【技术实现步骤摘要】
本专利技术是有关于一种多功能探针卡，特别是指一种应用在常见的探针卡，可量测探针卡的状态，并可记录探针卡完整参数资料及提供即时显示或警示的多功能探针卡。
技术介绍
在半导体制造过程中，于晶圆制造完成后，便需进入晶圆(此封装前阶段的晶圆又称为裸晶)测试阶段。晶圆测试是利用一测试机台与一探针卡(probe card))来测试晶圆上的各个芯片，以确保所制造出的晶片的电气特性与性能是否符合设计出的规格。测试机台是经特殊设计使其探测头可以装上细如毛发的探针，用来与晶片上的焊垫(pad)接触，以便对晶片输入讯号或侦读输出值。在进行晶片测试时，未能通过测试的晶片会被标上不良品的标示记号，而在其后进行晶片切割时被筛检出来，且功能正常的晶片才能进行下一阶段的封装制程。晶片测试为减低成本与提高良率不可缺少的过程。优质的探针卡是探针卡制造研发单位所需努力的目标。如图1所示，第一种已有的探针卡10，包含一印刷电路板(PCB，Printed CircuitBoard)11、多个导电座(Pogo)14、多个导线12、一转接环15、一探测头(Probe Head；PH)13、和多个探针(Pr...
【技术保护点】
一种多功能探针卡，包含：一ＰＣＢ、多个探针、一计数器、一电讯量测装置、一参数处理系统等所构成；其特征在于：多个探针，每一该探针的一端与该一ＰＣＢ相连接；一计数器，用来侦测该多功能探针卡上的该探针，以计数该探针卡所测试的待测物 的件数，并产生一「件数序列参数」；一电讯量测装置，用来量测通过该探针的电流、电压等讯号，以产生一一电流、电压等参数；及一参数处理系统，包含一输入／输出单元、一处理单元、一时间提供单元、一即时显示单元与一储存单元，其中该件数序 列参数、该电流、电压等参数可透过该输入／输出单元输入至该处理单元，而...
【技术特征摘要】
1.一种多功能探针卡，包含一PCB、多个探针、一计数器、一电讯量测装置、一参数处理系统等所构成；其特征在于多个探针，每一该探针的一端与该一PCB相连接；一计数器，用来侦测该多功能探针卡上的该探针，以计数该探针卡所测试的待测物的件数，并产生一「件数序列参数」；一电讯量测装置，用来量测通过该探针的电流、电压等讯号，以产生一一电流、电压等参数；及一参数处理系统，包含一输入/输出单元、一处理单元、一时间提供单元、一即时显示单元与一储存单元，其中该件数序列参数、该电流、电压等参数可透过该输入/输出单元输入至该处理单元，而该处理单元以该件数序列参数为一待测物件数基准，且该时间提供单元为一可提供时间讯息并具时钟特性的元件，由该时间提供单元将每一该待测物的一时间基准提供给该处理单元，而该处理单元进一步针对该待测物件数基准、该电流参数、电压参数、以及该时间基准来建立一参数资料结构来记录该探针的使用过程与状态；接着该处理单元即时计算出每一探针的状态，并透过该即时显示单元以显示该探针的使用过程和状态；其中该处理单元可建立该参数资料结构并计算出每一探针的状态，且这些建立或/及计算的动作并无前后执行顺序的限制，而该储存单元可储存该处理单元所建立的该参数资料结构或/及该探针卡的状态，其可包含完整记录探针卡与其探针从出厂使用直至每一使用过程的状态资讯，以提供使用维护者完整的探针资料，并可透过该输入/输出单元将该参数资料结构及该探针卡的状态输出至周边设备。2.如权利要求1所述的多功能探针卡，其特征在于其中该计数器可量测每一该探针上的电压或电流讯号切换的时槽间隔，以产生该件数序列参数，达成计数该待测物件数的功能。3.如权利要求1所述的多功能探针卡，其特征在于其中该处理单元可为一微处理器、一程式执行记忆体、及一资料暂存记忆体，以达成程式的执行与处理资料暂存的功能。4.如权利要求1所述的多功能探针卡，其特征在于其中该即时显示单元可为一选自从一液晶显示器、一「七段显示器」、一映像管显示装置、一即时列表装置、一警示灯警示装置、以及一蜂鸣器警示装置所组成的族群中的一可视装置，以达成该探针卡的显示、警示、以及监控该探针卡的状态的功能。5.如权利要求1所述的多功能探针卡，其特征在于其中该储存单元可为一选自从一磁碟记录装置、一快闪记忆体、一可移动式记忆卡所组成的族群中的一储存装置，以储存该处理单元所建立的该等参数资料；其中该可移动式记忆卡是在当欲取得该储存单元内部资料...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙宏川，杨惠彬，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。