产生访问该事件存储器用的地址数据；用来产生一个事件启动信号的定时计数逻辑电路；事件产生单元，用于基于该事件启动信号和表示该基准时钟周期的分数倍数的数据来产生每个事件；和一主机。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种通过向半导体装置提供测试图形信号并评价半导体装置的结果输出信号以测试半导体装置的自动测试设备。尤其是涉及一种基于事件的半导体测试系统，其用来产生被用作测试图形信号和选通信号的具有不同定时的事件以鉴定半导体装置，其中，每一事件的定时由距一预定点的时间长度来确定。在用如IC测试器的半导体测试系统测试诸如IC和LSI等半导体装置时，在一预定的测试定时向被测试的半导体装置的适当管脚提供测试信号。该半导体测试系统从被测试的装置处接收一响应于该测试信号而产生的输出信号。该输出信号由具有特定定时的选通信号抽样而与期望值数据相比较，以决定该被测试的半导体装置是否正常工作。附图说明图1是表示一个常规半导体测试系统的例子的示意图。在图1的半导体测试系统中，测试图形发生器12接收来自测试处理器11的测试数据。测试图形发生器12产生提供给波格式器14的测试图形数据和提供给图形比较器17的期望值图形。定时发生器13产生定时信号以使整个测试系统的操作同步。在图1中，该定时信号被提供给例如测试图形发生器12、图形比较器17、波格式器14和模拟比较器16。定时发生器13还向波格式器14提供测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于事件的测试系统，用于通过向被测试电子装置（ＤＵＴ）提供一测试信号，并在一选通信号的定时处评价该ＤＵＴ的输出来测试ＤＵＴ，该系统包括： 一个事件存储器，用来存储由一个基准时钟周期的整数倍数（整数部分数据）和该基准时钟周期的分数倍数（分数部分数据）形成的每个事件的定时数据，所述定时数据是一个当前事件和一个预先设定的基准点之间的时间差； 一个地址序列器，用来产生用于访问所述事件存储器以从中读出所述定时数据的地址数据； 一个定时计数逻辑电路，用来产生一被延迟的事件启动信号，所延迟的时间为该整数部分数据与该基准时钟周期相乘而得的时间； 一个事件产生单元，其根据用于确定所述...

【技术特征摘要】
1.一种基于事件的测试系统，用于通过向被测试电子装置(DUT)提供一测试信号，并在一选通信号的定时处评价该DUT的输出来测试DUT，该系统包括一个事件存储器，用来存储由一个基准时钟周期的整数倍数(整数部分数据)和该基准时钟周期的分数倍数(分数部分数据)形成的每个事件的定时数据，所述定时数据是一个当前事件和一个预先设定的基准点之间的时间差；一个地址序列器，用来产生用于访问所述事件存储器以从中读出所述定时数据的地址数据；一个定时计数逻辑电路，用来产生一被延迟的事件启动信号，所延迟的时间为该整数部分数据与该基准时钟周期相乘而得的时间；一个事件产生单元，其根据用于确定所述测试信号或选通信号的来自所述定时计数逻辑电路的事件启动信号和来自所述事件存储器的该分数部分数据来产生每个事件；和一个主机，用于通过一测试程序来控制所述基于事件的测试系统的整个操作。2.如权利要求1所述的一种基于事件的测试系统，还包括一个位于所述事件存储器和所述定时计数逻辑电路之间的解压缩单元，用于由存储在所述事件存储器中的经压缩的事件数据再现事件数据。3.如权利要求1所述的一种基于事件的测试系统，其中，所述定时计数逻辑电路包括一个按比例因子的比例更改来自所述事件存储器的事件数据的比例逻辑电路。4.如权利要求1所述的一种基于事件的测试系统，还包括一个故障存储器，其用于存储由向所述DUT提供一测试信号并在选通信号的定时处评价所述DUT的响应输出而得到的所述DUT的故障信息。5.如权利要求1所述的一种基于事件的测试系统，其中，所述事件存储器包括一个事件计数存储器，用于存储每个事件的所述定时数据的所述整数部分数据；一个微调存储器，用于存储每个事件的所述定时数据的所述分数部分数据；和一个事件类型存储器，用来存储表示相应于所述时钟计数存储器和微调存储器中的所述定时数据的每个事件的类型的数据。6.如权利要求1所述的一种基于事件的测试系统，其中，所述定时计数逻辑电路包括一个倒计数器，用于在其中预设所述的整数部分数据，并且由所述基准时钟倒计数所述整数部分数据，以生成为所述基准时钟周期整数倍数的延迟时间。7.如权利要求1所述的一种基于事件的测试系统，其中，所述事件产生单元包括一个去多路复用器，用于基于来自所述事件存储器的事件类型数据来选择性地提供来自所述定时计数逻辑电路的所述事件启动信号；多个可变延迟电路，用于接收来自所述去多路复用器的所述事件启动信号，每个所述可变延迟电路提供一个由来自所述定时计数逻辑电路的微调和数据所定义的附加延迟；基于至少两个所述可变延迟电路的输出信号产生所述测试信号的装置；和基于至少一个所述可变延迟电路的输出信号产生所述选通信号的装置。8.一种基于事件的测试系统，通过向被测试电子装置(DUT)提供一测试信号并在一选通信号的定时处评价该DUT的输出来测试DUT，该系统包括一个事件存储器，用于存储由一个基准时钟周期的整数倍数(整数部分数据)和该基准时钟周期的分数倍数(分数部分数据)形成的每个事件的定时数据，所述定时数据是两个相邻事件之间的时间差，所述定时数据以压缩形式被存储在所述事件存储器中；一个地址...

【专利技术属性】
技术研发人员：詹姆斯艾伦特恩奎斯特，菅森茂，罗基特赖什曼，矢元裕明，
申请(专利权)人：株式会社鼎新，
类型：发明
国别省市：JP[日本]