罐开关以及监测流率的方法技术

提供了一种用于半导体测试系统的罐开关，所述罐开关包括集管，所述集管包括第一输入管、第二输入管和输出管，其中，所述输入管中的每个构造成能够连接至相应的流体罐，并且所述输出管包括输出端，该输出端构造成能够连接至测试用处理装置；所述输入管中的每个分别包括相应控制阀；流量传感器于所述输出端之前构造在所述集管上；所述流量传感器构造成能够提供表示流向所述输出端的流体的流率的测量信号并且能够将该信号发送给控制单元；并且所述控制阀中的每个构造成能够接收控制信号并能够响应于所接收的控制信号而打开或关闭。

【技术实现步骤摘要】

多个实施例涉及一种罐开关、一种用于供应流体的系统、以及一种监测半导体测试系统中的流率的方法。
技术介绍
成品半导体在其制成后经常被测试功能。为了实施这些测试，包括处理装置的常规测试系统被使用，该处理装置构造成处理被测试的半导体或装置。此外，低温测试程序通常被执行以在低温下测试半导体(例如晶体管或功率晶体管)。为了提供冷却(能量)，流体如液态气体(例如液态空气或液态氮)经常被使用并由液态气体缸以及管或导管系统供应。为了提供连续的流体供应，罐开关被使用，该罐开关与至少两个液态气体缸连接，所述至少两个液态气体缸向罐开关和连接至罐开关的处理装置交替提供冷却流体。
技术实现思路
多个实施例提供了一种用于半导体测试系统的罐开关，其中，罐开关包括集管，该集管包括第一输入管、第二输入管、输出管和流量传感器，每个输入管构造成能够连接至相应的流体罐并且输出管包括输出端，该输出端构造成能够连接至测试用处理装置，每个输入管分别包括相应的控制阀；流量传感器于输出端之前构造在集管上并且构造成能够提供表示通过输出端的流体的流率的测量信号并向控制单元发送信号；并且每个控制阀构造成能够接收控制信号并响应于所接收的控制信号而打开或关闭。此外，多个实施例提供了一种半导体测试系统，该半导体测试系统包括罐开关、测试用处理装置，该处理装置包括连接至罐开关的输出端的输入端；以及控制单元，该控制单元构造成能够接收流量传感器的测量信号并向控制阀提供控制信号。此外，多个实施例提供了一种监测半导体测试系统中的流体流率的方法，其中，该方法包括通过输入管和输出管从流体罐向处理装置供应流体；通过流量传感器测量所供应的流体的流率；生成表示所测得的流率的测量信号；并且将该测量信号传递给控制单元。附图说明在附图中，不同附图中相同的附图标记大体上表示相同的部件。各附图不一定按比例绘制。而是总体上强调本专利技术的原理。在下述说明书，各实施例参考下述附图予以说明，所述附图为：图1示意性示出根据一示例性实施例的罐开关；图2示意性示出根据一示例性实施例的半导体测试系统；图3示出根据一示例性实施例的监测流体流率的方法的流程图；并且图4示意性示出根据一示例性实施例的半导体测试系统。具体实施方式在下文中，罐开关、用于供应流体的系统以及监测半导体测试系统中的流体流率的方法的进一步的示例性实施例将被说明。应当说明的是，一个具体的示例性实施例的内容中所描述的具体特征的说明也可以与其它示例性实施例组合。词语“示例性”在此用来表明“用作示例、举例或展示”。在此“示例性”描述的任何实施例或设计不一定是相对于其它实施例或设计是优选的或有利的。多个示例性实施例提供了一种用于半导体测试系统的罐开关，该罐开关包括集管，该集管包括两个输入管以及输出管，其中，流体流动路径由输入管中的至少一个与输出管形成，相应的控制阀分别构造在每个输入管上并且至少一个流量传感器构造在流体路径中，所述流量传感器适于测量流体流率、生成表示所测得的流体流率的测量信号并向控制单元发送该测量信号。此外，每个控制阀适于从控制单元接收控制信号并适于根据控制信号而打开或关闭。特别地，所述流体流动从输入管的输入端(例如构造成能够耦接至流体罐)指向或导向输出管的输出端(例如构造成能够耦接至测试用处理装置)。特别地，单个流量传感器可以构造在输出管上(而第一控制阀可以集成在第一输入管上并且第二控制阀可以集成在第二输入管上)、和/或第一流量传感器和第一控制阀可以构造或集成在第一输入管上且第二流量传感器和第二控制阀构造或集成在第二输入管上。流量传感器可分别监测并控制经过输入管的流体流量。特别地，控制阀可以是电磁阀或者是能够在不同(低温)温度水平下使用的任何类型的阀。应当说明的是，当然可以在一个罐开关中设置实施两个以上输入管并且由此罐开关可以连接并控制两个以上罐。特别地，控制单元、例如PLC控制器可包括计算单元或处理单元，所述计算单元或处理单元构造成能够从所接收的测量信号确定出流体的实际流率和/或能够确定出流率是否高于或低于预设阈值。基于该确定结果或计算结果，控制单元可生成控制信号。控制信号可以特别地表明接收控制信号的控制阀将被接通还是断开。特别地，控制阀可以构造成能够基于所接收的控制信号而断开或接通。特别地，输入管和/或输出管可包括塑料和/或金属材料如铁等、或者由塑料和/或金属材料如铁等组成。术语“输入管”可以特别地表示集管的从输入端(构造成能够连接至流体罐)至交接点的管或导管，在该交接点处，一个输入管连接至另一输入管。术语“输出管”可以特别地表示集管的从交接点至输出端(构造成能够连接至测试用处理装置)的管或导管。通过设置包括流量传感器或流量计而非别的传感器(比如压力传感器)的罐开关，能够实现对流体(例如冷却流体)供应的更灵活的控制和更直接的控制。例如，能够在不同压力水平下以相对于压力控制式开关更简单且有效的方式执行测试程序。甚至能够以简单的方式使测试开关与不同类型的(测试用)处理装置一起使用。特别地，能够更接近地适于或设定被提供的流体的限值或阈值，这是因为被提供的流体的量是被直接地确定而非例如通过确定压力来间接地控制。特别地，罐开关能够实现不同液态气体罐或容器之间的自动切换。由此，不再需要利用控制卡等来管理不同罐之间的手动操作切换。此外，所述自动切换允许有足够的时间来在不同流体罐之间转换。当适于不同的半导体的不同的测试用处理装置与罐开关关联地使用时，这种直接流体量控制尤为有利，这是因为每种测试用处理装置每时长需要不同的流体量，即需要不同的流体流率。由此，能够提高整体设备效率，同时能够在测试程序过程中提高或至少没有降低温度稳定性和/或产品质量。此外，包含有流量传感器的罐开关的使用实现了高效率水平和/或低消耗的监测。在下文中，罐开关的示例性实施例被说明。然而，对于这些实施例所描述的特征和元件可以与用于供应流体的系统及监测半导体测试系统中的流体流率的方法的示例性实施例组合。根据一示例性实施例，罐开关还包括至少一个选自由下述内容构成的组的另外的元件：泄压阀、压力计和止回阀。所有的这些元件可以用作增加罐开关或使用罐开关的整个系统的安全性的安全结构。根据一示例性实施例，罐开关还包括信号接口。特别地，信号接口可以是以太网接口和/或可以实现以太网连接。例如，由流量传感器提本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于半导体测试系统的罐开关，所述罐开关包括：集管，所述集管包括第一输入管、第二输入管和输出管，其中，输入管中的每个构造成能够连接至相应的流体罐，并且所述输出管包括输出端，所述输出端构造成能够连接至测试用处理装置，所述输入管中的每个分别包括相应的控制阀；流量传感器于所述输出端之前构造在所述集管上；所述流量传感器构造成能够提供表示流向所述输出端的流体的流率的测量信号并能够将所述测量信号发送给控制单元；并且所述控制阀中的每个构造成能够接收控制信号并能够响应于所接收的控制信号而打开或关闭。

【技术特征摘要】
2015.01.20 DE 102015100762.21.一种用于半导体测试系统的罐开关，所述罐开关包括：
集管，所述集管包括第一输入管、第二输入管和输出管，其中，输入
管中的每个构造成能够连接至相应的流体罐，并且所述输出管包括输出端，
所述输出端构造成能够连接至测试用处理装置，
所述输入管中的每个分别包括相应的控制阀；
流量传感器于所述输出端之前构造在所述集管上；
所述流量传感器构造成能够提供表示流向所述输出端的流体的流率的
测量信号并能够将所述测量信号发送给控制单元；并且
所述控制阀中的每个构造成能够接收控制信号并能够响应于所接收的
控制信号而打开或关闭。
2.根据权利要求1所述的罐开关，其特征在于，所述罐开关还包括选
自由下述内容构成的组中的至少一个另外的元件：
泄压阀，
压力计，和
止回阀。
3.根据权利要求1所述的罐开关，其特征在于，所述罐开关还包括信
号接口。
4.根据权利要求1所述的罐开关，其特征在于，所述罐开关还包括环
绕所述输入管和所述输出管布置的绝热层。
5.根据权利要求1所述的罐开关，其特征在于，所述流量传感器构造
在所述输出管上。
6.根据权利要求1所述的罐开关，其特征在于，所述罐开关还包括另
外的流量传感器，所述另外的流量传感器构造成能够提供表示流体的流率

\t的测量信号，所述流量传感器构造在所述第一输入管上并且所述另外的流
量传感器构造在所述第二输入管上。
7.一种半导体测试系统，所述半导体测试系统包括：
根据权利要求1的罐开关；
测试用处理装置，所述测试用处理装置包括连接至所述罐开...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·L·谭，C·J·S·尧，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE